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[发明专利]一种超导芯片-CN202010572838.3在审
发明人：潘健 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L39/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种超导芯片，其可以应用于量子计算领域。该超导芯片可以包括基底、位于基底上表面的第一结构和第二结构。第一结构包括第一超导金属层和与第一超导金属层交叠的第一覆盖层，第一覆盖层包括第二超导金属层和位于第一超导金属层和第二超导金属层之间的第一绝缘层。第二结构包括第三超导金属层和与第三超导金属层交叠的第二覆盖层，第二覆盖层包括第四超导金属层和位于第三超导金属层和第四超导金属层之间的第二绝缘层。第二结构还包括第五超导金属层，其同时覆盖第三超导金属层上表面未被覆盖区和第四超导金属层上表面的全部或部分区域。第一超导金属层与第三超导金属层相连，或者，第二超导金属层与第四超导金属层相连。
一种超导芯片

[实用新型]超导排型柔性传输线结构-CN202020791993.X有效
发明人：梁福田;邓辉;吴玉林;龚明;彭承志;朱晓波;潘建伟 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01B12/02 文献下载
摘要：一种超导排型柔性传输线结构，包括：第一超导金属箔片，作为第一地平面；第二超导金属箔片，与第一超导金属箔片相对设置，作为第二地平面；第三超导金属箔片，作为信号线，设置于第一超导金属箔片和所述第二超导金属箔片之间；第一柔性介电层，设置于第一超导金属箔片与第三超导金属箔片之间；以及第二柔性介电层，设置于第二超导金属箔片与第三超导金属箔片之间。上述结构在整体上提升了该传输线的集成度，同时安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。并由于地平面与信号线均采用超导金属箔片，具有减少漏热的优点。
超导柔性传输线结构

[发明专利]一种超导转变边沿传感器、制备方法及微量能器-CN202111194967.4在审
发明人：黎发军;梁亚杰;王烨儒;王国乐;王思凡;丁骄;崔伟 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种超导转变边沿传感器、制备方法及微量能器，其中超导转变边沿传感器制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底的上表面形成超导金属薄膜；在所述超导金属薄膜的上表面形成正常金属薄膜，所述超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度之比为1‑10；所述超导金属薄膜和正常金属薄膜在真空腔内形成。通过在衬底上形成超导金属薄膜和正常金属薄膜，并使超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度之比保持在1‑10的范围内。通过对超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度比进行控制，提高了TES的转变温度Tc均匀性和转变区间可控性。
一种超导转变边沿传感器制备方法微量

[实用新型]一种散热装置-CN201020137673.9无效
发明人：王春 -专利权人：王春
申请日： 2010-03-18 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： H01L33/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种散热装置，包括内设有密闭空腔的超导金属底板，该超导金属底板上开设有散热超导液注入口，且注入口上设有与其相适配的密封装置，另超导金属底板的上表面安装有空心多片式散热片，并与超导金属底板腔体形成一个密闭的腔体，腔体内抽成真空，注入超导液。由此可知，本实用新型将大功率LED光源直接安装在超导金属底板上，从而可以对LED光源产生的热能，通过超导金属底板与超导液快速传导到超导金属底板的上表面的空心多片式散热片上，使LED光源底板积温大大降低，
一种散热装置

[发明专利]一种超导量子芯片首层结构及其制备方法-CN202211402335.7有效
发明人：吴艳伏;冯加贵;熊康林;杨丽娜;丁增千 -专利权人：材料科学姑苏实验室
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本发明提供一种超导量子芯片首层结构及其制备方法，属于量子芯片领域，所述首层结构包括依次连接的硅衬底层、中间层以及超导金属层；所述中间层用于阻挡硅和超导金属层之间的互扩散；所述中间层可用于捕获超导金属层中的准粒子所述首层结构及其制备方法解决了硅与超导金属层之间的互溶问题，实现了超导金属薄膜的高温制备。利用所述方法制备的超导金属薄膜晶粒大、界面锐利和表面平整，有利于降低微波损耗体积、提高超导量子芯片性能。
一种超导量子芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种超导量子约瑟夫森结及其制备方法-CN202211071631.3在审
发明人：郑伟文 -专利权人：量子科技长三角产业创新中心
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种涉及量子芯片领域，特别是一种超导量子约瑟夫森结及其制备方法，通过在衬底上设置第一超导金属层；对所述第一超导金属层图形化，得到超导金属图形；在所述超导金属图形表面设置第一绝缘层；所述第一绝缘层覆盖所述超导金属图形的目标侧壁；在设置过所述第一绝缘层的衬底设置第二超导金属层；去除所述超导金属图形上方的第二超导金属层，得到约瑟夫森结前置物；在所述约瑟夫森结前置物的表面设置第二绝缘层，所述第二绝缘层将所述第二超导金属层覆盖，得到约瑟夫森结
一种超导量子约瑟夫及其制备方法

