[发明专利]具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器

权利要求书

1.一种具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，由定栅和动栅两个部分构成，在定栅上沿着测量轴方向布置至少两个码道，每个码道上布置一系列具有一定规则形状、按测量轴均匀排列的金属敏感导体，在动栅上布置与定栅数量相同的码道，每个码道上布置数个传感器线圈，其特征在于：在传感器动栅上至少有一个码道上的每一组传感器线圈是以串联的方式连接在一起，相邻传感器线圈之间沿测量轴方向的距离是均匀的，每个传感器线圈相对于定栅上金属敏感导体的位置是一致的，这些传感器线圈同时参与工作，等效于一个传感器线圈；

所述传感器采用三个码道，其中一个码道波长最短，称之为精码道，其输出的相位信号用来实现位移的小数部分，小于一个精码道波长的范围，另一个码道的波长远大于精码道的波长，为精码道波长的整数倍，称之为中码道，第三个码道的波长与中码道的波长接近但不相同，称之为粗码道，测量时，粗码道和中码道的相位差将传感器位置定位在中码道的一个测量波长之内，中码道的相位信号将传感器位置定位在一个精码道测量波长之内，再计算小数，利用精码道的相位信号测量传感器的准确位置和位移量。

2.根据权利要求1所述的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，其特征是，所述动栅上的传感器线圈，其垂直于测量轴方向的宽度为定栅上对应码道的敏感导体宽度的一半，两组传感器线圈在测量轴方向上只相距1/4波长。

3.根据权利要求1所述的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，其特征是，所述动栅上的传感器线圈中，每两组传感器线圈交错布置在相邻的层上。

4.根据权利要求1所述的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，其特征是，所述精码道布置在三个码道的中间位置，中码道和粗码道分别布置在精码道的两侧。

5.根据权利要求1或4所述的具有误差平均效应的涡流栅绝对位置传感器，其特征是，所述中码道和粗码道中省略起差动作用的传感器线圈，只保留两个相距1/4波长的传感器线圈。