本发明提供如下的新型的具有防静电功能的包装材料在高分子薄膜上蒸镀DLC(Diamond like carbon)薄膜,从而具有优良的静电耗散性,同时对高分子薄膜的粘贴力良好,从而能够得到半永久性的防静电功能并且,本发明提供能够对热敏感的高分子薄膜蒸镀DLC(Diamond like carbon)薄膜的磁性增强离子枪蒸镀装置以及生产率优秀的卷对卷装置。
本发明提供如下的新型的具有防静电功能的包装材料:在高分子薄膜上蒸镀DLC(Diamond like carbon)薄膜,从而具有优良的静电耗散性,同时对高分子薄膜的粘贴力良好,从而能够得到半永久性的防静电功能并且,本发明提供能够对热敏感的高分子薄膜蒸镀DLC(Diamond like carbon)薄膜的磁性增强离子枪蒸镀装置以及生产率优秀的卷对卷装置。