[发明专利]一种大功率LED光源散热装置-CN201010553051.9无效
发明人：王春 -专利权人：王春
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： F21V29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种大功率LED光源散热装置，包括内设有密闭空腔的超导金属底板，该超导金属底板上开设有散热超导液注入口，且注入口上设有与其相适配的密封装置，另超导金属底板的壳体上表面安装有空心多片式散热片，并与超导与金属底板腔体形成一个密闭的腔体，腔体内抽成真空，注入超导液。由此可知，本发明将大功率LED光源直接安装在超导金属底板上，从而可以对LED光源产生的热能，通过超导金属底板与超导液快速传导到超导金属底板的壳体上表面的空心多片式散热片上，使LED光源底板积温大大降低，
一种大功率 led 光源散热装置

[发明专利]一种平面约瑟夫森结的制备方法-CN202211032109.4在审
发明人：马雷;董刚;李睿;张凯敏;郝路珍 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明属于超导电子学器件制备技术领域，公开了一种平面约瑟夫森结的制备方法，先在绝缘衬底上制备低粗糙度的超导金属薄膜；然后在超导金属薄膜表面通过微纳米加工引入缺陷，使设计位置的电阻大于超导金属薄膜的电阻；搭建快速开关电路，将快速开关电路连接到超导金属薄膜的缺陷两侧；通过控制快速开关电路的输出信号对超导金属薄膜进行电迁移处理；使超导金属薄膜在缺陷位置处断开，且断开的宽度小于超导金属薄膜的超导相干长度，从而实现平面约瑟夫森结的可控制备本发明工艺流程简单，不需要复杂和高精度设备，同时能够保证制备器件的均匀性，并且可以通过改变电路结构的方式实现多个器件的同时制备，适用于多器件超导电路的加工生产。
一种平面约瑟夫制备方法

[发明专利]一种阳光聚焦发热超导金属板发电装置-CN201510242928.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：黄斌
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： F24J2/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种阳光聚焦发热超导金属板发电装置，利用凹凸镜把低温散热收缩聚焦成高温区热，照射在超导金属板上，利用光感定位器，在阳光反射镜2次聚焦在超导金属板上，超导金属板是由真空和低温气化化学介质合成的密封高压金属超导板，把金属超导板的一端与阳光聚焦高温油相溶，通过金属超导板连接汽轮机蒸汽的热效能系统工作，高压热能量转变为机械能，再把机械能转换为电能的一种阳光聚焦发热超导金属板发电的方法。
一种阳光聚焦发热超导金属板发电装置

[发明专利]超导薄膜、采用共沉积的制备方法、超导转变边沿探测器、应用-CN202111426732.3有效
发明人：徐骁龙;李劲劲;王雪深;陈建;钟青;钟源;曹文会;王仕建 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2021-11-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种超导薄膜、制备方法、超导转变边沿探测器及应用。该超导薄膜包括超导金属膜层、合金膜层和正常态金属膜层，所述合金膜层的合金包括所述超导金属膜层中的超导金属与所述正常态金属膜层中的正常态金属，所述合金膜层层叠设置于所述超导金属膜层与所述正常态金属膜层之间合金膜层的引入不仅能够有效降低超导薄膜的超导转变温度，还能够用于在维持该超导薄膜整体的热容不变的情况下调控超导薄膜整体的超导转变温度。
超导薄膜采用沉积制备方法转变边沿探测器应用

