[发明专利]一种校正静态电子束落点误差的装置无效
申请号: | 01133091.0 | 申请日: | 2001-09-12 |
公开(公告)号: | CN1356715A | 公开(公告)日: | 2002-07-03 |
发明(设计)人: | A·S·巴兰;R·W·科林斯 | 申请(专利权)人: | 汤姆森许可公司 |
主分类号: | H01J29/76 | 分类号: | H01J29/76 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 林长安 |
地址: | 法国布洛*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 校正 静态 电子束 落点 误差 装置 | ||
1.一种用来校正电子束落点误差的偏转装置,所述偏转装置包括:
带有形成电子束路径的玻锥(103)的阴极射线管(102);
使电子束在所述阴极射线管的屏幕上扫描的偏转线圈(108);
所述偏转装置的特征在于,磁性材料制成的无缝套管(101)环绕安装在所述玻锥上,用来形成第一平面(71)第一磁极处的磁场以及第二平面(72)第二磁极处的磁场,其中,所述第一平面(71)和所述第二平面(72)沿所述阴极射线管的纵轴(Z)间隔开。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述磁性材料制成的无缝套管(101)通过挤压工艺制成。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述磁性材料制成的无缝套管(101)通过注射模工艺制成。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述磁性材料制成的无缝套管(101)使用加热/冷却技术环绕安装在所述玻锥(103)上。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述磁性材料制成的无缝套管(101)与辅助电子束扫描速率调制线圈(110)整体形成。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述辅助电子束扫描速率调制线圈(110)嵌在所述无缝套管(101)中。
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