[实用新型]衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵

权利要求书

1、一种衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵，包括半导体激光器线阵(1)，沿半导体激光线阵激光输出方向依次设有快轴准直镜(2)、小透镜(3)、半波片(4)、大透镜(5)、衍射光栅列阵(6)，小透镜(3)距离快轴准直镜(2)为小透镜(3)的焦距f₁，小透镜(3)和大透镜(5)共焦点放置组成倒置望远系统，大透镜(5)距离衍射光栅列阵(6)为f₁，半波片(4)位于小透镜(3)与大透镜(5)焦点处，其特征是所述的衍射光栅列阵(6)由不同旋转角度衍射光栅单元(7)胶合而成，每个衍射光栅单元(7)均利特罗结构放置，所述的半导体激光线阵(1)的一个或多个发光单元入射到一个衍射光栅单元(7)上，调节每个衍射光栅单元(7)，使光轴和离轴发光单元的光束a、b入射到衍射光栅单元(7)的入射角θ、φ相等或很相近。

2.根据权利要求1所述的外腔反馈半导体激光器线阵，其特征在于所述的小透镜(3)和大透镜(5)为凸透镜，大透镜(5)是小透镜(3)焦距的3-10倍。

3.根据权利要求1或2所述的外腔反馈半导体激光器线阵，其特征在于所述的快轴准直镜(2)，小透镜(3)，半波片(4)，大透镜(5)，都镀有工作波长的增透膜，而衍射光栅列阵(6)每个衍射光栅单元(7)均镀有工作波长的增反膜。