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[发明专利]一种平面显示器用钼钽合金溅射靶材的制备方法-CN201711185111.4有效
发明人：孙虎民;张雪凤;高建杰;吕阳阳 -专利权人：洛阳高新四丰电子材料有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面显示器用钼钽合金溅射靶材的制备方法，属于平面显示器用溅射靶材技术领域，包含如下步骤：1）选粉；2）混粉；3）压制成型；4）烧结；5）真空热处理；6）轧制；7）机械加工；8）绑定包装。本发明制备过程中无污染，较少资源浪费，成本投入较少，降低成本；采用本发明在钼钽合金制备过程中，防止吸氢脆化，提高了靶材的加工性能，制备出了高密度的钼钽合金溅射靶材，保证了钼钽合金的纯度，最终制备出了高密度、晶粒均匀细化的钼钽合金靶材。
一种平面显示器用合金溅射制备方法

[发明专利]一种平面异型钛靶组件的制备方法-CN202110758415.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种平面异型钛靶组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：对钛靶坯端面进行车削加工螺纹处理，将所述钛靶坯加工至所需形状，得到钛靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽与所述钛靶材形状相匹配；将所述钛靶材与所述背板进行装配，并依次进行包套焊接以及热等静压焊接；对焊接后的所述钛靶材与所述背板进行校平处理，得到所述平面异型钛靶组件。所述制备方法制备得到的钛靶材组件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接结合率和结合强度高，焊接结构适用于不同厚度设计的靶材。
一种平面异型组件制备方法

[发明专利]一种CdIn合金靶材及其制备方法-CN202210029388.2有效
发明人：余飞;江佩庭;黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法，属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备，简单快速，成本低廉。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度，致密度接近100％，明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95％的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能，具有良好的塑性和韧性，克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大，磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
一种 cdin 合金及其制备方法

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910140415.8无效
发明人：姚力军;王学泽;欧阳琳;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供钛靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对钛靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在钛靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料在钛靶材坯料的结合面和外周充分浸润，去除钛靶材坯料结合面和外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；对钛靶材坯料和背板进行钎焊，将钛靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高，产品加工周期短。
组件制作方法

[发明专利]一种铟锡氧三元化合物靶材及其制备方法和应用-CN202310409407.9在审
发明人：梅方胜;戚芳芳;曹新鲜;林建国 -专利权人：湘潭大学
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明公开了一种铟锡氧三元化合物靶材及其制备方法和应用，将In2O3和SnO2粉末混合获得混合粉，混合粉预烧结，获得铟锡氧三元化合物粉末，造粒，获得铟锡氧三元化合物粒料，压制成型获得铟锡氧三元化合物坯体，再将铟锡氧三元化合物坯体于氧化性气氛下进行第1步烧结，然后进行氧气置换处理，再进行第2步烧结即得铟锡氧三元化合物靶材，本发明的制备方法具有工艺流程简单、成本低、绿色环保，可制备低铟含量的高致密度的铟锡氧三元化合物靶材，利用铟锡氧三元化合物靶材所制得薄膜具有优良光电性能和良好的耐酸腐蚀性能，可满足现有建筑玻璃对“三防”薄膜的性能要求，同时还可降低铟的消耗，缓解铟资源短缺的压力。
一种铟锡氧三元化合物及其制备方法应用

[发明专利]铝靶材组件的焊接方法-CN201210268643.5有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种铝靶材组件的焊接方法，包括：利用熔融的锡焊料对铝靶材坯料的焊接面进行表面浸润处理；利用熔融的铟焊料对背板的焊接面进行表面浸润处理；利用所述锡焊料与所述铟焊料将所述铝靶材坯料的焊接面与所述背板的焊接面焊接在一起本发明所提供的铝靶材组件的焊接方法免去对铝靶材坯料焊接表面的镀镍处理，降低了能耗，节省了成本，减少了污染。
铝靶材组件焊接方法

[发明专利]靶材与背板的焊接结构及方法-CN200910140417.7无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-08 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： B23K20/00 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。本发明对钛靶材进行机械加工形成螺纹状，能将其表面的氧化层撕裂，对铝背板进行机械加工能使其表面的氧化层变薄，进而使钛靶材和铝背板之间的结合强度提高。
背板焊接结构方法

[发明专利]一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用-CN202310318909.0在审
发明人：姚力军;潘杰;黄洁文;王学泽;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C04B35/495 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)均匀混合三氧化钼粉与钽粉，得到混合料；(2)均匀混合粘结剂溶液与步骤(1)所得混合料，然后进行冷压；(3)冷压结束后进行无压烧结，得到所述氧化钼钽靶材。本发明提供的制备方法在混合料中添加粘结剂以增强颗粒之间的强度，而后通过冷压以及无压烧结相结合的方式，提高了所得氧化钼钽靶材的致密度，避免了氧化钼在高温下升华导致的致密度偏低的问题。
一种氧化钼钽靶材及其制备方法应用

[发明专利]多片拼接靶材绑定方法-CN201610753540.6在审
发明人：石煜;曾探;罗永春;曾墩风 -专利权人：芜湖映日科技有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种多片拼接靶材绑定方法，针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量，解决了靶材涂铟工作涂铟过久高温氧化的问题。
拼接绑定方法

