[发明专利]制造显示装置的方法及设备有效

专利信息
申请号: 200710126634.1 申请日: 2007-02-27
公开(公告)号: CN101063765A 公开(公告)日: 2007-10-31
发明(设计)人: 卢南锡 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/71;H01L21/84
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 制造 显示装置 方法 设备
【权利要求书】:

1、用来制造显示装置的设备,包含:

台架,具有有机层的绝缘衬底固定在其上;

模具,在所述绝缘衬底上方上下移动,并在所述有机层上形成图案;

对准所述模具并上下移动模具的第一驱动器;

在所述模具被压向有机层时支持模具并再对准模具的模具对准器;

驱动所述模具对准器的第二驱动器;

控制第一驱动器和第二驱动器的控制器;以及

检查所述模具对准状态的照相机。

2、根据权利要求1所述的制造设备,其中所述模具对准器包含支持模具的支持器,以及支撑支持器的支撑架。

3、根据权利要求2所述的制造设备,其中所述支持器包含真空吸盘和夹子中的一个。

4、根据权利要求2所述的制造设备,其中模具包含在其第一侧具有不平坦图案的图案形成部分,以及形成在图案形成部分周围的平坦部分,其中支持器支持模具上对应于平坦部分的第二侧。

5、根据权利要求1所述的制造设备,其中所述控制器控制第一驱动器将模具在绝缘衬底上对准并将模具压向绝缘衬底。

6、根据权利要求1所述的制造设备,其中控制器控制第二驱动器以在通过照相机检查到模具的未对准状态时再对准所述绝缘衬底上的模具。

7、根据权利要求4所述的制造设备,其中图案形成部分包括至少一个从其不平坦图案凸出的有机层除去部分。

8、根据权利要求7所述的制造设备,其中栅极焊盘、数据焊盘和漏电极设置在绝缘衬底和有机层之间,以及

控制器对准模具以使得有机层除去部分对应栅极焊盘、数据焊盘和漏电极中的至少一个。

9、根据权利要求7所述的制造设备,其中所述模具包含与绝缘衬底对准的对准标记。

10、一种制造显示装置的方法,包含:

提供包含有机层的绝缘衬底;

将含有图案形成部分的模具在有机层上对准;

通过将模具压向绝缘衬底在相对于图案形成部分的有机层上形成不平坦图案;

检查模具的对准状态;

支持并再对准模具;以及

将模具与有机层分离。

11、根据权利要求10所述的方法,还包含:

在再对准模具和分离模具之间硬化有机层。

12、根据权利要求11所述的方法,其中所述有机层包含聚合物有机材料并且由热和光至少之一硬化。

13、根据权利要求11所述的方法,还包括:

使用照相机检查模具的对准状态。

14、根据权利要求11所述的方法,其中支持并再对准模具包括使用模具对准器,所述模具对准器包含用来支持模具的周边并且在检查到模具的未对准状态时再对准模具的支持器。

15、根据权利要求14所述的方法,其中所述支持器包含真空吸盘和夹子中一个。

16、根据权利要求15所述的方法,其中所述模具包含在其中第一侧含有不平坦部分的图案形成部分,以及设置在图案形成部分周围的平坦部分,以及

支持器支持模具上对应于平坦部分的第二侧。

17、根据权利要求14所述的方法,在形成有机层之前:

形成在预定方向延伸的栅极线,以及与栅极线绝缘交叉并在绝缘衬底上定义像素区域的数据线;以及

在栅极线和数据线交叉处形成薄膜晶体管。

18、根据权利要求17所述的方法,其中所述图案形成部分包含至少一个凸出于不平坦图案的有机层除去部分,

栅极线包含栅极焊盘,以及数据线包含数据焊盘和漏电极,以及

模具的再对准包含再对准模具使得有机层除去部分对应栅极焊盘、数据焊盘和漏电极中的至少一个。

19、根据权利要求18所述的方法,在硬化有机层之后,还包含:

在有机层上形成对应于像素区域的像素电极,以及

至少在像素电极的一部分上形成反射层。

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