[发明专利]电解加工装置及电解加工方法无效
| 申请号： | 03811966.8 | 申请日： | 2003-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1656257A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;粂川正行;安田穗积;小畠严贵;饭泉健;高田畅行;深谷孝一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25F3/00 | 分类号： | C25F3/00;C25F7/00;H01L21/3063 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电解 加工 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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