[发明专利]测试分选机中半导体器件的传送方法及装置

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2007年8月22日向韩国知识产权局申请的第2007-84343号韩国专利申请的优先权，通过完全引用将该申请的内容合并在此。

技术领域

本发明涉及一种测试半导体器件的方法及装置。本发明尤其涉及一种在用于测试半导体器件的测试分选机中传送半导体器件的方法及装置。

背景技术

一般地，在测试半导体器件(诸如易失性或非易失性存储器、系统大规模集成(LSI)器件等)的工作特性以后，会装运该半导体器件。

测试分选机将半导体器件传送到测试室中以测试该半导体器件。具体地，半导体器件通过缓冲盘(buffer tray)从用户盘(customer tray)传送至测试盘(test tray)。此外，已在该测试室中测试过的半导体器件通过缓冲盘从测试盘传送至用户盘。

该测试分选机包括拾取器系统，其用于在该测试盘与该用户盘之间传送半导体器件。第6,761,526号、第7,000,648号、第7,023,197号等美国专利揭露了该拾取器系统的例子。

近来，为了缩短传送半导体器件所需的时间，该拾取器系统采用多个拾取器。此外，该拾取器系统采用间距调节机构以使该拾取器之间的间距与该测试盘的间距或该用户盘的间距相等。然而，由于该间距调节机构的重量随着拾取器数量的增加而增加，缩短传送半导体器件所需时间有所限制。

发明内容

本发明的实施例提供了一种能够在用于测试半导体器件的测试分选机中，增进所述半导体器件传送速度的半导体器件传送方法。

此外，本发明的实施例提供了一种能够在用于测试半导体器件的测试分选机中，增进所述半导体器件传送速度的半导体器件传送装置。

根据本发明的一个方面的半导体器件传送方法中，在盘之间传送所述半导体，所述盘具有多个用于收纳所述半导体器件的插槽。缓冲盘的行方向的x间距与第一盘的行方向的x间距相等。将所述半导体器件从所述第一盘传送至具有已调整x间距的所述缓冲盘。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘可包括以所述缓冲盘的列方向延伸的多对单元缓冲盘。通过调节所述单元缓冲盘对之间的第一x间距、且调节所述单元缓冲盘对中的第一单元缓冲盘与第二单元缓冲盘之间的第二x间距来调节所述缓冲盘的x间距。

本发明的一些实施例中，各第一和第二单元缓冲盘可包括多个排成一列的插槽。

本发明的一些实施例中，通过包括多个拾取器的拾取器系统将所述半导体器件拾取出所述第一盘。将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方。然后，将所述半导体器件从所述拾取器收纳到所述缓冲盘中。在将所述拾取器移动至所述缓冲盘上方的同时，使所述拾取器系统列方向的y间距与所述缓冲盘列方向的y间距相等。

本发明的一些实施例中，所述拾取器系统包括以所述拾取器系统的行方向延伸的多对拾取器单元。通过调节所述拾取器单元对之间的第一y间距、且调节所述拾取器单元对中的第一拾取器单元与第二拾取器单元之间的第二y间距来调节所述拾取器系统的y间距。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘包括多个单元缓冲盘。各所述单元缓冲盘包括以多列方式排列的多个插槽。

本发明的一些实施例中，所述缓冲盘的x间距包括所述单元缓冲盘之间的第一x间距、以及各所述单元缓冲盘的插槽之间的第二x间距。所述缓冲盘的x间距可为所述单元缓冲盘之间的第一x间距。使用包括多个以行和列方式排列的拾取器的拾取器系统将所述半导体器件拾取出所述第一盘。所述拾取器系统具有在所述拾取器系统行方向上与所述缓冲盘的第二x间距不同的x间距。将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方。然后，在以步进方式使所述拾取器以所述缓冲盘的行方向移动的同时，将所述半导体器件从所述拾取器收纳到所述缓冲盘的插槽中。

本发明的一些实施例中，使所述缓冲盘的x间距与第二盘的行方向的x间距相等。然后将所述半导体器件从所述缓冲盘传送至所述第二盘。

本发明的一些实施例中，使用以行和列方式排列的拾取器将所述半导体器件拾取出所述第一盘。将抓持所述半导体器件的所述拾取器移动至所述缓冲盘的上方。在以步进方式使所述缓冲盘以所述缓冲盘的列方向移动的同时，以一次一行的方式依次将所述半导体器件收纳到所述缓冲盘中。