[实用新型]掩模盒无效
| 申请号： | 200720067461.6 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN201032516Y | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王跃刚;章磊;周从树;张伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李文红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩模盒 | ||
1.一种掩模盒，用于放置掩模板，所述掩膜板上形成有图案，该掩膜盒包括盒体、盒盖和位于所述盒体上的用于支撑所述掩模板的支撑部，其中，所述支撑部具有与所述掩膜板接触的接触端，其特征在于：所述接触端与所述图案之间有距离。
2.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述支撑部为棱柱、棱锥、棱台中的一种。
3.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述支撑部为四棱柱，该四棱柱横截面的宽度为1至2mm，长度为3至4mm。
4.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述支撑部为圆柱体和球缺的组合体，所述球缺与所述掩模板接触。
5.如权利要求4所述的掩模盒，其特征在于：所述球缺的摩擦系数小于所述圆柱体的摩擦系数。
6.如权利要求1所述的掩膜盒，其特征在于：所述支撑部与所述盒体为一体成型。
7.如权利要求1所述的掩膜盒，其特征在于：所述支撑部与所述盒体为活动方式连接。
8.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述盒盖上还形成有用于防止所述掩模板沿所述盒盖法线方向滑动的凸柱。
9.如权利要求8所述的掩模盒，其特征在于：所述凸柱与所述掩膜板的接触端为圆弧形。
10.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述掩模盒还包括有盒盖与盒体的锁闭装置。
11.如权利要求1所述的掩模盒，其特征在于：所述图案包括对准标记、条形码标记和版图图案。
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