[发明专利]微机电系统(MEMS)器件与制造它们的系统和方法有效
| 申请号： | 200480008168.1 | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1764595A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | E·巴尔－萨德;A·塔拉尔耶夫斯基;E·金斯伯格 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 器件 制造 它们 方法 | ||
【说明书】：
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