[发明专利]无机被膜形成用组合物及无机被膜形成方法

说明书

本发明涉及一种无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法，特别是涉及一种适合于在CRT用玻璃面板上形成荧光体图案的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法。

在基板上形成所希望图案的无机被膜时，一般是使用混合了聚乙烯醇(PVA)等有机高分子化合物、重铬酸盐等感光剂、各种粉末(显示出导电性、绝缘性、光吸收性或荧光性等性质的粉末)以及分散剂等的浆液状无机被膜形成用组合物。应予说明，一般地，该组合物是负型感光性组合物。

而且，将该浆液状组合物涂布到基板上并干燥后，通过用掩模有选择地进行放射线的曝光来进行光固化反应，未曝光部分用水或碱水溶液等除去，由此形成光固化图案，然后，经过热处理将光固化图案中的有机成分热分解除去，在基板上形成所希望图案的无机被膜。

但是，由于在使用该组合物的无机被膜的形成中所使用的重铬酸盐是剧毒的六价铬，存在着环境污染的问题，目前正在寻求一种不使用六价铬的无机被膜的形成方法。作为不使用六价铬的无机被膜的形成方法，特开平11-24241号公报、特开平10-83077号公报、特开平8-146598号公报、特开平6-202316号公报、特开平11-84646号公报、特开平8-227153号公报、特开平8-315634号公报、特开平8-50811号公报、特开平8-315637号公报、特开昭63-64953号公报、特开昭61-158861号公报、特开平2-25847号公报等中提出了各种方法。

但是，上述现有技术中所使用的材料，在将光固化图案中的有机成分热分解而除去时，需要超过500℃的高温，从工艺上的问题考虑，希望将热分解温度降低。

另外，使用重铬酸盐的现有的感光性组合物，其热分解温度为400～500℃左右，为了实用化，希望获得一种在与其同等程度的温度下热分解的无机被膜形成用组合物。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够在低温焙烧工艺中形成导电性被膜、绝缘性被膜、光吸收性被膜或荧光体被膜等各种无机被膜的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法，特别是提供一种能够在500℃以下的较低温度下形成无机被膜的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法。

本发明人等获得这样一种经验，即，所谓使用PVA-重铬酸盐类的无机被膜形成用组合物形成的光固化图案中的有机成分能够在500℃以下的较低温度下分解除去的性质，重铬酸盐具有促进热分解的作用。

即，通过试验查明，随着重铬酸盐的添加量增多，光固化图案中的有机成分的分解温度降低，确认重铬酸盐具有热分解促进作用。

图1示出重铬酸盐添加量与PVA的分解温度的关系，参照图1进行说明。重铬酸盐的添加量为0时，PVA的分解温度约为570℃，一旦重铬酸盐的添加量增加，则光固化后的PVA的热分解温度降低，添加10重量份时，热分解温度降低到约430℃。

本发明人等对发挥出与该重铬酸盐的热分解促进效果同等效果的材料进行了精心的研究，结果意外地发现，硝酸盐和有机酸的金属盐存在着优良的热分解促进作用，至此完成了本发明。

另外还发现，将硝酸盐与有机酸的金属盐混合使用，可以使热分解温度进一步降低。

即，本发明提供一种无机被膜形成用组合物，其特征在于，其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(C)硝酸盐，该(C)硝酸盐是从硝酸的非金属盐、硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。

另外，本发明提供的上述无机被膜形成用组合物，其特征在于，进一步含有(D)有机酸的金属盐。

另外，本发明提供的上述无机被膜形成用组合物，其特征在于，相对于组合物中含有的固形物，(A)成分为4～24重量％，(B)成分为70～95重量％，(C)成分为0．1～20重量％。

另外，本发明提供的上述无机被膜形成用组合物，其特征在于，(C)成分含有从硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。

另外，本发明提供一种无机被膜形成用组合物，其特征在于，其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(D)有机酸的铁盐。

另外，本发明提供的上述无机被膜形成用组合物，其特征在于，相对于组合物中含有的固形物，(A)成分为4～24重量％，(B)成分为70～95重量％，(D)成分为0．1～20重量％。

另外，本发明提供一种无机被膜形成方法，其中包括将上述的无机被膜形成用组合物涂布到基板上并干燥的工序和在500℃以下将形成的干燥被膜中的有机成分热分解而除去的工序。应予说明，特开平11-116947号公报中，记载了一种含有经紫外线照射而发出蓝色光的无机荧光体和铜或铜化合物的荧光体组合物，但没有公开本发明中使用的(C)和(D)成分任一种。(A)感光剂