[实用新型]脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置

权利要求书

1、一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，包括：真空室、脉冲高能量密度等离子体枪、大功率高速真空阴极弧金属等离子体源和热丝气体等离子体源，所述脉冲高能量密度等离子体枪和大功率真空阴极弧金属等离子体源分别对称安装于所述真空室的(A和A’)、(B和B’)端口处，热丝气体等离子体源设置在所述真空室的(C)端口处，所述真空室底部还安装有可调转速的旋转样品台(D)。

2、根据权利要求1所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述脉冲高能量密度等离子体枪包括：中心电极、圆筒外电极、电磁阀、进气阀和绝缘胶木，所述中心电极与圆筒外电极同轴，所述中心电极根部中空，被电磁阀磁针顶住，所述进气阀处于电磁阀的尾端，直接与工作气瓶相连，所述绝缘胶木支撑中心电极和圆筒外电极，与真空室固定。

3、根据权利要求1所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述大功率真空阴极弧等离子体源包括：阴极、触发和磁场线圈，所述阴极和触发电极设置在所述(B)端口内，所述磁场线圈设置在(B)端口的周围。

4、根据权利要求1所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述热灯丝离子源包括：钨丝、接线柱、磁场线圈和支架，钨丝通过接线柱设置在所述(C)端口内，磁场线圈设置在支架(C4)的周围。

5、根据权利要求2或3所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述电极材料为钛、钽、铜或石墨。

6、根据权利要求1所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述样品架通过行星齿轮组圆周均布于样品台上，步进电机通过传动轴安装在样品台绝缘轴套上，由外电路给样品台和基片架提供可控直流或脉冲负偏压。

7、根据权利要求6所述的一种脉冲高能量密度等离子体辅助多源复合材料表面改性装置，其特征在于，所述脉冲高能量密度等离子体枪、大功率真空阴极弧等离子体源和热灯丝离子源分别至少设置一个以上。

8、根据权利要求7所述的所述脉冲高能量密度等离子体枪，其特征在于，所述脉冲高能量密度等离子体枪应处于最靠近样品架的水平位置，所述大功率真空阴极弧等离子体源和热灯丝离子源的种类和位置根据保持多等离子体源的对称性原则进行任意组合。