[发明专利]一种铜铟镓硒旋转溅射靶材制备方法-CN202111092127.7在审
发明人：石煜;曾墩风;王志强;马建保;盛明亮 -专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种铜铟镓硒旋转溅射靶材制备方法，包括以下步骤，步骤1，以Cu、In、Ga和Se为原料按比例混合，并采用真空气雾化制备出球型粉末；步骤2，对背管进行喷砂粗化；步骤3，将背管装配到喷涂设备上并选择喷涂工艺，将球型粉末喷涂在背管上形成靶材；步骤4，对靶材进行后处理加工。通过采用铜铟镓硒粉末制备、背管喷砂、喷涂、后处理的流程工艺进行铜铟镓硒靶材的制备加工，所得靶材≥98%，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
一种铜铟镓硒旋转溅射制备方法

[发明专利]低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法-CN201811505302.9在审
发明人：孙本双;何季麟;舒永春;曾学云;陈杰;李庆奎;杨淑敏;刘洋;梁鹏;赵旭;齐超;张雨;仇晨 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，真空除气，得到料浆；料浆在压力下注入成型模具，冷等静压强化，得到靶材素坯；靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥，在空气气氛下程序升温至脱脂温度，保持设定的时间，在氧气气氛下程序升温至烧结温度，保持设定时间；停止通入氧气，程序降温至室温，得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低，烧结时间大大缩短，有效抑制了晶粒长大，保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀，平均晶粒度为4～6μm；相对密度大于99.6％；电阻率低至1.24×10^‑4Ω.cm
氧化铟锡靶材烧结结瘤程序升温混合粉体靶材料浆素坯制备恒温恒湿环境平均晶粒度氧化锡粉体氧化铟粉体程序降温晶粒长大空气气氛冷等静压氧气气氛优异性能有效抑制真空除气注入成型晶粒脱脂研磨电阻率料浆液混匀溅射模具氧气保证

[发明专利]一种用于CIG靶材打底层的合金材料、CIG靶材及其制备方法-CN201810712923.8在审
发明人：王云能;万捷;徐国军;黄喜南;张蛟;雷贵先;吴福忠;翁辉 -专利权人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： B22F7/04 文献下载
摘要：本发明涉及靶材技术领域，尤其是涉及一种用于CIG靶材打底层的合金材料、CIG靶材及其制备方法。所述用于CIG靶材打底层的合金材料，包括按质量百分数计的如下组分：铜30‑36％、铟50‑60％和镓10‑16％。所述CIG靶材，包括背衬基底、打底层和本体层，所述打底层设置于背衬基底和本体层之间，所述打底层的材料为前述用于CIG靶材打底层的合金材料。所述的靶材打底层的合金，铟和镓的含量高，合金粘度高，作为打底层，提高与背衬基底的粘结强度；并且，所述打底层的成分与靶材本体的CIG成分近似，实现方式相当，能够避免对靶材本体的污染，且具有较好的工艺实现效果
打底层合金材料背衬基底靶材制备合金靶材本体工艺实现对靶粘结近似污染

[发明专利]一种管状氧化铟镓锌（In2-CN202211502274.1在审
发明人：陈杰;齐超;孙本双;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明属于金属氧化物靶材制备技术领域，具体涉及一种管状氧化铟镓锌（In2Ga2ZnO7）细晶高致密无开裂靶材的制备方法。该方法包括物料球磨、造粒、冷等静压制备管状靶材素坯、三阶段烧结。本发明使用了三阶段烧结工艺，通过对靶材粉末处理、坯体成型及烧结过程的调控，制备了高致密度、细晶粒，无开裂的氧化铟镓锌管状靶材。管状靶材在旋转阴极内溅射时，靶材利用率较平面靶材由原本的30～40%提升至70%以上，大大提升了溅射效率及靶材利用率，具有较高的产业利用价值。
一种管状氧化铟镓锌 in base sub

[发明专利]一种管状靶材的绑定方法-CN202110239268.0在审
发明人：盖伟;古建国;尹凯;张立新 -专利权人：云南戊电靶材科技有限公司
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种管状靶材的绑定方法，属于溅射靶材制造技术领域，该一种管状靶材的绑定方法包括以下步骤：管状靶材通过结合层材料与背管紧密固定在一起，且结合层材料与背管的导热导电性能等同，本发明在低功率溅射时，管状靶材与背管之间的结合过渡层是:金属铟或铟锡合金，且合金中两元素比例大小是唯一的，铟的纯度也是唯一的；在高功率溅射时，管状靶材与背管之间的结合过渡层是:绑定专用胶、铜网或铜丝、SUS304不锈钢网或SUS304不锈钢丝、铝网或铝丝；并且在降低用料成本的同时，易于操作，提高绑定质量，避免靶材溅射使用时开裂。
一种管状绑定方法

[发明专利]一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法-CN201810552871.2在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;侯宇 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法，包括如下步骤：(A)将钽螺纹超声波处理3‑10min后，表面涂抹清洁剂；(B)再经过刷洗、吹干、真空干燥即可。本发明的清洗方法通过将超声波、刷洗、真空干燥等处理方法进行综合利用，可以对钽靶在生产制作过程中的清洗工序的操作进行更为精细的设计，除去了钽螺纹表面的脏污、油污，并能提高该靶材的后续使用性能，提高其在溅射过程中的反应速度，降低误码率，提高效率以及提高钽靶的焊接性能，因此该清洗方法虽然工艺简单，但是处理效果显著，值得广泛推广应用。
清洗螺纹生产过程钽靶材钽靶半成品清洁剂超声波处理表面涂抹焊接性能螺纹表面清洗工序使用性能制作过程超声波误码率油污靶材吹干溅射脏污精细生产