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[发明专利]金属可编程熔丝器件制作方法-CN201210352925.3有效
发明人：俞柳江 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-09-19 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种金属可编程熔丝器件制作方法，包括：将器件区域分为非金属可编程熔丝区域和金属可编程熔丝区域；在所述金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属；对所述非金属可编程熔丝区域以及金属可编程熔丝区域进行光刻和显影本发明在金属可编程熔丝区域下方设置附加空置下层金属，从而提高金属熔丝边缘的粗糙度，使得金属可编程熔丝器件中的电流密度变化增大，以增强金属可编程熔丝器件的熔断性能。
金属可编程器件制作方法

[发明专利]金属熔丝的制造方法-CN201210147023.6有效
发明人：赵新梅;郑炯 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2012-05-11 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属熔丝的制造方法，包括如下步骤：步骤一、形成次顶层金属、层间膜、顶层金属和钝化层，次顶层金属包括次顶层连线金属和金属熔丝。步骤二、利用一层光罩将金属熔丝区域打开。步骤三、对金属熔丝区域的钝化层和层间膜进行刻蚀将金属熔丝露出。步骤四、采用刻蚀工艺对金属熔丝进行减薄。步骤五、进行第二钝化层淀积，第二钝化层将金属熔丝覆盖。步骤六、采用光刻刻蚀进行衬底焊盘开口。本发明能对金属熔丝进行减薄，从而能大大减少进行金属熔丝的激光切割时所需的激光能量，还能提高金属熔丝的保护层的厚度可控性和均匀性，提高切割的精度。
金属制造方法

[发明专利]熔丝连接单元-CN201210025064.8有效
发明人：原尾彰;久保田实 -专利权人：矢崎总业株式会社
申请日： 2012-02-06 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：一种熔丝连接单元，包括金属芯基板，该金属芯基板包括金属芯板和形成在该金属芯板的正面和背面上的绝缘层；以及安装在金属芯板上的熔丝块。金属芯基板具有从每个绝缘层的端缘伸出的熔丝连接端子部。熔丝块具有熔丝连接端子。熔丝连接端子部和熔丝连接端子构造成连接于熔丝。
连接单元

[发明专利]一种避免金属熔丝被过刻蚀的方法-CN201910144770.6有效
发明人：王乐平 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01L23/525 文献下载
摘要：本发明提供一种避免金属熔丝被过刻蚀的方法，提供一金属熔丝，在金属熔丝上淀积层间膜；在层间膜上形成顶部金属层，顶部金属层的上下表面分别具有氮化钛层；对顶部金属层进行刻蚀，形成焊垫和位于金属熔丝上方的保护图形；淀积钝化层后，在焊垫上方和保护图形上方定义刻蚀窗口；按照刻蚀窗口进行刻蚀用以去除焊垫上表面的氮化钛，并利用保护图形作为掩膜在保护下层熔丝的同时在金属熔丝左右打开窗口用以释放该金属熔丝烧断时产生的生成物本发明实现了既保护金属熔丝又在金属熔丝上开窗，减低成本的同时保护了下层的金属熔丝，但是在金属熔丝的左右边缘又打开了窗口，以便金属熔丝烧断时产生的生成物及时的释放，以免聚集在原地形成短路。
一种避免金属熔丝被刻蚀方法

[发明专利]一种熔丝筒-CN201710901248.9有效
发明人：包泗强;窦元剑 -专利权人：北京索弗电气科技有限公司
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01H85/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型熔丝筒，新型熔丝筒包括熔丝筒管盖、熔丝组件、消弧筒、下部接触金属、弹簧和表示筒，熔丝组件包括熔丝和金属引线，熔丝的一端设置有限位件，金属引线的一端与熔丝的另一端连接；下部接触金属可活动地套设在消弧筒的柱面上，表示筒安装在消弧筒的下端，弹簧套设在下部接触金属与表示筒之间消弧筒的柱面上，金属引线的另一端安装有挂件，熔丝组件从消弧筒的上端穿入并从下端口穿出，熔丝筒管盖安装在消弧筒的上端并保持与限位件接触，通过下部接触金属上的螺丝杆将挂件固定在下部接触金属上，从而实现熔丝筒管盖与下部接触金属连接。本发明的新型熔丝筒具有组装方便和安全性高的优点。
一种熔丝筒

