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[发明专利]保温发热餐桌面-CN200610036007.4无效
发明人：盛光润;朱章汛 -专利权人：盛光润
申请日： 2006-06-20 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： A47B31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种保温发热餐桌面，包括桌面和发热源，发热源由厚膜电路基板、隔热云母板和底盘组成。隔热云母板设在厚膜电路基板和底盘之间，厚膜电路基板的内面壁上印刷有厚膜电路，发热源安装在桌面开孔中，其厚膜电路基板和桌面基本持平。
保温发热餐桌

[发明专利]成膜控制装置、成膜装置以及成膜方法-CN202280005853.7在审
发明人：大泷芳幸;松平学幸;山口刚;宫内充祐 -专利权人：株式会社新柯隆
申请日： 2022-02-04 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：成膜控制装置具有：光源(42)，其对配置于旋转体(25)的基板(S)照射光；受光部(46)，对于从所述光源照射的光，该受光部接收透过形成在所述基板上的薄膜的层的透过光或者被形成在所述基板上的薄膜的层反射的反射光；位置信息取得部(48)，其取得与所述旋转体的圆周方向的位置对应的位置信息；以及控制部(4)，其对成膜条件进行控制，所述控制部包含：时机控制部，其根据由所述位置信息取得部取得的所述旋转体的圆周方向的位置信息来确定作为目标的基板的位置，对接收从所述光源向该确定的位置的基板照射的光的透过光或者反射光的时机进行控制；膜厚判定部，其根据由所述受光部接收到的透过光或者反射光，计算由多个层构成的薄膜的各层的膜厚，判定所述各层的膜厚与构成具有期望的分光特性的薄膜的各层的目标膜厚的膜厚差；以及成膜条件设定部，其在所述各层的膜厚相对于所述目标膜厚存在规定值以上的膜厚差的情况下，对针对该层的成膜条件进行校正以使得存在该膜厚差的层的膜厚成为该层的目标膜厚，然后设定所述成膜条件。
控制装置以及方法

[发明专利]成膜装置-CN202080007249.9有效
发明人：关根元气;中尾裕利 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-08-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明的成膜装置具有真空容器、成膜源、收容容器、膜厚传感器以及膜厚控制器。所述成膜源收容在所述真空容器。所述收容容器收容在所述真空容器，能够维持比所述真空容器内的压力高的压力。所述膜厚传感器包含具有共振频率的振荡器，在所述膜厚传感器中，在所述振荡器堆积由从所述成膜源释放的成膜材料。所述膜厚控制器收容在所述收容容器，基于所述成膜材料的堆积引起的所述振荡频率的变化，计算从所述成膜源释放的所述成膜材料的释放量。
装置

[发明专利]学习装置及方法、信息处理装置、衬底处理装置及系统、配方确定方法及计算机可读介质-CN202211114852.4在审
发明人：塙洋祐;佐佐木悠太;国枝省吾 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：学习装置具备：实验数据获取部，获取衬底上形成的固体的膜厚或液体的膜厚，所述固体的膜厚或液体的膜厚是在第1条件下驱动衬底处理装置而获得的，所述衬底处理装置在执行对衬底供给液体，在衬底上形成固体膜或液体膜的一系列处理之后，从衬底去除固体膜或液体膜而使衬底干燥；以及第1学习部，使学习模型学习第1教学数据，所述第1教学数据包含表示由实验数据获取部获取的固体的膜厚或液体的膜厚的特性的膜厚特性及第1条件。
学习装置方法信息处理衬底处理系统配方确定计算机可读介质

[发明专利]一种过塑机及其膜厚检测方法、控制方法-CN202211617315.1在审
发明人：王恩泽;沈孔德 -专利权人：得力集团有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种过塑机及其膜厚检测方法、控制方法，过塑机包括进膜单元和膜厚检测机构，所述膜厚检测机构包括膜厚检测电路和数据处理单元，膜厚检测电路和数据处理单元连接，通过在进膜口上端放置第一电极片、进膜口下端放置第二电极片，利用通电的第一电极片和第二电极片，以空气为绝缘介质形成原始电容，通过过塑膜穿过进膜口来改变第一电极片和第二电极片之间的垂直距离，使得原始电容的容值改变，从而使得膜厚检测电路的电压改变，通过数据处理单元采集并识别电压信号，来确定穿过进膜口的过塑膜的厚度，简化了确定过塑膜厚度的步骤，降低过塑机的生产成本。
一种及其检测方法控制

[发明专利]成膜装置、有机膜的膜厚测量方法以及有机膜用膜厚传感器-CN201580020079.7在审
发明人：伊藤敦;深尾万里;小林义和 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能进行有机膜的成膜速率控制和高精度膜厚测量的成膜装置、有机膜的膜厚测量方法和有机膜用膜厚传感器。成膜装置(10)具有真空腔室(11)、有机材料源(12)、基板架(13)、膜厚传感器(14)和测量单元(17)。有机材料源(12)配置于真空腔室(11)的内部，能放出有机材料粒子。膜厚传感器(14)配置在真空腔室(11)的内部且具有石英晶体谐振器，该石英晶体谐振器具有4MHz以下的基本频率。测量单元(17)根据所述石英晶体谐振器的谐振频率的变化来测量在基板架(13)上的基板(W)上沉积的有机膜的膜厚。
装置有机测量方法以及膜用膜厚传感器

