[发明专利]半导体制造的派工管理系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体制造的派工管理系统及方法。

背景技术

对于当前半导体工厂中广泛应用的制造执行系统(MES)，如国际商业机器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理机制无法保证准时交货率，即利用此派工管理机制实施的派工管理无法体现在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素。由于制造执行系统缺乏有效的派工管理机制，制程工程师在处理需考虑上述因素的批货情况时必须以纸本记录等人工方式在设备机台上指定制程程序编号且使用手动模式处理，使得制造程序拖延，违反厂区自动化的趋势。

如何提供一种可保证准时交货率的派工管理方法成为本领域技术人员亟待解决的问题。

专利号为“ZL 200310103814.X”的中国专利中提供了一种半导体制程等待时间限制下的派工控制方法，其实施于一具有输入单元及运算单元的电子计算机及一运送系统，用以决定多个晶圆产品中哪一种能送进制造系统。应用该方法进行派工控制的步骤包括：首先，由该输入单元接收每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制。接着，由该计算单元计算每一晶圆产品的多制造过程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制。由该计算单元根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定哪一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制造过程加上需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在既定的机台中进一步处理该晶圆产品，再依据该派工结果，将该选定的晶圆严品运送至该制造系统。

显然，应用该方法进行派工控制时，仅通过制程等待时间限制保证准时交货率，而无法根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

发明内容

本发明提供了一种半导体制造的派工管理方法及系统，可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。

本发明提供的一种半导体制造的派工管理方法，包括：

根据设备和在制品的基本信息，以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息，并将所述扩展信息存储至信息管理单元；

以所述派工处理单元，由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息；并且，以所述派工处理单元，由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准；

利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作，并提供派工清单。

执行所述派工操作包括利用所述扩展单元计算设备及在制品的扩展信息以及利用所述重组单元将所述WIP按顺序排列；执行所述派工操作还包括利用所述过滤单元保留能在当前设备上运行的WIP；执行所述派工操作还包括利用所述分组单元根据将所述WIP分为真值组和假值组；执行所述派工操作还包括利用所述批处理单元对瓶颈设备前的WIP进行批处理；执行所述派工操作还包括利用所述修饰单元隐藏运算过程中产生的中间数据；所述派工管理方法还包括利用监控单元监控所述派工操作的执行情况。

利用所述监控单元对所述派工操作的执行情况进行监控的方法包括：

利用记录单元获得设备加工在制品后第一派工清单；

利用激活判别单元确定所述第一派工清单内被激活的在制品数/在制品批数；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内存在被激活的在制品时，则利用标准判别单元检查被激活的在制品是否满足派工基准，若满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则获得设备加工在制品前第二派工清单，并利用激活判别单元确定所述第二派工清单内被激活的在制品数/在制品批数，当所述被激活的在制品满足派工基准，则判定为派工成功；若不满足派工基准，则判定为派工失败；

利用派工评估单元确定所述第一派工清单内不存在被激活的在制品时，则获得设备加工在制品前第二派工清单，若被禁止的在制品数/在制品批数为零，则判定所述派工无效；若被禁止的在制品数/在制品批数不为零，则判定所述派工失败。所述派工无效包括对生产线内非瓶颈设备进行派工操作。所述被禁止的在制品包含不满足至少一个派工标准的在制品。

本发明提供的一种半导体制造的派工管理系统，包括：

信息管理单元，用以存储所述设备及在制品的基本信息及扩展信息；