[实用新型]一种新型熔丝筒-CN201721266398.9有效
发明人：包泗强;窦元剑 -专利权人：北京索弗电气科技有限公司
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01H85/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型熔丝筒，新型熔丝筒包括熔丝筒管盖、熔丝组件、消弧筒、下部接触金属、弹簧和表示筒，熔丝组件包括熔丝和金属引线，熔丝的一端设置有限位件，金属引线的一端与熔丝的另一端连接；下部接触金属可活动地套设在消弧筒的柱面上，表示筒安装在消弧筒的下端，弹簧套设在下部接触金属与表示筒之间消弧筒的柱面上，金属引线的另一端安装有挂件，熔丝组件从消弧筒的上端穿入并从下端口穿出，熔丝筒管盖安装在消弧筒的上端并保持与限位件接触，通过下部接触金属上的螺丝杆将挂件固定在下部接触金属上，从而实现熔丝筒管盖与下部接触金属连接。本实用新型的新型熔丝筒具有组装方便和安全性高的优点。
一种新型熔丝筒

[发明专利]一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法-CN201010191134.8有效
发明人：洪根深;肖志强;陈海峰 -专利权人：无锡中微晶园电子有限公司
申请日： 2010-06-04 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： H01L23/525 文献下载
摘要：本发明涉及一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法，其包括衬底及位于衬底上的绝缘支撑层；所述绝缘支撑层上设有金属互连层、反熔丝下极板及氧化层；所述氧化层包覆金属互连层与反熔丝下极板，所述反熔丝下极板与金属互连层间利用氧化层相隔离；所述金属互连层上设有连接孔，所述连接孔从氧化层的表面延伸到金属互连层，连接孔内填充有金属电极；反熔丝下极板上设有反熔丝孔，所述反熔丝孔从氧化层的表面延伸到反熔丝孔；所述反熔丝孔内依次填充有高阻介质层、反熔丝上极板及金属电极；所述金属电极与反熔丝上极板、金属互连层均电性连接。
一种 mtm 反熔丝单元结构及其制备方法

[发明专利]一种基于ONO介质的MTM型反熔丝单元的制备工艺及结构-CN202111644021.3在审
发明人：王印权;郑若成;洪根深;吴建伟;贺琪;胡君彪;郝新焱 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01L21/8246 文献下载
摘要：本发明公开一种基于ONO介质的MTM型反熔丝单元的制备工艺及结构，属于微电子工艺制造领域。提供衬底，并在其表面依次制作中间金属布线、反熔丝底层金属和底层金属阻挡层；进行MTM反熔丝ONO叠层介质的淀积；进行顶层金属阻挡层的淀积；对ONO叠层介质和顶层金属阻挡层进行光刻和腐蚀，形成岛状反熔丝结构；淀积金属层间介质IMD，所述金属层间介质IMD包覆所述ONO叠层介质和所述顶层金属阻挡层；进行反熔丝通孔的光刻、通孔Via的淀积并进行CMP平坦化；淀积反熔丝顶层金属，并光刻、腐蚀，形成反熔丝上电极。本发明采用新型的MTM反熔丝介质工艺，显著降低反熔丝单元编程电流，减小反熔丝存储单元Bitcell的版图面积，提升反熔丝存储单元的集成度10倍以上。
一种基于 ono 介质 mtm 型反熔丝单元制备工艺结构

[实用新型]一种双金属丝激光熔覆装置-CN201921436263.1有效
发明人：苏成明;李建勋 -专利权人：陕西天元智能再制造股份有限公司
申请日： 2019-09-01 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C23C24/10 文献下载
摘要：本实用新型提出一种双金属丝激光熔覆装置，包括：熔覆头、激光器、第一送丝机、第二送丝机和热丝电源；第一送丝机和第二送丝机分别连接于所述熔覆头，用于向所述熔覆头提供第一金属丝和第二金属丝；激光器连接于熔覆头，用于向熔覆头提供熔覆激光束；热丝电源的两个电极分别连接于熔覆头和待处理工件，用于对熔覆头和待处理工件之间的金属丝进行加热。本实用新型所述装置能够同时输送两根金属丝进入激光束，且能够使双金属丝的加热段得到惰性气体保护，并可实现将激光熔覆熔池中的熔渣吹向不影响熔覆质量的位置，对于促进激光熔覆技术的发展意义重大。
一种双金属激光装置

[发明专利]电可编程熔丝单元版图结构-CN202010832321.3在审
发明人：晏颖;金建明 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L23/525 文献下载
摘要：本发明公开了一种电可编程熔丝单元版图结构，其包括引脚垫、熔丝本体、屏蔽层；熔丝本体的长度方向两端分别布置有一个引脚垫；屏蔽层和熔丝本体处于同一金属层；屏蔽层包括多条独立金属线；多条独立金属线布置在熔丝本体两侧，并排布在熔丝本体两端的引脚垫之间；各独立金属线的长度大于宽度；各独立金属线的长度方向均垂直于熔丝本体的长度方向。该电可编程熔丝单元版图结构，既形成防止爆裂金属喷射影响其他电路的阻挡保护层，又能够防止喷射金属反射回来连接到断开的熔丝本体上，提高了电可编程熔丝单元的编程可靠性。
可编程单元版图结构

