[发明专利]一种有机聚合物电子存储器及其制造方法有效
| 申请号: | 200810021755.4 | 申请日: | 2008-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN101339974A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
| 发明(设计)人: | 路建美;李娜君;徐庆锋 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
| 主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陶海锋 |
| 地址: | 215123江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有机 聚合物 电子 存储器 及其 制造 方法 | ||
1.一种有机聚合物电子存储器的制备方法,包括以下具体步骤:
(1)将纳米铟锡金属氧化物玻璃片超声清洗,吹干;
(2)将偶氮聚合物配成浓度为5~20mg/ml的溶液,用旋转涂膜的方法将偶氮聚合物涂于纳米铟锡金属氧化物玻璃表面,置真空烘箱中干燥10~20小时,得到均匀的偶氮聚合物薄膜,聚合物薄膜的厚度为50~100nm;
(3)用真空蒸镀仪蒸上高纯度的铝,作为上电极;
所述偶氮聚合物平均分子量在2500~15000,用以下通式表达:
其中R选自硝基、溴或甲氧基中的一种。
2.根据权利要求1所述有机聚合物电子存储器的制备方法,其特征在于:步骤(2)中旋转涂膜的转速为1500~2500转/分钟,时间为10~60秒。
3.根据权利要求1所述有机聚合物电子存储器的制备方法,其特征在于:步骤(2)中真空烘箱干燥时真空度为1×10-5torr,温度为60℃。
4.根据权利要求1所述有机聚合物电子存储器的制备方法,其特征在于:步骤(3)中真空蒸镀仪设定的真空度小于1×10-7torr。
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