[发明专利]燃料电池的金属隔板用合金皮膜、其制造方法和溅射用靶材、以及金属隔板和燃料电池

权利要求书

1.一种燃料电池的金属隔板用合金皮膜，其特征在于，含有Au和 Pt之中的至少1种贵金属元素，和从Ti、Zr、Nb、Hf及Ta中选择的至少 1种非贵金属元素，所述贵金属元素/非贵金属元素的含有比例以原子比计 为35/65～95/5，膜厚为2nm以上。

2.一种燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方法，其特征在于， 包括如下工序：

在溅射法实施装置的腔内设置金属基板的设置工序；

在由所述设置工序设置的所述金属基板的表面的至少一部分，通过溅 射法形成合金皮膜的成膜工序，该合金皮膜膜厚为2nm以上，含有Au和 Pt之中的至少1种贵金属元素和从Ti、Zr、Nb、Hf及Ta中选择的至少1 种非贵金属元素，所述贵金属元素/非贵金属元素的含有比例以原子比计为 35/65～95/5。

3.根据权利要求2所述的燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方 法，其特征在于，还包含在所述成膜工序后，对形成有所述合金皮膜的金 属基板进行热处理的热处理工序。

4.根据权利要求3所述的燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方 法，其特征在于，所述热处理工序中的热处理温度为150～800℃。

5.根据权利要求4所述的燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方 法，其特征在于，在具有2.1×10⁴Pa以下的氧分压的气氛下进行所述热处 理。

6.根据权利要求2所述的燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方 法，其特征在于，所述成膜工序是将所述金属基板加热至150～800℃而进 行。

7.一种燃料电池的金属隔板用合金皮膜，其特征在于，由权利要求2～ 6中任一项所述的制造方法制造。

8.一种燃料电池用金属隔板，其特征在于，在金属基板的表面形成 权利要求1或7所述的金属隔板用合金皮膜而获得。

9.根据权利要求8所述的燃料电池用金属隔板，其特征在于，所述 金属基板在表面的至少一部分形成有凹部，该凹部用于形成使气体流通的 气体流路。

10.根据权利要求8或9所述的燃料电池用金属隔板，其特征在于， 所述金属基板由钛、钛基合金、铝、铝基合金和不锈钢之中的至少1种构 成。

11.一种燃料电池用金属隔板的制造方法，其特征在于，包括如下工 序：

将金属基板设置在溅射法实施装置的腔内的设置工序；

在由所述设置工序设置的所述金属基板的表面，通过溅射法形成合金 皮膜的成膜工序，该合金皮膜膜厚为2nm以上，含有Au和Pt之中的至少 1种贵金属元素和从Ti、Zr、Nb、Hf及Ta中选择的至少1种非贵金属元 素，所述贵金属元素/非贵金属元素的含有比例以原子比计为35/65～95/5。

12.根据权利要求11所述的燃料电池用金属隔板的制造方法，其特 征在于，包含在所述设置工序之前，在所述金属基板的表面的至少一部分 形成凹部的形成工序，该凹部用于形成使气体流通的气体流路。

13.根据权利要求11或12所述的燃料电池用金属隔板的制造方法， 其特征在于，还包含在所述成膜工序后，对形成有所述合金皮膜的金属基 板进行热处理的热处理工序。

14.根据权利要求13所述的燃料电池用金属隔板的制造方法，其特 征在于，所述热处理的温度为150～800℃。

15.根据权利要求14所述的燃料电池用金属隔板的制造方法，其特 征在于，在具有2.1×10⁴Pa以下的氧分压的气氛下进行所述热处理。

16.根据权利要求11所述的燃料电池用金属隔板的制造方法，其特 征在于，所述成膜工序是将所述金属基板加热至150～800℃而进行。