[发明专利]受光器件阵列和受光器件阵列芯片

权利要求书

1.一种把多个由pin光电二极管构成的受光器件排列起来的受光器件阵列，其特征是：

上述pin光电二极管，具备：

n型半导体衬底，

在上述n型半导体衬底上层叠的n型半导体层、i型半导体层、p型半导体层，上述p型半导体层和上述i型半导体层，用相邻的p型半导体层和i型半导体层和隔离沟隔离开来，

在上述p型半导体层上设置的p型电极，以及

在上述n型半导体衬底的背面上设置的共通的n型电极。

2.一种把多个由pin光电二极管构成的受光器件排列起来的受光器件阵列，其特征是：

上述pin光电二极管，具备：

半绝缘性衬底，

在上述半绝缘性衬底上叠层的n型半导体层、i型半导体层、p型半导体层，上述p型半导体层和上述i型半导体层，用相邻的p型半导体层和i型半导体层和隔离沟隔离开来，

在上述p型半导体层上设置的p型电极，以及

在上述隔离沟的底部即上述n型半导体上设置的每一个受光器件的n型电极。

3.权利要求1或2所述的受光器件阵列，其特征是：上述隔离沟用半绝缘性的半导体材料或未掺杂半导体材料填埋起来。

4.一种在同一芯片上把多个受光器件排列起来的受光器件阵列芯片，其特征是具备：

把台面式的受光器件直线状地排列起来的受光器件阵列；

把上述受光器件阵列的受光器件连接成矩阵状的多条布线；以及

连接到上述布线上的多个键合焊盘。

5.一种在同一芯片上把多个受光器件排列起来的受光器件阵列芯片，其特征是具备：

把台面式的受光器件直线状地排列起来的受光器件阵列；

把每一组规定个数的受光器件归纳成一块，共通地连接到块内的各个受光器件的一个电极上的、每一块的第1键合焊盘；

把上述受光器件阵列的受光器件隔以上述规定的个数进行归纳，共通地连接到各个受光器件的另一个电极上的、与上述规定个数相同的第2键合焊盘。

6.权利要求4或5所述的受光器件阵列，其特征是：上述台面式的受光器件由pin光电二极管构成。

7.权利要求5所述的受光器件阵列，其特征是：仅仅在上述第1键合焊盘和上述第2键合焊盘为ON时，只有连接到这些第1和第2键合焊盘上的受光器件可以动作。