[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 00126260.2 | 申请日： | 2000-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1163797C | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周振豪;李有京;朴弘植;罗允静;金玑洙;姜圣哲;康升镇 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;东友半导体株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/008 | 分类号： | G03F7/008 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 | ||
【权利要求书】：
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