[发明专利]宽频域的硅基微机械可调谐光滤波器的制作方法无效
| 申请号： | 200510126325.5 | 申请日： | 2005-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN1979256A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 左玉华;毛容伟;王良臣;成步文;余金中;王启明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 宽频 微机 调谐 滤波器 制作方法 | ||
【说明书】：
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