[实用新型]一种双线圈推拉式射频微机电系统开关

权利要求书

1. 一种双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，该射频微机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分(7)、电磁驱动部分和传输线部分(8)，所述扭摆梁开关可动部分(7)位于用于驱动扭摆梁开关可动部分(7)动作以便该扭摆梁开关可动部分(7)与所述传输线部分(8)接通或断开的电磁驱动部分的上方，传输线部分(8)位于扭摆梁开关可动部分(7)上方。

2. 根据权利要求1所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述扭摆梁开关可动部分(7)由经刻蚀的在硅衬底(11)上生长的氮化硅与背面镂空的硅衬底构成。

3. 根据权利要求1或2所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述扭摆梁开关可动部分(7)上表面的两端分别有一个金触点(5)。

4. 根据权利要求1所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述电磁驱动部分包括与硅衬底背面结合在一起的永磁体(12)和扭摆梁上表面两侧的双线圈(6)。

5. 根据权利要求4所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述双线圈(6)位于扭摆梁开关可动部分(7)上表面金触点(5)的内侧，构成该双线圈(6)的材料为金。

6. 根据权利要求4所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述永磁体(12)为永磁铁。

7. 根据权利要求1所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述传输线部分(8)位于扭摆梁开关可动部分(7)的两侧上方，构成该传输线部分(8)的材料为金。

8. 根据权利要求7所述的双线圈推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，所述传输线部分(8)为共面波导传输线，由三根金电镀线组成，左右两根是地线，中间一根传输信号用，采用接触式接通信号。