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[实用新型]一种单向软密封闸阀-CN202321717911.7有效
发明人：曹月章;彭永杰;赵英;耿广州;韩猛 -专利权人：石家庄金河阀门工业有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及闸阀技术领域，尤其为一种单向软密封闸阀，包括阀体和螺纹杆，所述阀体内侧转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外侧设有外块，所述阀体内侧滑动连接有外孔，所述外块上端内侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧下端固定连接有内块，所述内块外侧滑动连接在外块内侧，所述内块内侧开设有内孔，所述内孔内侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧一端固定连接有耳座，所述耳座一侧固定连接有第一螺块，本实用新型中，单向软密封闸阀在开启时，闸阀内置块进行向下移动，移动后内置块与外置块内部分别设置的孔洞连通，再把外置块带动内置块完全移动到闸阀上端内部，此时管道内部即可完全通水，不影响管道的正常流水速度。
一种单向密封闸阀

[发明专利]结构色显示器件及其制作方法-CN202310730730.6在审
发明人：潘如豪;李俊杰;耿广州;李晨圣 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明提供一种结构色显示器件的制作方法、制作装置以及结构色显示器件，该方法包括在测试衬底层上制作多个纳米柱阵列单元以获得纳米柱的高度、线宽和周期与显示颜色对应的加工参数表；确定目标图像的每个像素对应的结构色，由此根据加工参数表确定与每个像素对应的纳米柱阵列单元的加工量；在目标衬底层上制作超表面层以制成显示目标图像的结构色显示器件。该方法通过对纳米柱阵列单元高度、线宽与周期的多维控制，从而扩展了像素颜色丰富度和控制精确度，同时大幅缩小了像素面积。
结构显示器件及其制作方法

[发明专利]微纳米尺寸的灰度显示器件及其加工方法-CN202310730714.7在审
发明人：潘如豪;李俊杰;耿广州;李晨圣 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种微纳米尺寸的灰度显示器件及其制作方法，灰度显示器件包括衬底和布置在衬底上的高度梯度纳米结构，高度梯度纳米结构包括显示单元，其包括多个衬底上的纳米柱；其中显示单元能够接收外部入射信号并以一定占空比反射以使显示单元呈现相应的灰度显示，其中占空比至少部分地根据显示单元的高度确定；所述方法包括将制备件通过电子束曝光方法按照预定深度梯度曝光光刻胶涂层；将其显影以形成光刻胶纳米孔；由介质材料层填充光刻胶纳米孔；剥离形成光刻胶模板‑介质材料薄膜；转移到所述目标衬底并形成灰度显示器件。本发明的灰度显示器件具有像素尺寸小、灰度显示阶次多、超高分辨率的优点。
纳米尺寸灰度显示器件及其加工方法

[发明专利]具有亚波长结构的超宽带吸波器及其制备方法和应用-CN202210717641.3有效
发明人：李俊杰;李晨圣;潘如豪;耿广州;郭海明 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有亚波长结构的超宽带吸波器，其包括：衬底；位于所述衬底之上的反射层；位于所述反射层之上的第一吸收层；位于所述第一吸收层之上的第二吸收层；其中，所述第一吸收层为薄膜结构，并且所述第二吸收层具有由锗锑碲合金形成的亚波长结构。本发明还提供制备本发明的吸波器的方法。本发明还提供本发明的具有亚波长结构的超宽带吸波器或者本发明的方法制得的具有亚波长结构的超宽带吸波器在光电器件中的应用。本发明的吸波器既具有高的光吸收效率又具有宽的吸收带。本发明的吸波器不依赖入射电磁波的偏振状态，对于TE波、TM波以及非偏振光，均能实现完美吸收。本发明的吸波器对于大角度入射的电磁波，也能保持较高的吸收率。
具有波长结构宽带吸波器及其制备方法应用

[发明专利]制备高度上连续可调的三维纳米结构的方法-CN202010494162.0有效
发明人： 耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种制备高度上连续可调的三维纳米结构的方法，其包括如下步骤：(1)对第一衬底进行表面清洁处理；(2)在步骤(1)中得到的第一衬底上制备牺牲层；(3)使用电子束抗蚀剂旋涂制得的牺牲层，以形成抗蚀剂层；(4)使用电子束曝光系统以不同的曝光剂量，对步骤(3)中得到的抗蚀剂层进行图形曝光、显影和定影以形成具有不同深度的抗蚀剂层；(5)对步骤(4)中制得的抗蚀剂层进行薄膜沉积；(6)将步骤(5)中制得的样品置于能够溶解所述牺牲层的溶液中，使得除所述第一衬底外的样品漂浮于溶液上，然后将样品翻转转移至第二衬底上；(7)去除位于所述第二衬底上的抗蚀剂，获得最终的样品。本发明的方法不用套刻，大大简化了制作过程。
制备高度连续可调三维纳米结构方法

