[实用新型]开放式电子束蒸发源

权利要求书

1、开放式电子束蒸发源，其特征在于包括水冷底板，装在水冷底板上的水冷枪体，装在水冷枪体上的扫描线圈组件，位于扫描线圈组件空间中且装在水冷底板上的带阴极灯丝的电子枪发射体，位于电子枪发射体相邻处装在水冷底板上的永磁钢、分流板，装在水冷枪体上的至少三级通过永磁场产生洛伦兹力使自由电子偏转至少270度的磁极。

2、如权利要求1所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于电子枪发射体中有通过连接件固定在水冷底板上的发射体固定板，装在发射体固定板上的陶瓷绝缘柱，通过连接件装在陶瓷绝缘柱上的阴极引线块，装在阴极引线块上的左、右阴极，阴极灯丝位于左、右阴极间的且通过左、右阴极压块固定，绝缘板与左、右阴极连接，阳极板位于左、右阴极上部且通过阳极头与绝缘板连接。

3、如权利要求2所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于左、右阴极压块上分别有灯丝竖向定位槽，左、右阴极板相对应于阴极灯丝位置上分别有高度定位孔，阴极灯丝的两端引脚分别插入左、右阴极压块上的灯丝竖向定位槽中，灯丝定位销依次穿在左、右阴极板上的高度定位孔和阴极灯丝上将阴极灯丝固定。

4、如权利要求2或3所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于左、右阴极压块上装有将阴极灯丝罩住的聚束极。

5、如权利要求1～3之一所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于阴极灯丝形状为螺旋形。

6、如权利要求1～3之一所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于与电子枪发射体连接的高压接线柱上有聚四氟乙烯外壳。

7、如权利要求1～3之一所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于水冷底板上有至少二条水冷通道，分别与水冷通道连通的密封连接孔，水冷枪体上有与水冷底板上的密封连接孔相配合密封连接的水流过孔、通过水流过孔与水流底板上的水冷通道相通的冷却水路，水接头装在水冷底板上。

8、如权利要求1～3之一所述的开放式电子束蒸发源，其特征在于磁极为三级。