[实用新型]一种快速重复定位装置有效

专利信息
申请号: 200720076822.3 申请日: 2007-10-31
公开(公告)号: CN201112369Y 公开(公告)日: 2008-09-10
发明(设计)人: 王春兰;袁志扬 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 王敏杰
地址: 201203上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 快速 重复 定位 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种快速、重复定位装置,它用于将工件按一导轨移动,并快速定位,也可以将工件重复定位。它用在生产中,如在集成电路制造中硅片传输系统相对于主框架的快速定位、维护过程中的重复定位。

背景技术

在传统的定位装置中,普遍采用工装进行调节定位和定位销定位,工装定位不足之处在于:一是不够快速,影响效率;二是需要工装,费用高。定位销定位不足之处在于:一是重复定位困难,二是不能够调节,精度不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种快速重复定位装置,主要解决现有工装定位装置不够快速和定位销定位装置重复定位困难精度不高的技术问题,使得工件的定位快速,维护工程中工件能够重复定位。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:

一种快速重复定位装置,其特征在于:它包括安装在不动工件上长导轨和安装在运动工件上的可沿着长导轨滑动的滚轮,两个短导轨及导轨座安装在不动工件底面靠边的位置,具有与短导轨相匹配凹槽的定位滚轮固定在运动工件的底部位置,调平螺钉在运动工件的中间位置,调平螺钉的调节装置在运动工件的边上;一定位销部件固定在不动工件上,定位销孔固定在运动工件上。

两个短导轨中间高两端低,用螺钉固定在导轨座上。

该定位销部件包括一连杆机构和一圆柱销,圆柱销的一端有一定的锥度,另一端跟连杆机构连接,连杆机构一端具有手柄。

藉由上述结构,使本实用新型具有如下优点:

本实用新型采用的定位滚轮的凹槽挂接定位和定位销定位,定位快速,精度高,重复性好,在定位过程中,调节螺钉可以调节工件的水平,凹槽挂接定位和定位销定位依靠零件的加工精度,不需要人工调节,减少了人为的误差,整个定位过程简单,不需要工装,大大提高了工作效率,降低了费用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的局部剖视图。

图3是图1的仰视图。

图4是本实用新型中短导轨的结构示意图。

图5是本实用新型在工作中的短导轨与滑块的组合图。

图6是本实用新型中定位销部件的结构示意图。

图中:

1-导轨座;      2-定位滚轮;    3-短导轨;

4-长导轨;      5-滚轮;        6-调平螺钉;

7-调节装置;    8-运动工件;    9-不动工件;

10-定位销部件; 101-连杆机构;  102-圆柱销;

103-手柄。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型的进行详细说明。该实施例是本实用新型快速重复定位装置应用在集成电路制造中硅片传输系统相对于主框架的快速定位、维护过程中的重复定位。

请参阅图1、2,3,4,5,6,本实用新型的快速、重复定位装置,包括长导轨4,安装在主框架9上,滚轮5安装在硅片传输8的侧面,二短导轨3及导轨座1安装在主框架9底面,靠边的位置,用螺钉固定,圆柱销定位,定位滚轮2固定在硅片传输8上的底部位置,调平螺钉6在硅片传输8的中间位置,调平螺钉的调节装置在硅片传输8的边上,便于手动调节。定位销部件10固定在主框架9上,包括一连杆机构101和一圆柱销102,圆柱销102的一端有一定的锥度,定位的时候便于进入定位销孔11,另一端跟连杆机构101连接,转动连杆101的手柄102,定位销能够进出定位销孔11进行定位,定位销孔11固定在运动工件8上。

其工作过程是,首先将定位销部件10(图6)置于非工作状态,让滚轮5在长导轨4上滚动,缓慢推动硅片传输8,硅片传输8移动时,必须保证定位滚轮2的凹槽在短导轨3上移动,定位滚轮2挂在短导轨3上后,使得硅片传输8的一端离地后,转动定位销的手柄103(图6),插进定位销101(图6),进行X、Y方向定位,调节调节螺钉6的调节装置7,使调节螺钉6着地,支撑硅片传输8,用水平仪检查硅片传输的水平。

综上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰,都应为本实用新型的技术范畴。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司,未经上海微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200720076822.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top