[发明专利]基于EA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法-CN201710935169.X有效
发明人：匡尚奇;李硕 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2017-10-10 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于进化算法(EA)的宽带极紫外(EUV)多层膜的离散化膜系设计方法包括：依据仅以时间控制膜厚镀膜系统的沉积速率，以EA为基础将传统化膜系设计中膜厚参数改进为以沉积速率为公差的等差数列的离散化膜厚输入；以种群中各膜系的光谱性能评价每个离散化膜系的适应度，通过进化算法实现离散化膜系种群的进化，输出最优的离散化膜系。本发明的设计方法解决了仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统无法满足宽带EUV多层膜膜厚控制精度的问题，并通过实验进行了相关的验证，得到了较为理想的宽带EUV多层膜。
基于 ea 宽带 euv 多层离散化膜系设计方法

[发明专利]复合铜厚基板及基板的制作方法-CN202210162071.6有效
发明人：张志强;赵俊;王东府 -专利权人：深圳市八达通电路科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05K3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种复合铜厚基板制作方法，所述方法包括步骤：提供一基板；对所述基板沉铜至35um铜厚；在形成有35um铜厚的基板上通过具有薄铜线路图案的第一干膜刻蚀并退膜形成35um铜厚的薄铜线路；在形成有薄铜线路的基板上填充湿膜，所述湿膜的厚度h1＞35um；在所述湿膜上图形转移形成第一厚铜线路图案；在形成有第一厚铜线路图案的基板上压合第二干膜；在所述第二干膜上图形转移形成第二厚铜线路图案；在形成有第二厚铜线路图案的基板上压合第三干膜；在所述第三干膜上图形转移形成第三厚铜线路图案；根据所述第三厚铜线路图案在所述基板上电镀铜至105um铜厚，以形成105um铜厚的厚铜线路，从而获得高精度、高质量的复合铜厚基板。
复合铜厚基板制作方法

[发明专利]一种中空纤维膜生产线和中空纤维膜的制备方法-CN202010254310.1有效
发明人：陈清;陈忱;陈良刚 -专利权人：苏州立升净水科技有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B01D69/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种中空纤维膜生产线和中空纤维膜的制备方法，其中中空纤维膜生产线，包括：主控模块；芯线输送机构；喷膜机构，用于将膜液喷涂在芯线上形成膜丝；膜液机构，用于向喷膜机构提供膜液；芯线测量仪；膜丝测量仪；主控模块将膜丝线径信息与芯线线径信息做差，得到壁厚数据，并根据壁厚数据与预存壁厚来控制膜液机构的供液流量。膜丝测量仪和芯线测量仪实时检测芯线和膜丝的线径，主控模块根据信息实时修改膜液机构的供液流量形成闭环控制，可以实时控制中空纤维膜的壁厚，减小膜丝壁厚不良的情况，提升中空纤维膜的良品率，节省原材料同时省去人工检查
一种中空纤维生产线制备方法

[发明专利]一种厚膜加热器组件-CN201910157199.1在审
发明人：温炯 -专利权人：佛山市沃熙电器科技有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H05B3/20 文献下载
摘要：一种厚膜加热器组件，具有厚膜加热器、电连接件和温控器，厚膜加热器包括基板、设置在基板上的厚膜加热区以及电源输入区，电连接件接在电源输入区，温控器设置在厚膜加热区，厚膜加热器组件还包括温控器固定装置，温控器固定装置设有温控器安装孔，温控器靠近厚膜加热器的下端设置有横向尺寸大于温控器安装孔孔径的温控器固定台阶，温控器的上端穿过温控器安装孔，温控器固定装置压在温控器固定台阶上，温控器固定装置和厚膜加热器通过连接结构安装在一起，将温控器固定在温控制固定装置和厚膜加热器之间该厚膜加热器组件结构简单紧凑，成本较低，装配、更换温控器方便，装配效率高。
温控器厚膜加热器固定装置安装孔电源输入区电连接件固定台阶加热区厚膜基板控制固定装置连接结构装配效率组件结构上端下端紧凑装配穿过

[发明专利]在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法-CN202310914421.4在审
发明人：刘振新;黄周师;吴毛兵;屈新成;何坤鹏 -专利权人：江苏先导微电子科技有限公司
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：提供一种在线膜厚测量装置以及在线膜厚测量方法。在线膜厚测量装置用于安装在气相运输沉积的沉积室上。沉积室设有透窗。在线膜厚测量装置包括固定架、测点定位装置、膜厚测试仪、第一运动装置和第二运动装置。膜厚测试仪具有探测头、内置有标准测距。第一运动装置配置成：驱动测点定位装置和膜厚测试仪，以使三角测量中的点位处于探测头的轴线上并第一运动装置停止驱动。第二运动装置配置成：基于距离、探测头相对光发射器的运动前位置以及标准测距，第二运动装置控制膜厚测试仪，以使膜厚测试仪在高度方向处于与到达探测头的轴线上的点位相距标准测距的位置，进行镀膜的膜厚测量。
在线测量装置以及测量方法

