[实用新型]开放式电子束蒸发源

说明书

技术领域：

本实用新型与用于镀膜生产中的电子束蒸发源有关，特别与开放式电子束蒸发源有关。

背景技术：

电子枪是一种使用在真空镀膜行业的产品，主要用途是高温蒸镀材料。优点在于：能产生局部很高的温度，所以能蒸发很多难熔的材料，而且蒸镀效率高，蒸镀效果好；被广泛用于光学镀膜和电子镀膜生产中。但已有的电子枪磁场采用一个大磁极板，这样偏转后电子束比较散，聚焦效果不好；已有的电子枪采用的电感线圈磁场偏转，电感线圈磁场受电流，电压影响，不稳定因素众多，束斑形状不好。

实用新型内容：

本实用新型的目的是为了克服以上不足，提供一种聚焦效果好，磁场强度稳定，束斑形状好的开放式电子束蒸发源。

本实用新型的目的是这样来实现的：

本实用新型开放式电子束蒸发源，包括水冷底板，装在水冷底板上的水冷枪体，装在水冷枪体上的扫描线圈组件，位于扫描线圈组件空间中且装在水冷底板上的带阴极灯丝的电子枪发射体，位于电子枪发射体相邻处装在水冷底板上的永磁钢、分流板，装在水冷枪体上的至少三级通过永磁场产生洛伦兹力使自由电子偏转至少270度的磁极。

上述的电子枪发射体中有通过连接件固定在水冷底板上的发射体固定板，装在发射体固定板上的陶瓷绝缘柱，通过连接件装在陶瓷绝缘柱上的阴极引线块，装在阴极引线块上的左、右阴极，阴极灯丝位于左、右阴极间的且通过左、右阴极压块固定，绝缘板与左、右阴极连接，阳极板位于左、右阴极板上部且通过阳板头与绝缘板连接。

上述的左、右阴极压块上分别有灯丝竖向定位槽，左、右阴极板相对应于阴极灯丝位置上分别有高度定位孔，阴极灯丝的两端引脚分别插入左、右阴极压块上的灯丝竖向定位槽中，灯丝定位销依次穿在左、右阴极板上的高度定位孔和阴极灯丝上将阴极灯丝固定。

上述的左、右阴极压块上装有将阴极灯丝罩住的聚束极。

上述的阴极灯丝形状为螺旋形。

上述的与电子枪发射体连接的高压接线柱上有聚四氟乙烯外壳。

上述的水冷底板上有至少二条水冷通道，分别与水冷通道连通的密封连接孔，水冷枪体内有与水冷底板上的密封连接孔相配合密封连接的水流过孔、通过水流过孔与水冷通道相通的冷却水路，水接头装在水冷底板上。

上述的磁极为三级。

本实用新型工作时，从阴极灯丝引出的自由电子通过聚束电极进行方向汇聚，通过最大如10KV的加速电压使电子流产生加速，再通过永磁场产生洛伦兹力使其偏转270度，垂直轰击到蒸发材料上。电子束流由扫描线圈沿X、Y进行高速扫描，使坩埚中的被蒸发材料均匀加热、蒸发，这样便可得到均匀的镀膜。

本实用新型具有如下优点：

1，采用了由至少三级磁极组成的复合磁场，偏转后电子束集中，聚焦效果好。

2，采用永磁钢偏转，磁场稳定，束斑形状好。

3，当加速电压变化时，电子束及光斑的位置亦发生位移变化，通过增加或减少分流板的厚度能够减小或增加偏转磁场的强度，以初步校正光斑的位置。分流板可用纯铁制成，更换与拆装非常方便。

4，水冷枪体可由导热性能良好的纯铜构成，有内冷却水路，冷却水对永磁体的冷却效果非常好，能迅速带走热量，不致使永磁体受热退磁，故磁场强度会很稳定。因此电子束能长时稳定地轰击蒸发材料。

5，阴极灯丝引脚安装在压块与的定位槽内。灯丝的最后位置由左、右阴极上的灯丝高度定位孔与灯丝定位槽来确定，使得更换灯丝更加方便简洁。灯丝采用螺旋形，螺旋形灯丝能把灯丝的自身离子喷溅影响减小到最小。

6，维护保养非常方便。电子枪发射体只要卸掉几个螺丝就很容易拿出来。这在电子枪发射体维护保养以及更换灯丝时，把它能从有限的空间里拿出来是非常重要的。

7，根据安装环境的不同，变换安装水冷接头的位置，以适宜安装条件。

8，高压接线柱可采用陶瓷可伐真空钎焊封接，套上聚四氟乙烯外壳，绝缘性能高，密封效果好，提高了设备的安装性能。

附图说明：

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1的俯视图。

图3为图1的左视图。

图4为图1的右视图。

图5为电子枪发射体结构示意图。

图6为图5的左视图。

图7为阴极灯丝安装图。

图8为扫描线圈组件示意图。

图9为图8的俯视图。

图10为接线柱位置图。

图11为图10的俯视图。

图12为水冷底板上的水冷通道位置图。