[发明专利]MEMS磁性能在线测试结构

权利要求书

1.测量在线微电子机械系统磁性能的方法，其特征是在微电子机械系统的同一基片上且与待测微电子机械系统旁，用与建立待测微电子机械系统相同的工艺条件建立一个陪管单元，在测量时通过测量陪管单元的磁性能，间接得到待测系统的磁性能。

2.根据权利要求1所述的测量微电子机械系统磁性能的方法，其特征是所建立的陪管单元中有两组线圈，在测量时给其中的一个线圈上加电压或电流使陪管单元磁化而成为励磁线圈，另一个未加电的线圈即成为感应线圈，通过测量励磁线圈所加电压或电流可以算出能代表待测微电子机械系统磁场强度的对应陪管单元的磁场强度H，通过测量感应线圈感应产生的感应电动势或感应电流可以得出能代表待测系统磁感应强度的对应陪管单元的磁感应强度B，进而得到待测样品的磁导率、磁化强度和矫顽力等磁学参数。

3.根据权利要求2所述的测量微电子机械系统磁性能的方法所涉及的陪管，其特征是陪管上至少有两组相互独立的线圈。