[发明专利]脉冲式智能射频调制控制器

权利要求书

1.一种用于控制发生器的输出的方法，该输出向一个具有阻抗的负载提供输出信号，该输出信号具有稳定时间，本方法包括：

确定输出信号的稳定时间；

用一种调制波形对输出信号进行调幅；

产生一个表示经过调制的输出信号的传感信号；

按照一个基于输出信号的稳定时间而确定的采样时间，对传感信号进行采样，；

形成经过采样的传感信号的数字表示；以及

基于经过采样的传感信号的数字表示，来控制输出的调幅。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，输出信号是从输出电压、输出电流、输出正向功率、输出反射功率以及输出能量中选取的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，稳定时间取决于负载阻抗；以及

确定步骤包括确定与负载阻抗相对应的稳定时间。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，确定稳定时间包括下列各步骤：

产生一个具有一定幅度的测试调制信号，用以驱动输出；

在对传感信号进行采样之前，延迟一段时间；以及

确定输出是否已经稳定在测试调制信号相应的电平上。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，测试调制信号是脉冲信号。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，使用一种检索算法来确定在对传感信号进行采样之前需要延迟多长时间。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，检索算法是一种二进制检索算法。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，确定稳定时间的步骤包括从一个一览表中选择稳定时间的步骤。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括产生一个一览表的步骤，该一览表具有与发生器工作参数相对应的输出信号的稳定时间。

10.一种等离子体功率发生器，用于产生准备施加到负载的一个调幅输出，该发生器包括：

一个调幅放大器，用于产生一个调幅信号；

一个固定驱动，它被连接到调幅放大器，以提供驱动信号；

调幅放大器将驱动信号与具有一种波形的输入信号加以组合，以便产生具有与输入信号相对应的波形的调制信号；以及

一个输出滤波器，它被连接在调幅放大器与负载之间，以向负载提供调幅输出。

11.根据权利要求10所述的等离子体功率发生器，还包括：

一个传感器，用以产生一个表示调幅输出的传感信号；

一个模数转换器，它被连接到传感器，以便将传感信号转换为数字化信号；

一个脉冲控制器，它被连接到模数转换器，以根据数字化信号来控制调制信号的幅度，使得能够控制调幅输出以跟踪参考波形。

12.根据权利要求10所述的等离子体功率发生器，其中，调幅放大器包括：

一个调制器，它能响应输入信号产生一个电源电压，后者具有与输入信号波形相应的波形；

一个过驱动射频放大器，它被连接在固定驱动与输出滤波器之间，过驱动射频放大器具有一个连接到调制器的电源输入，用于接受电源电压。

13.根据权利要求12所述的等离子体功率发生器，其中，调制器是一种开关式电源。

14.根据权利要求12所述的等离子体功率发生器，其中，调制器是一种线性电源。

15.根据权利要求12所述的等离子体功率发生器，其中，调幅放大器包括：

一个乘法器，用于将驱动信号与输入信号加以组合，以形成一个组合信号；以及

一个线性放大器，它被连接在乘法器与输出滤波器之间，以产生调制信号，其中，调制信号对应于组合信号。