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[实用新型]一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具-CN202020436216.3有效
发明人：文宏福;吴本明 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B22C9/06 文献下载
摘要：一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，包括前后相对的第一侧板和第二侧板、左右相对的第三侧板和第四侧板、以及底座；第一侧板、第三侧板、第二侧板、第四侧板及底座依次贴靠围合成一个顶部开口的四方体模具，该四方体模具中央具有一顶部开口的铸造腔。本案的改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，具有弧面边部的铸造腔，使得铸造出来的镍铬靶材的边部不容易产生裂纹。
一种改进避免镍铬靶材边部产生裂纹模具

[发明专利]一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法-CN201910717231.7在审
发明人：吴健;雷雨;肖世洪;周志宏;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。这种旋转镍铬合金靶材是通过以下的方法制得：1)制备平均粒径D50为20μm～100μm的镍铬粉末；2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；3)转动靶材基管，将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面，制得靶材；4)将冷喷涂后的靶材进行机加工，制得旋转镍铬合金靶材成品。本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽，适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高，相对密度大，氧含量低，晶粒尺寸均匀性好。
靶材镍铬合金基管制备镍铬粉末冷喷涂尺寸均匀性晶粒靶材纯度表面喷砂不锈钢管平均粒径机加工材基对靶喷枪钛管合金转动

[发明专利]镍铬靶材组件的制造方法-CN201510477335.7有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;吕荣 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-08-06 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B23K20/10 文献下载
摘要：本发明提供一种镍铬靶材组件的制造方法，包括：将焊料放置于背板的和镍铬靶材的焊接面上；加热使焊料熔化；对背板和镍铬靶材的焊接面进行第一超声波处理，浸润所述焊接面；在背板的焊接面上再次放入焊料，对背板和镍铬靶材的焊接面进行第二超声波处理；将背板与镍铬靶材的焊接面相贴合进行焊接；焊接后进行冷却，形成靶材组件。本发明的制造方法中依靠两次超声波处理方法辅助焊接，这两次超声波处理能够使背板和镍铬靶材表面生成一层合金层，而且能够保证焊料在背板和镍铬靶材的焊接面上均匀分布，实现镍铬靶材与背板高焊接强度、高焊合率、低缺陷率的焊接效果
镍铬靶材组件制造方法

[发明专利]一种大尺寸、高密度镍铬靶材的装模方法、制备方法-CN202211611665.7在审
发明人：欧海玲;马国成;童培云;张壮壮 -专利权人：先导薄膜材料有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于电子器件溅射靶材领域，公开了一种大尺寸、高密度镍铬靶材的装模方法、制备方法。包括以下步骤：准备矩形结构的包套；然后装模；将装模完成的包套放入炉内，边加热边通过除气管对包套进行抽真空除气，当包套内真空度达到要求后，停止加热、除气，封闭除气管；将除气完成的包套放入热等静压烧结炉中，进行抽真空、加压、升温烧结、降温及压力回收；出炉，去除包套，得镍铬靶材。通过本发明中的装模方式制造出来的镍铬靶材为单片产品，也可在长/宽度方向一分为二，且一个包套可处理2~6片产品，去除包套后，靶坯机加简单。本发明采用热等静压法烧结，可制备大尺寸、高密度的靶材，尺寸可做到350~550mm，致密度≥99%。
一种尺寸高密度镍铬靶材方法制备

[发明专利]一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法-CN202010517407.7在审
发明人：黄宇彬;朱刘;童培云;何坤鹏;钱增杰 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液；将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液；将镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液；将镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭；将镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后，得到镍铬铝钇硅合金靶材。本发明提供的一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，采用离心浇铸，能有效解决现有技术使用重力浇铸制合金中存在大量的缩孔和疏松等缺陷等技术问题。
一种镍铬铝钇硅合金制备方法

[实用新型]一种镍铬8020靶材制造冷却装置-CN201922446235.4有效
发明人：王雷;常代展 -专利权人：江苏拓创新材料科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镍铬8020靶材制造冷却装置，包括安装支架和冷却组件，安装支架呈U形结构，安装之间包括底部水平段、竖直段，竖直段垂直安装在水平段两侧，冷却组件包括金属散热网、半导体制冷片和散热板，金属散热网安装在网框内，网框固定在竖直段上端部，且网框设置在靶材两侧，半导体制冷片安装在金属散热网内侧，散热板设置在靶材下方，散热板下端部通过支撑柱固定在底部水平段上，本实用新型结构设计新颖，能够实现对镍铬8020靶材的快速冷却，而且冷却均匀性好，提高了靶材加工质量。
一种 8020 制造冷却装置

[实用新型]一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具-CN202020436262.3有效
发明人：文宏福;吴本明 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B22C9/06 文献下载
摘要：一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，包括前后相对的第一侧板和第二侧板、左右相对的第三侧板组和第四侧板组，以及底板；第一侧板、第三侧板组、第二侧板、第四侧板组及底板依次贴靠围合成一个顶部开口的四方体模具，该四方体模具中央具有一顶部开口的铸造腔。本案的模具，具有弧面边部的铸造腔，使得铸造出来的镍铬靶材的边部不容易产生裂纹。
一种避免镍铬靶材边部产生裂纹模具

