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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电卡盘-CN201811073364.7有效
  • 柳朋亮 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2018-09-14 - 2022-11-25 - H01L21/683
  • 本发明提供一种静电卡盘，其包括：导热层，用于承载晶片，在导热层中内置有用于加热晶片的加热电极；第一绝热层，设置在导热层的下方，且与导热层连为一体，并且第一绝热层的导热系数小于导热层的导热系数；以及第二绝热层本发明提供的静电卡盘，其可以提升所能达到的最高温度，并保证在高温段静电卡盘的真空密封，以及实现与下电极结构的匹配安装。
  • 静电卡盘
  • [发明专利]静电卡盘-CN201880043581.3有效
  • 渡边玲雄;近藤畅之;海野丰 - 日本碍子株式会社
  • 2018-10-16 - 2023-07-18 - H01L21/683
  • 本发明提供一种静电卡盘(10)，其具有在圆板状的陶瓷板(12)埋设有静电电极(16)的构造，并利用约翰森‑拉别克力吸附载置于陶瓷板(12)且直径比陶瓷板(12)的直径小的晶片(W)。该静电卡盘(10)在陶瓷板(12)的表面中的从陶瓷板(12)的外周缘至载置于陶瓷板(12)的晶片(W)的外周缘的内侧为止的环状区域具有电阻比陶瓷板(12)的电阻大的绝缘膜(14)。
  • 静电卡盘
  • [发明专利]静电卡盘-CN200810130298.2无效
  • 米仓宽;吉川忠义 - 新光电气工业株式会社
  • 2008-06-27 - 2009-03-04 - H01L21/683
  • 本发明的静电卡盘包括：基底部；粘结在所述基底部上的绝热层；和粘结在所述绝热层上并通过在陶瓷基板部中设置加热电极和静电卡盘(ESC)电极而构成的卡盘功能部。在所述绝热层的两个表面侧上分别设置粘合层。对于所述基底部和所述卡盘功能部以高粘合强度粘结在一起的情况，开孔形成于所述绝热层中并填充有所述粘合层。
  • 静电卡盘
  • [实用新型]静电卡盘-CN200820208758.4有效
  • 罗伯特·赖安;倪图强 - 中微半导体设备(上海)有限公司
  • 2008-12-31 - 2010-01-13 - H01L21/687
  • 本实用新型涉及一种静电卡盘，包括多个用于承载晶圆的凸台和控温气体入口，所述凸台承载面的形状为多边形，所述控温气体入口与凸台之间形成的控温气体通道连通。与现有技术相比，本实用新型将用于承载晶圆的凸台在径向平面上的形状设置成多边形，使得静电卡盘上可以布置的凸台数量与现有技术采用圆形凸台所能布置的凸台数量相比有所增加，因而可以提高静电卡盘的控温能力。
  • 静电卡盘
  • [实用新型]静电卡盘-CN201720864105.0有效
  • 刘建 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2017-07-17 - 2018-03-06 - H01L21/683
  • 本实用新型提供一种静电卡盘，其包括底座、设置在所该底座上的加热层及设置在该加热层上的绝缘层，在底座与绝缘层之间，且环绕在加热层的外周壁上设置有环状保护部件，该环状保护部件采用抗等离子体腐蚀的弹性材料制作本实用新型提供的静电卡盘，其环状保护部件具有较高的抗等离子体腐蚀性，从而可以增强对加热层的保护作用，而且该环状保护部件可以实现定期更换，且不会损坏加热层，从而延长了静电卡盘的使用寿命。
  • 静电卡盘
  • [实用新型]静电卡盘-CN201320421139.4有效
  • 宋俊超;李玉站 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2013-07-16 - 2014-02-12 - H01L21/687
  • 本实用新型实施例公开了一种静电卡盘，属于半导体加工技术领域。解决了现有的静电卡盘难以防止电极探针下滑，会导致电极探针与电极接触不良，影响静电吸附效果的技术问题。该静电卡盘，包括卡盘、基座、绝缘套和电极探针，所述卡盘位于所述基座上方，所述绝缘套内嵌在所述基座中，所述卡盘内设置有至少一个电极，所述电极的底部与一个所述电极探针的顶端相接触，所述电极探针上，沿所述电极探针的径向方向形成有凸起
  • 静电卡盘
  • [实用新型]静电卡盘-CN202122769596.X有效
  • 蔡志勇;武素衡;张育龙;王永平 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2021-11-12 - 2022-07-12 - H01L21/683
  • 公开了一种静电卡盘，包括：卡盘主体，用于支撑以及夹持晶圆；电极，位于所述卡盘主体内，用于在施加电压时产生库伦吸引力从而将晶圆吸附在卡盘主体上；第一顶针，位于所述卡盘主体的边缘处；第二顶针，位于所述卡盘主体的中心处；其中，所述第一顶针和所述第二顶针沿垂直于卡盘主体的方向竖直移动，以及在卡盘主体释放晶圆后将所述晶圆顶起使所述晶圆脱离卡盘主体。本实用新型提供的静电卡盘，在静电卡盘释放晶圆后将晶圆顶起时，第一顶针和第二顶针的支撑力可以与晶圆电荷释放不完全产生的库伦吸附力达到平衡，可以使晶圆不发生弯曲/弹片现象，提高工艺效率。
  • 静电卡盘
  • [外观设计]静电卡盘-CN202130170686.X有效
  • 史全宇 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-03-29 - 2021-09-17 - 08-08
  • 1.本外观设计产品的名称：静电卡盘。2.本外观设计产品的用途：用于对晶片进行承载和固定，避免晶片在工艺过程中出现移位或错位，并在连接射频电源后，为晶片提供射频偏压和控制晶片表面的温度。6.A部放大图中：标记1为静电卡盘上的凸起，凸起高度很小，在3至8微米之间；标记2为气道；标记3为用于定位的槽；标记4为孔；B部放大图中：标记5为中心气孔；标记6为C形涂层；标记7为长圆形槽。
  • 静电卡盘
  • [发明专利]静电卡盘-CN201480050762.0有效
  • 安德鲁·M·怀特;詹姆斯·凯乐 - 瓦里安半导体设备公司
  • 2014-08-12 - 2019-03-26 - H01L21/683
  • 本发明揭示一种用于在高温下植入离子的静电卡盘。此静电卡盘包括绝缘基底，其上配置了导电电极。介电顶层配置于电极上。阻隔层配置于介电顶层上，使其位于介电顶层和工作件之间。此阻隔层用来阻止粒子从介电顶层迁移至夹在卡盘上的工作件。在一些实施例中，阻隔层上施加保护层以避免磨损。通过阻隔层阻止金属粒子从介电顶层迁移到工作件，从而维持工作件的完整性，提高工作件的良率。
  • 静电卡盘阻隔
  • [发明专利]静电卡盘-CN200580029075.1有效
  • 神谷哲;横山清 - 京瓷株式会社
  • 2005-06-27 - 2007-08-01 - H01L21/68
  • 本发明的目的在于提供一种均热性良好，晶片到达饱和温度的时间短，并且对于施加电压循环的耐久性良好的静电卡盘。为达到所述目的，本发明的静电卡盘(1)，由具有一对主面并将其中一方的主面作为载置晶片(W)的载置面(8a)的板状体(8)以及设置在该板状体的另一主面或内部的吸附用电极(6)所构成，其特征在于，包含：至少
  • 静电卡盘
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