[发明专利]电子器件及其形成工艺无效
申请号: | 200580045259.7 | 申请日: | 2005-12-29 |
公开(公告)号: | CN101091265A | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | C·D·麦克费森;D·D·沃克;M·斯坦纳 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H05B33/02;H05B33/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子器件 及其 形成 工艺 | ||
技术领域
本发明一般涉及电子器件及其形成工艺,尤其涉及包括包含有机层的线的电子器件以及用于形成这种电子器件的工艺。
背景技术
包括有机电子器件的电子设备被越来越广泛地应用于日常生活中。有机电子器件的示例包括有机发光二极管(“OLED”)。各种沉积技术被用于形成OLED中所用的层。用于印刷层的技术包括喷墨印刷和连续印刷。
由于其分配精确量液体的能力,喷墨印刷已经被广泛地用于全彩OLED显示器的形成中。然而,喷墨印刷机不能打印最窄的线。喷墨印刷机以滴剂方式分配液体。可使用40pL的点滴,但是具有约41微米的直径。即使在使用最新的喷墨技术时,10pL的点滴也具有约26微米的直径。除具有有限的打印细线的能力,喷墨印刷机的印刷头以不大于约0.1m/s的速率移动。典型的印刷速率约为0.064m/s。因此,喷墨印刷机是耗时的,从而导致有限的器件生产量。
沉积有机层的这种低流率并基于点滴的方法通常被用来避免液相成分溢出到显示器器件中与不同颜色相关联的阱结构的相邻开口中。液相成分的溢出或渗出会降低性能或改变由相邻电子元件所生成的颜色。
然而,随着器件中有机电子元件的数量通过分辨率或者器件表面积的增加而增加,将增加典型喷墨沉积所使用时间的长度,从而导致降低生产量,并由此增加了成本。
发明内容
电子器件包括衬底和覆盖于该衬底之上、并限定以一组矢量方式排列的一开口阵列的结构。在沿着矢量组第一矢量的多个开口之间的第一位置上,该第一位置上的第一高度基本上彼此相等。电子器件也包括包含有机层的线,该有机层至少部分地位于沿着第一矢量的开口内,并覆盖在处于沿着第一矢量的开口之间的位置上的结构之上。
用于形成电子器件的工艺包括形成覆盖于衬底之上的结构。该结构定义了以一矢量组方式排列的一开口阵列,其中在沿着该矢量组第一矢量的开口之间的第一位置上,这些第一位置上的第一高度基本上彼此相等。该工艺还包括印刷包括第一有机层的第一线,其中该第一线至少部分地位于沿着第一矢量的开口内,并覆盖在处于沿着第一矢量的开口之间的位置上的结构之上。
电子器件包括衬底和由覆盖于该衬底上的第一组结构所限定的第一开口矢量。该第一组结构具有基本上彼此相等的第一高度。电子器件还包括包含第一有机层的第一线,该有机层至少部分地位于第一开口矢量内并覆盖于第一组结构之上。该电子器件也包括有第二组结构所限定的、并基本上平行于第一开口矢量的第二开口矢量。该第二组结构具有基本上彼此相等的第二高度。电子器件也包括包含第二有机层的第二线,该有机层至少部分地位于第二开口矢量内并覆盖于第二组结构之上。
以上一般描述和以下详细描述仅仅是示例性的和说明性的,而非作为所附权利要求中所限定的本发明的限制。
附图说明
本发明在附图中作为示例示出而非限制。
图1和2分别包括包含在形成一示例性电子器件的工艺期间的包括衬底各个部分的立体图和横截面视图的示例,其中一结构覆盖该衬底并限定了一组开口。
图3包括在形成一示例性电子器件的分配工艺期间的横截面视图示例。
图4和5包括在为图1所示示例性电子器件印刷了线形有机层之后的横截面视图示例。
图6和7分别包括在图4和5的衬底上形成线形附加有机层和第二电极之后的平面图和横截面视图的示例。
图8包括包含具有不同高度的横向部分的另一结构的立体图示例。
图9包括可在形成电子器件时使用的另一印刷图案的立体图的示例。
具体实施方式
在一个实施例中,电子器件包括衬底和覆盖于该衬底之上、并限定了以一矢量组方式排列的一开口阵列的结构。在沿着该矢量组第一矢量的开口之间的第一位置上,这些第一位置上的第一高度基本上彼此相等。该电子器件也包括线形的有机层,该有机层至少部分地位于沿着第一矢量的开口内,并覆盖在处于沿着第一矢量的开口之间位置上的结构之上。
在一个示例中,该结构是阱结构。电子器件可包括辐射发射元件、辐射响应元件或其组合。
在另一个示例中,有机层包括有机活性层。在又一示例中,有机层包括电荷注射层、电荷输运层、电荷阻挡层或其任意组合。
在沿着第二矢量组第二矢量的开口之间的第二位置上,这些第二位置上的第二高度可基本上彼此相等。第一高度和第二高度可基本上彼此相等,或者第一高度可显著不同于第二高度。在一个示例中,第一矢量和第二矢量定向成彼此基本上垂直。
在又一个示例中,电子器件包括位于衬底与结构之间的电极。在另一个示例中,电子器件包括覆盖于有机层上的电极。
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