[发明专利]约瑟夫森结的制备方法及约瑟夫森结-CN202110610839.7有效
发明人：高建峰;贺晓彬;李俊杰;王佳;刘卫兵;杨涛;李俊峰;罗军 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种约瑟夫森结的制备方法及约瑟夫森结，包括以下步骤：提供一衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层上形成感光层，在牺牲层中形成第一沟道，在感光层中形成第二沟道；衬底在第一沟道、第二沟道处形成衬底暴露区；在衬底暴露区、感光层表面形成第一超导金属材料层；氧化第一超导金属材料层，形成第一绝缘材料层；去除牺牲层和感光层；去除第一超导金属材料层表面的第一绝缘材料层；氧化第一超导金属材料层，形成第二绝缘材料层；在第二绝缘材料层表面、衬底表面形成第二超导金属材料层；图形化第二超导金属材料层，刻蚀至第二绝缘材料层，第二超导金属材料层与带有第二绝缘材料层的第一超导金属材料层交叉形成约瑟夫森结。
约瑟夫制备方法

[发明专利]硅通孔的超导金属-CN201780090283.5有效
发明人： D·亚伯拉罕;J·M·科特 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：半导体结构和形成该半导体结构的方法通常包括提供夹在第一硅衬底和第二硅衬底之间的热压结合的超导金属层。第二衬底包括到热压结合的超导金属层的多个硅通孔。在电镀过程中，使用热压结合的超导金属层作为底部电极，将第二种超导金属电镀到硅通孔中，其中填充是从底部向上进行的。
硅通孔超导金属

[发明专利]超导电缆-CN01815722.X无效
发明人：乌黛·K·辛哈;R·L·休伊;杰瑞·托尔伯特;迈克尔·J·古奇;J·W·卢 -专利权人：南方电线公司
申请日： 2001-09-14 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H01B12/00 文献下载
摘要：为了提供一种在AC损失上降低的柔性氧化物超导电缆，将由稳定金属覆盖的带状超导金属丝卷绕在一柔性样板上。超导金属丝最好以不大于0.2％的弯曲应变敷设在样板上。在样板上敷设的过程中，以并排方式将多个带状超导金属丝敷设在一芯部元件上，以形成第一层。以并排方式将预定数量的带状超导金属丝敷设在第一层的顶部，以形成第二层。样板可由金属、塑料、增强塑料、聚合物或复合物制成，并向超导金属丝及通过其形成的电缆提供柔韧性。
超导电缆

[发明专利]一种低温液体液位监测装置及监测方法-CN202210555042.6在审
发明人：方秀菊;黄啸;张丽 -专利权人：中科美菱低温科技股份有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01F23/04 文献下载
摘要：本发明包括储液容器和液位传感器，液位传感器包括超导金属体、连杆和导线，超导金属体采用临界温度为‑196℃±5℃的超导材料(如：Tl2Ba2CuO6(Ti‑2201))制成；超导金属体竖直设置于储液容器内，超导金属体在储液容器内从最高处延伸延伸至最低处，实现对储液容器内液位的全区间测量本发明通过在储液容器内竖直设置液位传感器，液位传感器包括超导金属体，利用超导材料的低温超导特性，替代现有市场上液位传感器用材料，超导金属体在储液容器内从最高处延伸延伸至最低处，实现对储液容器内液位的全区间测量
一种低温液体监测装置方法

[发明专利]用于超导量子比特的金属薄膜及其变功率制备方法-CN202111394827.1在审
发明人：宿非凡;燕军祥;耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于超导量子比特的金属薄膜及其变功率制备方法，包括：对基片进行清洗；在清洗后的基片上进行电子束蒸发，形成超导金属薄膜；电子束蒸发包括第一功率蒸发和第二功率蒸发；电子束蒸发设备在第一功率蒸发的第一设定功率小于第二功率蒸发的第二设定功率；对蒸发有超导金属薄膜的基片进行激光直写光刻；对光刻后的基片上的超导金属薄膜进行刻蚀，暴露出基片上用于制备超导量子比特的约瑟夫森结结构的基底区域。本方法通过预先用小功率生长小厚度的超导金属薄膜，减少了对基片的损害，而后再用大功率完成超导金属薄膜的生长，既保证了薄膜生长的质量与效率，又减小了对基片的损害，降低了粗糙度，有效提升超导量子比特的能量弛豫时间
用于超导量子比特金属薄膜及其功率制备方法

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