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[发明专利]双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备-CN202110858433.0有效
发明人：戚蓉蓉;杨宇航;李鹏飞 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备，双波段照明系统包括：第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件，耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线；第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧；其中，第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样，通过设有第一光源和第二光源发出光线，并在耦合透镜上进行耦合后传递，使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整，降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度，提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔
波段照明系统具有无掩模直写光刻设备

[实用新型]双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备-CN202121756743.3有效
发明人：戚蓉蓉;杨宇航;李鹏飞 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备，双波段照明系统包括第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件，耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线；第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧；其中，第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样，通过设有第一光源和第二光源发出光线，并在耦合透镜上进行耦合后传递，使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整，降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度，提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔
波段照明系统具有无掩模直写光刻设备

[发明专利]一种无源耦合系统及耦合方法-CN202211376124.0在审
发明人：钱会明;秦玉红 -专利权人：无锡鑫巨宏智能科技有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学器件技术领域，具体为一种无源耦合系统及其耦合方法，包括耦合透镜夹持模块，用于固定耦合透镜、调整耦合透镜的位置及倾角；激光光源夹持模块，与所述耦合透镜相对设置，用于固定激光光源、调整激光光源的位置及倾角；耦合对准成像模块，用于对所述耦合透镜和激光光源发光面显微成像，并确定所述耦合透镜和激光光源的空间位置。本发明通过对耦合透镜或激光光源进行俯仰/倾斜的角度调节，配合照明系统与显微成像系统，实现在探测器上清晰成像，且各夹持模块调节精度高，提高了耦合精度。
一种无源耦合系统方法

[发明专利]成像光纤束与扫描光学系统耦合的光学系统-CN200510029660.3无效
发明人：王成;任秋实;余文娟 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：一种成像光纤束与扫描光学系统耦合的光学系统，属于光学技术领域。本发明包括：X轴扫描镜、Y轴扫描镜、望远镜系统、扫描耦合透镜系统、成像光纤束和折射率匹配液，望远镜系统设在X轴扫描镜之后、Y轴扫描镜之前，扫描耦合透镜系统设在Y轴扫描镜之后，扫描耦合透镜系统与成像光纤束之间用折射率匹配液填充，成像光纤束设在扫描耦合透镜系统之后；所述的望远镜系统，其放大率与扫描耦合透镜系统的入瞳大小、Y轴扫描镜的有效面积和望远镜系统的出瞳相匹配；所述的扫描透镜耦合系统，其入瞳大小与Y轴扫面镜的有效面积匹配。
成像光纤扫描光学系统耦合

[发明专利]光纤探针拉曼系统-CN201711420356.0在审
发明人：吕超;孙健慧;于永爱;陈娟 -专利权人：上海如海光电科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：一种光纤探针拉曼系统，涉及光谱检测技术领域，所解决的是现有系统探测范围窄的技术问题。该系统包括光栅光谱仪、窄线宽激光光源、光纤探针；所述光纤探针包括输入光纤、第一准直透镜、波长净化光栅、第一耦合透镜、聚焦透镜、第二准直透镜、陷波光栅、第二耦合透镜、输出光纤；系统的激发光路从窄线宽激光光源出发，依次经输入光纤、第一准直透镜、波长净化光栅、第一耦合透镜、聚焦透镜，到达聚焦透镜的聚焦点；系统的检测光路从聚焦透镜的聚焦点出发，依次经聚焦透镜、第二准直透镜、陷波光栅、第二耦合透镜、输出光纤，到达光栅光谱仪本发明提供的系统，探测范围宽，使用场合广泛。
聚焦透镜光栅光纤探针准直透镜耦合透镜窄线宽激光光源光栅光谱仪拉曼系统输出光纤输入光纤聚焦点波长陷波探测光谱检测技术激发光路现有系统净化检测光

[实用新型]光纤探针拉曼系统-CN201721832626.4有效
发明人：吕超;孙健慧;于永爱;陈娟 -专利权人：上海如海光电科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：一种光纤探针拉曼系统，涉及光谱检测技术领域，所解决的是现有系统探测范围窄的技术问题。该系统包括光栅光谱仪、窄线宽激光光源、光纤探针；所述光纤探针包括输入光纤、第一准直透镜、波长净化光栅、第一耦合透镜、聚焦透镜、第二准直透镜、陷波光栅、第二耦合透镜、输出光纤；系统的激发光路从窄线宽激光光源出发，依次经输入光纤、第一准直透镜、波长净化光栅、第一耦合透镜、聚焦透镜，到达聚焦透镜的聚焦点；系统的检测光路从聚焦透镜的聚焦点出发，依次经聚焦透镜、第二准直透镜、陷波光栅、第二耦合透镜、输出光纤，到达光栅光谱仪本实用新型提供的系统，探测范围宽，使用场合广泛。
聚焦透镜光栅光纤探针准直透镜耦合透镜窄线宽激光光源光栅光谱仪拉曼系统输出光纤输入光纤聚焦点波长陷波探测光谱检测技术本实用新型激发光路现有系统净化检测光

