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[发明专利]表面损伤检测装置-CN201911170688.7有效
发明人：蔡苗;王希有;贠明辉;杨道国 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种表面损伤检测装置，用于待测基体，包括：感应层，感应层设置在待测基体上；传感器组件，传感器组件与感应层相连，用于采集感应层的检测信号；处理器，处理器用于根据感应层的检测信号确定待测基体的损伤状态表面损伤检测装置通过检测到的感应层的损伤状态可以确定待测基体的损伤状态，实现了对待测基体的实时检测，避免了每次对待测基体表面进行检测时都需要人工进行检测，节省了人力的同时还能保证检测的准确性。
表面损伤检测装置

[发明专利]元件表面损伤修复装置及元件表面损伤修复方法-CN202210378002.9在审
发明人：邓辉;李如林 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种元件表面损伤修复装置及元件表面损伤修复方法，本申请的元件表面损伤修复装置包括石英炬管、气体管道、电火花发生器、电感线圈、电源模块和工作台。电火花发生器与石英炬管之间留有空隙；电感线圈缠绕设置在石英炬管外表面的下端；电源模块与电感线圈电连接；工作台位于石英炬管设置有电感线圈的一侧，并与石英炬管之间设置有空隙。本申请通过将电感耦合等离子体投射至待加工元件表面，在表面张力与等离子体气流的作用下原子团簇会发生迁移和重新排列，使得损伤区域的裂纹闭合，从而完成待加工元件的表面修复，并且不会引入新的损伤；此外，由于热源为电感耦合等离子体
元件表面损伤修复装置方法

[发明专利]氮化镓表面低损伤蚀刻-CN200610140756.1在审
发明人： (发明人请求不公布姓名) -专利权人：西安能讯微电子有限公司
申请日： 2006-10-09 - 公布日： 2008-04-16 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：氮化镓表面低损伤蚀刻：在基于氮化镓的器件上(如氮化镓HEMT)，一般在器件的表面有一层或多层钝化层。无损伤刻蚀钝化层是器件制作中一项重要的生产工艺。这样等离子体干法蚀刻对氮化镓的电气性能的损伤有显著降低。最后采用退火处理，进一步恢复刻蚀损伤，器件可靠性得到提高。
氮化表面损伤蚀刻

[实用新型]苹果表面损伤快速检测装置-CN202221623758.7有效
发明人：王金会;刘青玉;武秀 -专利权人：塔里木大学
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了苹果表面损伤快速检测装置，包括检测台，检测台一侧的中间位置开设有检测槽，检测槽内壁一侧的中间位置固定设有固定框架，固定框架一侧的中间位置开设有卡槽，卡槽的内壁卡合设有检测传感器，固定框架外壁一侧的边缘处铰接设有卡条
苹果表面损伤快速检测装置

[实用新型]运输皮带表面损伤监测装置-CN200520058930.9无效
发明人：黄晋雄 -专利权人：黄晋雄
申请日： 2005-05-31 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： G01N19/08 文献下载
摘要：本专利是一个运输皮带表面损伤监测装置。它属于机电技术领域。它作为在线监测系统安装在皮带运输系统中，针对运输皮带表面经常在皮带运输系统运行中被硬物划伤而损坏的故障模式进行监测。它可以及时的发现在运输皮带表面产生的较轻微划痕，防止损伤的进一步扩大。它应用一个带狭窄周边的监测轮在皮带表面随皮带的运行而滚动，同时监测轮又受监测机构的驱动在皮带横向往复扫描，当检测论边扫过皮带上的纵向划痕是就会受到阻滞而及时探测到皮带的划痕故障。
运输皮带表面损伤监测装置

[发明专利]防止硅衬底表面损伤的方法-CN201310165221.X有效
发明人：王恺;陈宏璘;龙吟;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-05-07 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：本发明涉及一种防止离子注入区域的硅表面损伤的方法，应用于离子注入工艺中，所述硅衬底的上表面覆盖一具有缺陷的保护层，所述方法包括：采用修复性溶液对所述保护层进行修复，以去除所述缺陷；对所述硅衬底继续进行所述离子注入工艺通过本发明方法对半导体器件中的保护层进行修复，使得保护层在经过多道的离子注入工艺后，仍然能够保持其具有满足工艺条件的致密度和厚度，进而在后续的离子注入工艺中能够有效保护其下方的硅层，防止离子注入区域的硅层的晶格损伤
防止衬底表面损伤方法

[发明专利]避免硅衬底表面损伤的方法-CN201310165076.5有效
发明人：王恺;陈宏璘;龙吟;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-05-07 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：避免硅衬底表面损伤的方法。本发明涉及一种半导体离子注入工艺领域，具体涉及一种修复晶圆表面损伤的方法。通过在一定的温度条件下，通入一定量的含氧反应气体可保护在进行离子注入工艺时对衬底表面的牺牲氧化层造成的损伤，进而造成衬底表面的晶格损伤，以表面在后续的工艺中出现难以修复的缺陷，提升了器件性能和产品良率。
避免衬底表面损伤方法

[实用新型]避免损伤制品表面的弯曲模具-CN200920182922.3有效
发明人：万志华;叶建彬;张文钦;吴志仁 -专利权人：厦门加新精密金属有限公司
申请日： 2009-09-17 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种避免损伤制品表面的弯曲模具，它主要由成型推块、侧压滑块、成型上压块、滑块顶杆组成；所述的滑块顶杆和成型上压块安装在上模座上，滑块、侧压块、成型推块安装在下模座上，成型推块与放置有制品的成型上压块相对由于本实用新型在弯曲过程中，其弯曲面是利用两侧移动的滑块与成型推块及协同成型上压块的配合来完成的，冷冲压件的表面不会与冲头的内壁发生摩擦，冷冲压件表面的电镀层也就不会受到损伤，从而较好的保护了冷冲压件表面的电镀层
避免损伤制品表面弯曲模具

