[发明专利]一种在制品调配系统以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种在制品调配系统以及方法。

背景技术

在集成电路制造过程中，晶圆需经过清洗、扩散、光刻、刻蚀、氧化等多道工序，才能制成具有特定功能的芯片，之后才能进入后道的测试、切割及封装工序以制成可直接使用的硬件。为保证整个生产的有序进行，通常每道工序后都会设有用以存储已完成该道工序的晶圆的仓库。

通常一个大的芯片制作基地会具有多条生产线，且每一生产线单独进行生产，当一条生产线出现设备故障或环境污染等突发状况时，会造成其中一道或多道工序后的在制品严重堆积，甚至超过对应仓库的容纳极限。而其他生产线的与该突发状况的生产线对应的工序后的存储在制品的仓库及后续工序存在着冗余。如此，即会因该些生产线之间在制品的不均衡而极大地降低了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在制品调配系统以及方法，通过所述在制品调配系统以及方法，可避免多条生产线间因在制品不均衡所造成的生产率低下。

本发明的目的是这样实现的：一种在制品调配系统，用于调配多条生产线的仓库中存储的在制品以确保该多条生产线的在制品库存数量平衡，该系统包括设置在各个仓库中的客户端、一网络连接单元以及通过该网络连接单元连接至每一客户端的服务器，其中，该多个客户端侦测其对应仓库中的在制品数量并将其发送至该服务器，该服务器接收到该在制品数量并将其进行一处理程序后得到在制品调配控制指令，该服务器将所得调配控制指令发送至对应的客户端以供其依照该调配控制指令输送相应数量的在制品至目的地。

在上述的在制品调配系统中，该客户端包括：一设置在仓库中且用以侦测在制品数量的侦测单元；一用以接收服务器发送的调配控制指令以及发送侦测单元所侦测的在制品的数量至服务器的客户端收发单元；一用以输送在制品的输送单元；以及一用以控制输送单元输送在制品至目的地的控制单元。

在上述的在制品调配系统中，该服务器包括：一用以接收客户端发送的在制品的数量及发送调配控制指令至客户端的服务器收发单元；以及一用以将服务器收发单元接收到的在制品数量经一处理程序后得到在制品调配控制指令的处理模块。

在上述的在制品调配系统中，该输送单元为载送小车。

本发明还提供一种在制品调配方法，其利用在制品调配系统，用于调配多条生产线的仓库中存储的在制品以确保该多条生产线的在制品库存数量平衡，其包括以下步骤：侦测在制品数量并将其发送至服务器；服务器接收在制品数量并将其进行一处理程序后得到在制品调配控制指令；将所得调配控制指令发送至对应的客户端；以及对应的客户端接收到该调配控制指令后依照该指令输送相应数量的在制品至目的地。

在上述的在制品调配方法中，该输送单元为载送小车。

与现有的在多条生产线间无在制品调配功能相比，本发明的在制品调配系统以及方法，可避免由于多条生产线间的在制品不均衡所造成的生产率低下。

附图说明

本发明的在制品调配系统以及方法由以下的实施例及附图给出。

图1为本发明的在制品调配系统的方框结构示意图；

图2为本发明的在制品调配系统的实施例的结构示意图；

图3为本发明的在制品调配方法的实施例的流程示意图。

具体实施方式

以下将对本发明的在制品调配系统以及方法作进一步的详细描述。

如图1所示，本发明的在制品调配系统1，用于调配多条生产线的仓库(未图示)中存储的在制品以确保该多条生产线的在制品库存数量平衡，其包括设置在各个仓库中的客户端10、网络连接单元11以及通过网络连接单元11连接至每一客户端10的服务器12。

客户端10包括侦测单元100、客户端收发单元101、控制单元102以及输送单元103。其中，侦测单元100，设置在仓库中，用以侦测在制品的数量；客户端收发单元101，用以发送侦测单元100所侦测的在制品的数量至服务器12，及接收服务器12发送的调配控制指令；输送单元103，用以输送在制品；控制单元102，用以依照客户端收发单元101所接收的调配控制指令控制输送单元103输送在制品至目的地。在本发明的较佳实施例中，输送单元103为载送小车。