[实用新型]输出功率线性连续可调的光纤耦合激光器系统-CN201720275583.8有效
发明人：刘华;朱金通;戚超伟;高新杰;刘理;顾乃友 -专利权人：无锡迈微光电科技有限公司
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种输出功率线性连续可调的光纤耦合激光器系统，该光纤耦合激光器系统沿光路依次包括激光器、准直透镜、耦合透镜和光纤，激光器输出的激光经准直透镜准直之后向耦合透镜输出平行光束，耦合透镜将激光光束聚焦并耦合至光纤的纤芯当中，在准直透镜和耦合透镜之间设置可以平移改变激光光束位置的光学位移片，使得输入到耦合透镜的光束向光纤耦合时的位置和数量发生变化，进而改变耦合效率，实现对激光器输出功率的线性连续可调。该系统结构简单，简便可行，在使用过程中能量损失少，可适用于高效稳定的激光器系统，且具有低成本、易组装调节和性能稳定等优点，在使用过程中不会造成激光器系统的冗余和不确定性，适合在产业上推广使用。
输出功率线性连续可调光纤耦合激光器系统

[实用新型]输出功率占空比可调的光纤耦合激光器系统-CN201720275570.0有效
发明人：刘华;朱金通;戚超伟;高新杰;刘理;顾乃友 -专利权人：无锡迈微光电科技有限公司
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： H01S5/00 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种输出功率占空比可调的光纤耦合激光器系统，该光纤耦合激光器系统沿光路依次包括激光器、准直透镜、耦合透镜和光纤，激光器输出的激光经准直透镜准直之后向耦合透镜输出平行光束，耦合透镜将激光光束聚焦并耦合至光纤的纤芯当中，在准直透镜和耦合透镜之间设置可以平移改变激光光束位置的光学位移片，使得输入到耦合透镜的光束向光纤耦合时的位置和数量发生变化，进而改变耦合效率，实现对激光器输出功率的占空比可调。该系统结构简单，简便可行，在使用过程中能量损失少，可适用于高效稳定的激光器系统，且具有低成本、易组装调节和性能稳定等优点，在使用过程中不会造成激光器系统的冗余和不确定性，适合在产业上推广使用。
输出功率可调光纤耦合激光器系统

[发明专利]一种大功率半导体激光列阵光束准直装置-CN201110127759.2无效
发明人：王彪;王立军;崔锦江;武晓东;邓鑫李 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2011-05-18 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种大功率激光列阵光束准直装置，包括光纤束，在光束传播的方向上依次设置有聚焦耦合透镜系统、第一平凸透镜、平凹透镜、双凹透镜、双凸透镜、第二平凸透镜和输出镜；所述第一平凸透镜的凸面朝向所述聚焦耦合透镜系统的输出面，所述平凹透镜的凹面朝向所述聚焦耦合透镜系统的输出面，所述双凹透镜、双凸透镜胶合在一起，所述第二平凸透镜的凸面背向所述聚焦耦合透镜系统的输出面。
一种大功率半导体激光列阵光束装置

[发明专利]一种光纤耦合系统、耦合光束调节方法-CN201910206581.7在审
发明人：张航;戚蓉蓉;陆建东;谢刚;刘锐;符建;陈利春 -专利权人：浙江光塔节能科技有限公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：一种光纤耦合系统及耦合光束调节方法，属于照明技术领域。系统包括激光光源、扩束准直透镜组、耦合透镜、光纤；所述扩束准直透镜组、所述耦合透镜依次设于所述激光光源和所述光纤之间；所述激光光源发出的光线经所述扩束准直透镜组进行慢轴扩束准直，扩束准直后的光线经所述耦合透镜汇聚于所述光纤端面方法基于上述系统实现。本发明结构简便，具有多个可调自由度，适用于发光特性差异性较大的光源且均具有超高的耦合效率。
扩束准直透镜组激光光源耦合透镜光纤耦合系统耦合光束光纤照明技术领域发光特性光纤端面慢轴扩束系统实现耦合效率差异性可调扩束准直光源汇聚