[发明专利]集成电路结构及其形成方法-CN201810981272.2有效
发明人：张盟昇;彭绍栋;周绍禹;张良川;杨耀仁 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01L27/112 文献下载
摘要：集成电路结构包括：形成在第一金属层中的第一熔丝线；形成在第一金属层中的第二熔丝线；形成在第一金属层中且位于第一熔丝线的第一端的相对两侧上的第一对熔丝翼；形成在第一金属层中且位于第二熔丝线的第一端的相对两侧上的第二对熔丝翼；形成在第一金属层中且位于第一熔丝线的第二端的相对两侧上的第三对熔丝翼；以及形成在第一金属层中且位于第二熔丝线的第二端的相对两侧上的第四对熔丝翼。第一对熔丝翼和第二对熔丝翼共用第一共用熔丝翼并且第三对熔丝翼和第四对熔丝翼共用第二共用熔丝翼。
集成电路结构及其形成方法

[实用新型]跌落式熔断器熔丝下缀器-CN201220480066.1有效
发明人：叶猛 -专利权人：保定供电公司
申请日： 2012-09-20 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01H85/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种跌落式熔断器熔丝下缀器，由坠铁金属丝卡子、坠铁金属丝、坠铁组合构成，坠铁金属丝卡子与坠铁金属丝卡死在熔丝卡子的下方，坠铁位于跌落式熔断器的下方并固定在坠铁金属丝上；坠铁呈空心圆锥形，在空心圆锥形坠铁的空心圆腔内设有一个枕铁；新型熔丝下缀器可将熔丝断头迅速拉出熔丝管，杜绝熔丝断头在熔管内继续放电，提高农网系统的自保护能力。
跌落熔断器熔丝下缀器

[发明专利]一种双金属丝材激光熔覆系统和方法-CN201910820299.8在审
发明人：苏成明;曹鹏 -专利权人：陕西天元智能再制造股份有限公司
申请日： 2019-09-01 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C23C24/10 文献下载
摘要：本发明提出一种双金属丝材激光熔覆系统和方法，所述系统包括激光器（4）、第一金属丝（5）、第二金属丝（6）、导电嘴（7）、第一送丝机（8）、第二送丝机（9）和丝材加热装置（10），第一金属丝（5）和第二金属丝（6）并排穿过所述导电嘴（7）后指向工件（1）的待熔覆表面，导电嘴（7）与工件（1）分别连接于所述丝材加热装置（10）的两个电极。本发明通过创新布置双金属丝熔覆方案，首创的在传统单金属丝材激光熔覆技术的基础上实现了双金属丝材激光熔覆方法，解决了目前丝材激光熔覆技术存在的熔覆效率与激光器功率无法同比例提高的应用难题、激光熔覆原材料成分的调整难题以及激光能量利用率低的难题
金属丝导电嘴熔覆丝材激光熔覆技术双金属丝材激光熔覆加热装置送丝机激光能量利用率激光熔覆系统激光器功率单金属丝双金属丝激光器电极指向穿过应用

[发明专利]熔丝元件-CN201380043088.9有效
发明人： J.M.克里斯特曼;W.哈特曼;S.亚马扎基 -专利权人：西门子公司
申请日： 2013-08-20 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： H01H85/10 文献下载
摘要：提供了熔丝元件(10)及其制造方法，其中，熔丝元件(10)包括有利地由细长熔丝金属箔的至少四个金属子条(9)形成的活性熔丝响应部分，至少相应的两个金属子条是平行的，由一个或两个自支撑细长熔丝金属条内的至少两个细长凹槽提供，至少两个凹槽沿相应熔丝金属条串行对准地设置，金属子条包括与每个熔丝元件(10)电连接的前部和后部，细长熔丝金属箔可通过由聚合材料制成细长介质基层增强。相应地，这种熔丝元件(10)的性能可以增加，制造成本可以减少。本发明尤其可应用于结合在壳体中并浸入壳体内的冷却和绝缘液体中的多个电容器子单元。
元件

[发明专利]一种集成电路结构及其制作方法-CN201410053488.4有效
发明人：潘光燃;文燕;石金成;高振杰;王焜 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H01L23/525 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路结构及其制作方法，用以解决金属熔断过程中，金属熔丝与衬底之间发生短路的问题。该集成电路结构包括衬底、绝缘保护层、金属熔丝及隔离金属部件，该金属熔丝与衬底和绝缘保护层均绝缘；该隔离金属部件设置于金属熔丝与衬底之间，且该隔离金属部件与上述金属熔丝及衬底绝缘；该金属熔丝裸露在对绝缘保护层的预定区域进行刻蚀形成的空间中，该预定区域的尺寸不大于隔离金属部件相对于绝缘保护层一面的尺寸。
一种集成电路结构及其制作方法

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