[发明专利]一种彩色和厚膜结合的钛合金表面处理方法-CN202011569972.4有效
发明人：陈晓明;王镔 -专利权人：常州市钛宇新材料科技有限公司
申请日： 2020-12-26 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C25D11/26 文献下载
摘要：本发明涉及钛合金表面处理技术领域，尤其涉及一种彩色和厚膜结合的钛合金表面处理方法，先厚膜氧化再彩钛处理时，包括以下步骤：S1、厚膜氧化处理；S2、遮蔽不需要彩钛氧化的部分；S3、厚膜腐蚀；S4、喷砂处理先彩钛处理再厚膜氧化时，包括以下步骤：S1、彩钛前腐蚀处理；S2、彩钛氧化处理；S3、遮蔽彩钛部分；S4、厚膜氧化处理；S5、轻喷砂处理；S6、去除彩钛遮蔽层。对钛合金工件分步进行彩钛氧化和厚膜氧化，使得钛合金工件同时具备厚膜和彩色，在满足优良耐磨性的同时具备辨识度，厚膜氧化和彩钛处理无特定顺序，可根据工艺需要选择厚膜氧化和彩钛处理的先后。
一种彩色结合钛合金表面处理方法

[实用新型]一种厚膜加热式高压灭菌锅-CN201520060826.7有效
发明人：朱芳坤;曲黎;陈军;陈娜;靳亚峰 -专利权人：河南科技学院
申请日： 2015-01-28 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： A61L2/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种厚膜加热式高压灭菌锅，包括锅体和锅盖，锅体内设置有一桶体，桶体底部固定有桶形厚膜加热装置，桶形厚膜加热装置与桶体侧壁之间的距离不小于1cm，所述桶形厚膜加热装置外壁上印有厚膜加热电路，桶形厚膜加热装置内壁设置有至少一层搁物板环形支撑凸起，以及与搁物板支撑凸起匹配的搁物板。本实用新型结构简单，通过厚膜加热方式，不但增加了能量的转换效率，增加了设备的工作效率，同时，厚膜电路设置于水面以上，避免了电路长期与液体接触造成设备的使用寿命降低。本实用新型进一步利用水泵和喷头，配合厚膜加热装置的特点，将液态水雾化，喷射至厚膜加热装置的表面，增加蒸汽产生速度，减少灭菌时间，提高灭菌效果。
一种加热高压灭菌

[实用新型]一种双功率陶瓷发热管-CN201220554126.X有效
发明人：何峰斌 -专利权人：东莞市国研电热材料有限公司
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H05B3/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电热元件，尤其涉及一种双功率陶瓷发热管，包括厚膜发热线、氧化铝基体及导线柱，所述导线柱包括第一导线柱、第二导线柱及第三导线柱，所述厚膜发热线设置于氧化铝基体内，所述厚膜发热线包括第一厚膜发热线及第二厚膜发热线，其中，第一厚膜发热线的一端与第一导线柱连接，第一厚膜发热线的另一端与第三导线柱连接，第二厚膜发热线的一端与第一导线柱连接，第二厚膜发热线的另一端与第二导线柱连接。本实用新型通过厚膜发热线与导线柱的连接，形成发热双线路设计，实现陶瓷发热管的双功率加热，使用户可以根据环境温度变化时，选择不同功率进行工作，既节能又方便，实用性强。
一种功率陶瓷热管

[实用新型]一种带有热保护装置的加热式水泵-CN201721481772.7有效
发明人：马余洋;邝汉光 -专利权人：江门市地尔汉宇电器股份有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： F04D29/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有热保护装置的加热式水泵，泵盖上设有厚膜加热器，厚膜加热器包括金属导热体、稀土厚膜发热体及温控开关，金属导热体内表面与被输送的流体接触，金属导热体外表面烧结有稀土厚膜发热体，稀土厚膜发热体的两端设有镀锡接口，镀锡接口处分别焊接有发热体第一插片和发热体第二插片，温控开关固定贴附于厚膜发热体外表面，且温控开关的第一连接插片与所述发热体第一插片直接或间接地电连接，温控开关的第二连接插片与所述发热体第二插片通过与外界电源的连接形成通电加热回路本实用新型以厚膜加热元件制成厚膜加热器，厚膜加热器上设置有温控开关，再将厚膜加热器设置于泵上，使泵具有良好的加热、传热及温控效果。
发热体厚膜加热器温控开关插片稀土厚膜本实用新型金属导热体热保护装置连接插片加热式镀锡水泵发热体外表面厚膜加热元件传热金属导热流体接触体内表面通电加热外界电源温控效果烧结电连接固定贴接口处泵盖厚膜焊接加热