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- [发明专利]一种硅烷气体的制备方法-CN200910073023.4有效
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杨春晖;张磊;杨恺;胡成发;李季;葛士彬
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哈尔滨工业大学
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2009-09-30
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2010-03-17
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C01B33/04
- 一种硅烷气体的制备方法,它涉及一种电子气体的制备方法。本发明解决了现有制备硅烷气体的工艺中催化速率难控制、催化剂加料困难、回收难度大,以及在三烷氧基硅烷的制备过程中硅铜触体生产率低、反应活性低,催化剂遇水易失效、产物易水解,及醇利用率低的问题。本发明的制备方法是:一、利用硅粉和醇制备三烷氧基硅烷;二、制备催化缓释剂;三、采用步骤一的三烷氧基硅烷,在催化缓释剂的作用下反应制备得到硅烷气体。本发明制备三烷氧基硅烷的选择性达到95%,转化率为90%;本发明中三烷氧基硅烷的分解率为99.8%,硅烷产率为90~93%,纯度为99%,硅烷可用于制造非晶硅薄膜太阳能电池及LED、LCD行业。
- 一种硅烷气体制备方法
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