[发明专利]一种磁控溅射工艺中使用的旋转镍铬靶-CN201610610981.0在审
发明人：王进东 -专利权人：江苏宇天港玻新材料有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁控溅射工艺中使用的旋转镍铬靶,包括旋转镍铬靶管体，固定卡扣，旋转轴，电机，电机控制单元，支撑架；所述旋转镍铬靶管体两端分别连有两个所述旋转轴，所述旋转轴通过所述固定卡扣配合与所述旋转镍铬靶管体相对固定，所述旋转镍铬靶管体一端的所述旋转轴与所述支撑架相连，所述旋转镍铬靶管体另一端的所述旋转轴与所述电机相连。本发明的靶材利用率高，溅射速率高，有效减少打弧和靶面掉渣，工艺稳定性好。
一种磁控溅射工艺使用旋转镍铬靶

[实用新型]具有较高靶材利用率的靶材组件-CN202120009271.9有效
发明人：胡业新;高毓康 -专利权人：江苏日久光电股份有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有较高靶材利用率的靶材组件，包括多个靶材和底座，多个所述靶材包括两个位于所述底座相对两侧边部的边部靶材、固定于两个所述边部靶材之间的多个中间靶材，每个所述边部靶材的厚度分别厚于每个所述中间靶材，所述边部靶材与所述中间靶材磁控溅射面相齐平，充分利用中间的残余厚度，不浪费残靶，提高制程的保养周期，提高靶材的利用率，降低生产成本。
具有较高靶材利用率组件

[发明专利]一种微波铁氧体隔离器基板的制作方法-CN202110288883.0在审
发明人：徐缓;王强;张长明;邹冠生;周大伟;张贵华 -专利权人：深圳市博敏电子有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01P11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波铁氧体隔离器基板的制作方法，包括：磁控溅射镍铬铁合金靶材在铁氧体基片表面沉积形成打底层复合膜。本发明通过定制特定比例的镍铬铁合金靶材，以磁控溅射的方式完成镍铬铁复合膜在铁氧体基片上的淀积，此复合膜可实现与镀铜层一次混合蚀刻，与常规铬或镍铬打底蚀刻方式相比，省去了等离子蚀刻流程，简化了铁氧体隔离器基板的生产步骤
一种微波铁氧体隔离器制作方法

[发明专利]一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法-CN202210785089.1在审
发明人：许圣麟 -专利权人：天津华瑞新材料科技有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，通过成分设计制备AlSi、AlY共晶合金和NiCr20合金，按靶材指定成分配料并真空熔炼获得镍铬铝钇硅合金熔液本发明工艺制备得到的镍铬铝钇硅合金靶材具有细晶、致密度高的特点，制备的镀层致密、平整、结合力好。
一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金制备方法

[实用新型]一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具-CN202222614471.4有效
发明人：秦启栋;王青松 -专利权人：东莞市塔基特靶材科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，包括第一侧板、第二侧板、第一弧面板、第二弧面板、第一容槽、第二容槽和两个通槽，第一弧面板和第二弧面板依次设置在第一侧板和第二侧板相靠近一侧的两端之间。
一种避免镍铬靶材边部产生裂纹模具

[发明专利]电磁屏蔽方法及制品-CN201110337315.1无效
发明人：张新倍;蒋焕梧;陈正士;徐华阳 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-10-31 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电磁屏蔽方法，其包括如下步骤：提供基体；采用化学气相沉积法，在反应温度为20~50℃下，于基体上形成一绝缘层，该绝缘层为含氟二氧化硅层、二氧化硅层或氟氧化硅层；采用真空镀膜法，在室温下，以铬靶为靶材，于该绝缘层上形成一铬层；采用真空镀膜法，在室温下，以铜靶为靶材，于该铬层上形成一铜层；采用真空镀膜法，在室温下，以铬靶、不锈钢靶及镍铬合金靶中的任意一种为靶材，于该铜层上形成一防护层，所述防护层为铬层、不锈钢层或镍铬合金层。
电磁屏蔽方法制品

[发明专利]电磁屏蔽方法及制品-CN201110337311.3无效
发明人：张新倍;蒋焕梧;陈正士;徐华阳 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-10-31 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电磁屏蔽方法，其包括如下步骤：提供基体；采用真空镀膜法，以氧化铝或二氧化硅为蒸发材料，以氧气为补偿气体，于基体上形成一绝缘层，该绝缘层为二氧化硅层或氧化铝层；采用真空镀膜法，在室温下，以铬靶为靶材，于该绝缘层上形成一铬层；采用真空镀膜法，在室温下，以铜靶为靶材，于该铬层上形成一铜层；采用真空镀膜法，在室温下，以铬靶、不锈钢靶及镍铬合金靶中的任意一种为靶材，于该铜层上形成一防护层，所述防护层为铬层、不锈钢层或镍铬合金层。
电磁屏蔽方法制品

[发明专利]靶-CN201610127385.7在审
发明人：高岛洋;藤本光晴;上野英;上滩真史;陈宏亮;邱建仁 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2016-09-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种即使使用矩形条状靶材，也能够扩大因溅射而形成的浸蚀区域，且利用效率高，制造成本低的新靶。该靶是靶材和垫板借助接合件接合而成的，该靶材呈矩形条状，其溅射面及所述溅射面的背面呈平坦的形状，该垫板的与该靶材相接合的面呈平坦的形状，在所述靶材的长边方向两端部且是在所述靶材和所述垫板之间，沿着所述靶材的长边方向两端部的外周部配置板状的分路件，所述靶材及所述垫板借助接合件与所述分路件相接合。
靶

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