[发明专利]探针板及使用探针片或探针板的半导体检测装置及半导体装置的制造方法无效
| 申请号： | 200480018666.4 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1816748A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 春日部进;山本武志 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭晓东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 使用 半导体 检测 装置 制造 方法 | ||
【说明书】：
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