[发明专利]一种制备变径纳米结构的方法-CN202010174972.8有效
发明人： 耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种制备变径纳米结构的方法，包括以下步骤：(1)对衬底进行表面清洁处理；(2)使用灵敏度不同的抗蚀剂对所述衬底进行旋涂以形成至少为2层的抗蚀剂层，其中，相邻层的抗蚀剂层所采用的抗蚀剂的灵敏度不同；(3)对步骤(2)中具有抗蚀剂层的衬底进行图形曝光、显影和定影以形成具有图形结构的抗蚀剂层；(4)对步骤(3)中形成的具有图形结构的抗蚀剂层进行薄膜沉积，然后去除抗蚀剂层。本发明的方法制备的变径三维纳米结构可以包含任意能够曝光出的图案、尺寸，可以是实心，也可以是空心的，也可以是由原子层沉积可以实现的多种材料来构成。本发明制备的变径三维纳米结构可以用在超材料表面、超透镜、光电器件和传感器等领域。
一种制备纳米结构方法

[发明专利]光学构件及光学加密方法-CN202210228500.5有效
发明人：李占成;陈树琪;刘文玮;程化;田建国;耿广州 -专利权人：南开大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学构件及光学加密方法，涉及微纳光学技术领域，本发明提供的光学构件，包括：二氧化硅基底和多个横截面为正方形的二氧化钛柱体；多个二氧化钛柱体间隔设置，并分别连接于二氧化硅基底的表面；二氧化钛柱体设有横截面为正方形的镂空腔，镂空腔背离二氧化硅基底的端部设有开口。本发明提供的光学构件及光学加密方法，通过改变镂空腔的横截面面积可以使光学构件在400nm附近单一波长处的透射率从1％变化到90％，能够实现高阶灰度图像加密。
光学构件加密方法

[发明专利]多级微纳结构及其制备方法与应用-CN202211283366.5在审
发明人： 耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多级微纳结构及其制备方法与应用，包括：(1)在初始衬底表面制备牺牲层；(2)在牺牲层表面制备多层电子束抗蚀剂，其中，相邻两层电子束抗蚀剂的灵敏度不同；(3)对多层电子束抗蚀剂进行电子束曝光、显影、定影，得到多级微纳抗蚀剂结构，其中，相邻两层电子束抗蚀剂的曝光图形和曝光剂量不同；(4)填充多级微纳抗蚀剂结构，并在多级微纳抗蚀剂结构的顶层形成一层薄膜；(5)去除牺牲层，将牺牲层以上部分上下翻转并转移至目标衬底上，去除残留的电子束抗蚀剂，可选地去除薄膜，得到多级微纳结构。本发明的方法只需要一次曝光和薄膜沉积，且制得的多级微纳结构在微流控器件、光电子器件等领域有广阔的应用前景。
多级结构及其制备方法应用

[实用新型]一种铌基超导量子比特制备平台-CN202220093054.7有效
发明人：宿非凡;任育峰;李俊杰;耿广州 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种铌基超导量子比特制备平台，所述铌基超导量子比特制备平台包括：主真空腔体、预真空腔体和第一高真空阀。本实用新型的铌基超导量子比特制备平台实现超高真空环境下的铌薄膜生长，避免了样品上的金属铌膜因接触空气中的氧气而发生氧化，起到防氧化保护的作用，可以用于后续加工，提高制备效率。同时还可以解决空气中旋涂光刻胶的落尘污染问题。
一种超导量子比特制备平台

[发明专利]一种基于涡旋光束轨道角动量的多焦点超表面的设计方法-CN202111587509.7有效
发明人：李俊杰;顾长志;郑睿瑄;耿广州;杜硕;潘如豪;金爱子 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：提供了一种基于涡旋光束轨道角动量的多焦点超表面的设计方法及成像器件。根据一实施例，该设计方法包括如下步骤：对圆偏振光束透过纳米结构单元后的转极化效率进行模拟；设定目标工作波长，确定纳米结构单元的几何结构尺寸，其中，所述纳米结构单元对在所述目标工作波长的圆偏振光束的转极化效率大于预定值；以及对纳米结构单元沿半径方向进行周期性排布，结合在每个位置上的纳米结构单元绕自身中心旋转实现的附加几何相位，使得携带轨道角动量的圆偏振涡旋光束在不同空间位置实现聚焦。本发明的方法可实现入射光在不同空间位置处的聚焦，从而弥补了传统光学成像系统中依赖机械位移控制透镜位置变化实现变焦的弊端。
一种基于涡旋光束轨道角动量焦点表面设计方法

