[发明专利]脉冲式智能射频调制控制器

说明书

技术领域

本发明一般地涉及提供功率输出的发生器，具体地说，涉及提供经过调制的输出波形的功率发生器。

背景技术

提供经过调制的输出的发生器在若干方面受到用于控制输出的波形传感/控制技术的限制。典型地，常规的发生器使用一种跟踪代表输出波形的传感信号的上升沿的控制方法。通过一种充电—放电—保持电路(CDH电路)来跟踪传感信号的上升沿。CDH电路持续跟踪波形直到经过一段相当于设备稳定时间的预定时间之后，传感信号的数值被测出为止。在输出调制失去作用的同时启动一个保持电路，提供与各项调制参数无关的有效的连续DC输出。通过将测量出的参数乘以脉冲输出的占空度，就能计算出各项输出特性参数，例如所提供的功率。例如，对于50％的占空度，当峰值功率测量值为1000W时，计算出的所提供的输出功率将为500W。

前述的传感/控制技术的限制包括需要预先测量设备的稳定时间，CDH电路的响应限制了系统的带宽，这种技术不能同时跟踪输出波形的上升和下降沿，并且任意幅度的输出波形不是可控制的。通常基于实验室的实验来获得稳定时间，并且把它存储起来以供系统运行之用。根据所驱动的负载阻抗的不同，在许多系统中设备的稳定时间将有所改变。通过使用基于单一负载阻抗的稳定时间，所计算出来的各项输出参数的精度可能根据负载阻抗而有所不同，使得这种控制技术的应用限于已匹配的各种系统，或者那些能容忍计算各项输出特性参数时较高的不精确性的系统。

由CDH电路响应时间所带来的对系统带宽的限制可能是在确定输出波形的最小脉冲宽度时的限制因素。让测量系统(即CDH电路)去限制发生器系统的速度有背于正常的工程实践。不能同时跟踪上升与下降沿使这种控制技术限于控制这样的输出波形，其中，在调制波形的低电平周期内，脉冲返回到0。在不具备同时跟踪上升与下降沿能力的条件下，要想控制任意幅度的调制波形通常是难以做到的。因此，除非发生器系统能容忍各项输出特性参数的不精确产生和测量，常规的发生器控制技术一般限于控制脉冲输出波形。

在有限的工作条件下，常规的发生器控制技术可以被用来提供经过调制的输出波形，尚未证明那些技术能提供不受传感器/测量电路限制的发生器。

发明内容

本发明提供了一种用于控制发生器的输出的方法与系统。该输出向具有阻抗的负载提供具有稳定时间的输出信号。输出信号的稳定时间被确定。用调制波形对输出信号进行调幅。产生表示经过调制输出信号的传感信号。按照根据输出信号的稳定时间确定的采样时间对传感信号进行采样。形成经过采样的传感信号的数字表示。基于经过采样的传感信号的数字表示来控制输出的调幅。

通过下文所提供的详细说明，本发明的其它适用领域变得显而易见。应当理解，在描述本发明的优选实施例时，详细说明和各个特定实例仅为了说明，并不限制本发明的范围。

附图说明

通过以下的详细说明和附图，本发明会更易于理解。

图1是一个方框图，表示本发明的一个现有优选实施例；

图2是一个方框图，表示根据本发明连接到脉冲控制器的一种输出检测器；

图3A是一个流程图，表示根据本发明用于控制发生器功率输出的处理过程；

图3B示出了一种描述功率输出的时序关系的波形；

图4是一个流程图，表示根据本发明用于确定延迟时间的处理过程；

图5A示出了根据本发明的一种过驱动放大器的一个实施例；

图5B示出了根据本发明的一种线性射频放大器电路的一个实施例；以及

图6示出了描述等离子体功率发生器的输出包络的几种波形。

具体实施方式