[发明专利]老化铜箔电镀液有害杂质去除方法

权利要求书

1、老化铜箔电镀液有害杂质去除方法，本方法是通过铜箔电镀液的净化处理工艺装置，采用活性碳、离子交换树脂联合吸附法，在不废弃镀液的前提下，去除电镀液中浓度较大的Zn、Fe、Cr、Pb、Sb、As等有害金属离子、Cl^-及有机污染物，具体通过下述步骤实现的：

首先使净化处理工艺装置中的各管路上的阀门处于关闭状态，将处理的老化电镀液贮于贮槽(1)中，启动耐蚀泵(7)、(8)、(9)，并将相应的阀门(12)、(13)、(14)打开，处理速度控制在0.3～0.5m³/h；

电镀液在管路中流经活性碳柱(2)进行吸附，去除有机杂质和少量有害金属离子；

电镀液从活性碳吸附柱(2)流出后进入强酸树脂柱(3)，使镀液中浓度较高的Zn、Fe、Cr、Pb、Sb、As和其它微量金属离子去除；

电镀液从强酸树脂柱(3)流出后进入弱碱树脂柱(4)，使镀液中Cl^-、NO₃^-等阴离子去除；

并且当所述强酸树脂柱(3)中的强酸性离子交换树脂及所述弱碱树脂柱(4)中的弱碱性离子交换树脂达到吸附饱和后，分别通过与再生液接触后使其再生。

2、根据权利要求1所述的老化铜箔电镀液有害杂质去除方法，其特征在于：当所述强酸树脂柱(3)中的强酸性离子交换树脂达到吸附饱和后，将所有阀门关闭，启动耐蚀泵(10)，打开阀门(15)，与盐酸贮槽(5)中的盐酸5％再生液接触，流量控制0.1～0.3m³/h，接触40min，再用去离子水冲洗至流出液为中性，然后将阀门(15)关闭。

3、根据权利要求1所述的老化铜箔电镀液有害杂质去除方法，其特征在于：当所述弱碱树脂柱(4)中的弱碱性离子交换树脂达到吸附饱和后，将所有阀门关闭，启动耐蚀泵(11)，打开阀门(16)，与氢氧化钠贮槽(6)中的氢氧化钠4％再生液接触，流量控制在0.1～0.3m³/h，接触40min，再用去离子水冲洗至流出液为中性，再将阀门(16)关闭。