[发明专利]用于光纤耦合的无衍射光束光学系统-CN201010265804.6无效
发明人：付跃刚;穆郁;王志坚 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2010-08-30 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： G02B6/32 文献下载
摘要：一种用于光纤耦合的无衍射光束光学系统，属于光纤耦合技术领域。现有将光纤端面做成球面透镜进行耦合等方案其耦合效率较低；而采用非球面透镜以及采用自适应透镜耦合，虽然耦合效率达90％以上，但所采用的器件加工十分困难。本发明由准直光学系统及圆锥透镜构成，二者光学同轴，圆锥透镜的底面朝向准直光学系统，圆锥透镜参数同时满足下面的公式要求：，式中：是圆锥透镜锥面与底面的夹角，λ是耦合激光波长，p是圆锥透镜出射光耦合光斑半径本发明用于空间光与光纤的耦合。
用于光纤耦合衍射光束光学系统

[实用新型]一种大功率半导体激光列阵光束准直装置-CN201120157538.5无效
发明人：王彪;王立军;崔锦江;武晓东;邓鑫李 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2011-05-18 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大功率激光列阵光束准直装置，包括光纤束，在光束传播的方向上依次设置有聚焦耦合透镜系统、第一平凸透镜、平凹透镜、双凹透镜、双凸透镜、第二平凸透镜和输出镜；所述第一平凸透镜的凸面朝向所述聚焦耦合透镜系统的输出面，所述平凹透镜的凹面朝向所述聚焦耦合透镜系统的输出面，所述双凹透镜、双凸透镜胶合在一起，所述第二平凸透镜的凸面背向所述聚焦耦合透镜系统的输出面。
一种大功率半导体激光列阵光束装置

[发明专利]光纤耦合系统-CN202010426863.0在审
发明人：谢刚;虞华康 -专利权人：佛山一长激光科技有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：本发明涉及一种光纤耦合系统，包括依次设置的激光器、非球面透镜、第一柱面镜、第二柱面镜、耦合透镜、光纤；所述激光器发出的激光经非球面透镜进行快轴准直后，依次通过第一柱面镜、第二柱面镜进行快轴光斑压缩，再经耦合透镜聚焦进入光纤本发明的光纤耦合系统，避免了使用昂贵的非球面快轴准直透镜，降低了成本，具有较高的耦合效率。
光纤耦合系统

[发明专利]无热化宽波段激光聚焦系统及光纤激光耦合器-CN201910361664.3有效
发明人：张新彬;陈怀熹;李广伟;冯新凯;古克义;梁万国;黄玉宝 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G02B6/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种无热化宽波段激光聚焦系统及光纤激光耦合器，该聚焦系统包括：第一凸透镜、第二凸透镜、凹透镜和第三凸透镜，第一凸透镜、第二凸透镜、凹透镜和第三凸透镜沿光束传输方向依序光路连接。该系统，能将阵列白光激光模组产生的空间光束耦合进光纤，并且具有热稳定性，减小了色差以及温度改变对耦合效率的不良影响。
热化波段激光聚焦系统光纤耦合器

[发明专利]一种用于光纤照明的准直耦合系统-CN201710079504.0有效
发明人：杨红;项靖涵;刘征平 -专利权人：重庆光遥光电科技有限公司
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明提供一种用于光纤照明领域的单透镜准直耦合系统，包括LED芯片、耦合透镜、光纤，所述LED芯片发出的光通过耦合透镜准直进入光纤，LED芯片、耦合透镜和光纤的中心轴处于同一轴线，LED芯片位于耦合透镜的前焦点；所述LED芯片的发光面呈中心对称且面积为0.36～2.25mm2，耦合透镜是呈中心轴对称的近半球体透镜，耦合透镜包括近光源面和远光源面，近光源面是曲率半径大于15mm的球面或非球面，远光源面是曲率半径为1～1.35mm之间的球面或非球面；所述透镜的前焦距离为0.1～0.3mm，所述透镜的中心厚度为0.7～1.2mm；所述透镜采用折射率在1.6～1.85之间的固体材料制成。本发明提供的耦合系统结构简单，体积小，重量轻以及生产成本低，同时还能保证较高耦合效率。
一种用于光纤照明耦合系统

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