[发明专利]一种无衬底支撑薄膜的制备方法及其无机化合物薄膜-CN202210561351.4在审
发明人：杨洋;潘如豪;耿广州;李仁飞 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种无衬底支撑薄膜的制备方法，采用薄膜制备、光学曝光、剥离、湿法腐蚀等半导体加工工艺方法制备该悬空薄膜。包括：提供硅衬底；首先在衬底一面沉积SiNx薄膜，在SiNx薄膜上沉积无机化合物薄膜；在衬底另一面形成掩膜图形；在腐蚀溶液种除去硅衬底，只保留SiNx和无机化合物薄膜；最后去除SiNx薄膜层。该方法工艺稳定、成本低、周期短、效率高且具有高度的灵活性和可操作性。
一种衬底支撑薄膜制备方法及其无机化合物

[发明专利]宽波段可变焦超透镜的制备方法-CN202111475764.2在审
发明人：李俊杰;顾长志;郑睿瑄;耿广州;杜硕;潘如豪;金爱子 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种宽波段可变焦超透镜制备方法，包括：在高透过率薄衬底上旋涂光刻胶；基于曝光和显影手段实现图案化，在所述旋涂好光刻胶的衬底的光刻胶内部形成具有设计阵列图形的孔洞结构；将带有图案化孔洞光刻胶的高透过率玻璃的样品置于原子层沉积系统中，利用沉积的手段在样品表面填充均匀的材料，得到将图案化结构完全填充且整体表面平整的样品；再将填充完整的样品置于干法刻蚀系统中，先将光刻胶之上的平整材料层刻蚀掉暴露出图案化的结构和光刻胶，再将样品上的光刻胶全部清除干净，得到可以利用改变入射涡旋光束携带的轨道角动量变化实现变焦的超透镜。由此实现了对不同角动量的涡旋光入射下在不同空间位置处的聚焦。
波段变焦透镜制备方法

[发明专利]用于超导量子比特的金属薄膜及其变功率制备方法-CN202111394827.1在审
发明人：宿非凡;燕军祥;耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于超导量子比特的金属薄膜及其变功率制备方法，包括：对基片进行清洗；在清洗后的基片上进行电子束蒸发，形成超导金属薄膜；电子束蒸发包括第一功率蒸发和第二功率蒸发；电子束蒸发设备在第一功率蒸发的第一设定功率小于第二功率蒸发的第二设定功率；对蒸发有超导金属薄膜的基片进行激光直写光刻；对光刻后的基片上的超导金属薄膜进行刻蚀，暴露出基片上用于制备超导量子比特的约瑟夫森结结构的基底区域。本方法通过预先用小功率生长小厚度的超导金属薄膜，减少了对基片的损害，而后再用大功率完成超导金属薄膜的生长，既保证了薄膜生长的质量与效率，又减小了对基片的损害，降低了粗糙度，有效提升超导量子比特的能量弛豫时间。
用于超导量子比特金属薄膜及其功率制备方法

[发明专利]一种基于相变材料的动态可调结构色器件及其制备方法-CN201911151191.0在审
发明人：顾长志;胡莎;耿广州;李俊杰 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： G02F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相变材料的动态可调结构色器件，包括自下而上依次设置的衬底、相变材料结构和金属结构；其中，该相变材料结构为周期性微纳米结构，该微纳米结构选自以下一种或多种：圆形、矩形、正方形；该金属结构由金属薄膜直接沉积于该相变材料结构之上形成，该金属结构的厚度小于该相变材料结构的厚度。本发明还提供了该动态可调结构色器件的制备方法和应用。本发明将相变材料应用于结构色显示领域，利用相变材料光学性质可调的特点，实现了在外部激励(如电、热等)下动态可调的结构色。整个器件的制备具有加工方法简单、灵活的特点，器件性能具有可逆调控的优势，对于动态结构色的实际应用和主动调控器件的制备具有重要意义。
一种基于相变材料动态可调结构器件及其制备方法

[发明专利]高取向度吸波材料的制备方法-CN201611020715.9有效
发明人：王恩辉;张钊琦;耿广州 -专利权人：青岛卓英社科技股份有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种高取向度的吸波材料的制备方法，属于吸波材料领域，能够制备得到一种高取向度的吸波材料。该高取向度的吸波材料的制备方法，具体包括以下步骤：(1)将橡胶与橡胶溶剂混合进行高温低速搅拌，完全溶解后降温到室温，得到橡胶溶液；(2)软磁粉末进行预处理后，将橡胶溶液与预处理的软磁粉末混合，加入交联剂低速啮合，混合均匀后加入适量溶剂，混合均匀，得到混合浆料；(3)利用涂布机将上述混合浆料涂布均匀得到干膜，干膜厚度0.06‑0.150mm；(4)将干膜层叠为需要的厚度后利用高压空气热压，得到高取向度的吸波材料。
取向度吸波材料制备方法

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