[实用新型]避免工件表面损伤的定位销-CN200620110770.2无效
发明人：何应华 -专利权人：重庆长安汽车股份有限公司
申请日： 2006-06-14 - 公布日： 2007-07-11 - 主分类号： F16B19/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种避免工件表面损伤的定位销，定位销由定位部(1)、锥形销帽(2)和导向部(3)组成，锥形销帽(2)与在导向部(3)螺纹连接，锥形帽上最大圆的直径大于导向部顶端的直径同时小于定位销定位部本实用新型可避免对软金属工件在定位时造成的机械损伤，同时还具有结构简单，制造容易的优点。
避免工件表面损伤定位

[实用新型]修复工件表面损伤的工具-CN200520010688.8无效
发明人：何应华 -专利权人：长安汽车（集团）有限责任公司
申请日： 2005-12-30 - 公布日： 2007-02-14 - 主分类号： B21C26/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种修复工件表面损伤的工具，一个钢质材料的长方体块纵向的一端端面设为中间凸起的阶梯状，所述端面的阶梯分别为不同半径的圆弧面，其中间凸起部的圆弧面与凸起部两侧的圆弧面的圆弧旋向不同。本实用新型结构简单，制作成本低，能够有效地对材质硬度不高的工件的表面碰划伤进行修复，以降低产品报废的数量。
修复工件表面损伤工具

[发明专利]基于损伤区域融合变换的轴承滚子表面损伤检测方法-CN202211510409.9在审
发明人：艾青林;杨佳豪;崔景瑞 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于损伤区域融合变换的轴承滚子表面损伤检测方法，包括：搭建滚子表面损伤特征样本检测装置，采集滚子的工作面侧面图像并将其作为研究对象；应用梯度提取、轮廓检测等数字图像处理方法，利用图像中滚子外圆角分布特点对样本核心检测区域进行裁剪；基于聚类预选框及损伤评估函数从数据集负样本中筛选合适大小与纵横比的关键损伤区域，对所选区域进行不同的仿射变换并与随机采样的正样本进行融合以生成新的增强样本数据；将经过数据增强处理的图像输入到ResNeXt101本发明有效提升了检测准确率以及查准率，为滚子表面损伤检测的实际生产过程提供技术支持。
基于损伤区域融合变换轴承滚子表面检测方法

[发明专利]一种轨道表面损伤检测装置-CN201910426707.1在审
发明人：王玉华;解鹏 -专利权人：南京铁道职业技术学院
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： B61K9/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种轨道表面损伤检测装置，包括安装座，两个安装座上部分别设有第一检测架、第二检测架，第一检测架和第二检测架顶端共同连接有检测板，所述第一检测架一侧设有驱动电机，驱动电机输出轴与丝杆一端连接，
丝杆第二检测检测架损伤检测装置轨道表面左右移动安装座螺块驱动电机输出轴控制驱动电机缓冲弹簧检测装置减震效果驱动电机一端连接检测板检测仪上移动正反转轨道上套铁轨不平车轮检测

[发明专利]加工品的表面损伤检查系统-CN201911235085.0在审
发明人：冈岛靖 -专利权人：发那科株式会社
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种加工品的表面损伤检查系统，能够使用摄像技术使外观检查自动化，能够高效且有效地进行加工品的外观检查。该加工品的表面损伤检查系统具备：照明部，从X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向被检查面照射光；摄像部，拍摄被检查面的图像；损伤检测部，根据被检查面的图像检测被检查面的损伤；机器人(7)，安装了具有照明部和损伤检测部的损伤检查装置(9)；平台(5)，用于配置加工品(W)；以及控制装置(16)，控制机器人(7)的驱动，其中，控制装置(16)控制机器人(7)和损伤检查装置(9)的驱动，使得通过损伤检查装置(9)检测平台(5)上的加工品
加工品表面损伤检查系统

[发明专利]工件表面损伤修复方法及系统-CN201811152167.4有效
发明人：金会良;李亚国;许乔;刘志超;袁志刚;欧阳升;王度;耿锋;张清华;王健 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： C03C23/00 文献下载
摘要：本申请提供一种工件表面损伤修复方法及系统，涉及光学元件加工技术领域。所述方法包括：将激光聚焦到待修复工件表面；将聚焦激光的光斑在待修复工件表面移动以扫描整个待修复工件表面，以使激光能量作用于待修复工件表面使待修复工件表面产生热效应，以熔合待修复工件表面的微裂纹损伤层，生成微裂纹熔合层；向待修复工件表面输出等离子体射流；控制等离子体射流在待修复工件表面运动，以去微裂纹熔合层。本申请利用微裂纹的熔合来改善所述待修复工件表面的裂纹深度、分布等初始状态，再利用等离子体射流对熔合改善后的微裂纹熔合层进行快速去除，提高了工件的寿命，也提高了工件的可靠性和使用性能。
工件表面损伤修复方法系统

[发明专利]用于改善SOI衬底表面损伤的方法-CN201310719996.7有效
发明人：孙建洁;唐剑平;吴建伟;吴晓鸫 -专利权人：无锡中微晶园电子有限公司
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于改善SOI衬底表面损伤的方法，其特征是，包括以下工艺步骤：（1）在SOI衬底上表面热氧化生成掩蔽氧化层，温度为850±10℃，时间为30±1分钟，掩蔽氧化层的厚度为15±1nm；（2）本发明能够降低注入对衬底的损伤，改善衬底沾污和损伤问题。
用于改善 soi 衬底表面损伤方法

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