专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物-CN201310669733.X有效
  • 殷福华;邵勇;朱龙 - 江阴江化微电子材料股份有限公司
  • 2013-12-07 - 2014-03-26 - C23F1/20
  • 本发明涉及一种由钛金属膜、铝金属膜及钛金属膜组成的钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物。该组合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性碱金属盐以及水组成。其中,非氧化性碱金属盐优选为水溶性的锂、钾、钠盐中的至少一种;氟化物、氧化性酸和非氧化性碱金属盐的质量百分浓度分别为0.01~5%、0.1~30%和0.0004~0.35%。与现有技术相比,本发明的优点在于,可以将三层金属层叠膜一起进行蚀刻,并可有效降低侧蚀量、提高蚀刻均匀性,得到的锥角在25度以下;另外,该蚀刻液组合物不采用价格昂贵的盐类辅助氧化剂,而是采用价格更为低廉的非氧化性盐类或其混合物
  • 金属层叠蚀刻组合

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