[发明专利]屈服性衬底上制备外延异质晶体和薄膜材料的方法无效
| 申请号： | 02110601.0 | 申请日： | 2002-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN1434153A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 黄风义 | 申请（专利权）人： | 黄风义 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;H01L21/20;H01L21/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201204 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 屈服 衬底 制备 外延 晶体 薄膜 材料 方法 | ||
【权利要求书】：
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