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[发明专利]硅片加工装置及方法-CN201310432624.6在审
发明人：王坚;贾照伟;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明揭示了一种硅片加工装置，包括机台，该机台内配置有两套或两套以上电化学抛光装置，每套电化学抛光装置包括：抛光液槽，抛光液槽储存抛光液；及抛光腔室，抛光腔室内设置有喷嘴，喷嘴与抛光液槽之间经由抛光液供应管道连接；各套电化学抛光装置的抛光液槽内储存相同或不同的抛光液。本发明还揭示了一种硅片加工方法，包括使硅片依次在机台的各电化学抛光装置内进行电化学抛光处理，其中各电化学抛光装置内配置相同或不同的抛光液。本发明根据加工需求，在机台内配置数套电化学抛光装置，提高了机台加工效率。
硅片加工装置方法

[发明专利]一种锌合金器件电化学抛光液及其抛光方法-CN201610033135.7有效
发明人：郭高阳;王昂;蒲向龙;张勇;严心浩;宫海波;屈功奇;周功耀 -专利权人：西安爱德万思医疗科技有限公司
申请日： 2016-01-19 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： C25F3/22 文献下载
摘要：一种锌合金器件电化学抛光液及其抛光方法，属于锌合金材料表面处理领域，具体涉及一种锌合金制品的电化学抛光液的配方及其抛光方法。该锌合金器件电化学抛光液，由以下体积百分含量的物质组成磷酸 10‑40%；乙二醇二丁醚 20‑85%；醋酸 5‑50%。该抛光液具有毒性低，成分稳定性高等特点，可用于锌合金制品的电化学抛光，抛光后的锌合金制品光亮度高，表面平整；该电化学抛光液成分不含有环境有害成分和生物毒性成分，不会在锌合金表面上引入有毒物质，特别适用于医用锌合金器械的电化学抛光；该电化学抛光液成分挥发速度较低，有利于减少抛光液更换周期。
一种锌合金器件电化学抛光及其方法

[发明专利]提高铝合金焊接接头疲劳强度的电化学抛光系统-CN201510287813.8有效
发明人：付宁宁;朱伟;夏宁;王红波;丁洁琼;张玉娟 -专利权人：南京南车浦镇城轨车辆有限责任公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： C25F3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高铝合金焊接接头疲劳强度的电化学抛光系统，包括：可更换的抛光头、高压气体装置、陶瓷喷丸存储装置、电化学抛光液存储装置、和智能化电化学抛光控制装置；高压气体装置、陶瓷喷丸存储装置、电化学抛光液存储装置、智能化电化学抛光控制装置均与抛光头相连；智能化电化学抛光控制装置内置专家数据库，专家数据库中包含各种推荐电化学抛光工艺参数；陶瓷喷丸存储装置，内储存有粒径为50um~80um的超细陶瓷丸粒；电化学抛光液存储装置内存贮有电化学抛光液通过本系统对工件抛光，从而提高金属结构件的抗疲劳、抗腐蚀能力。
提高铝合金焊接接头疲劳强度电化学抛光系统

[发明专利]一种激光增材制造异形钛合金的电化学抛光液及抛光方法-CN201810384684.8在审
发明人：张翼飞;李建中;车双行 -专利权人：东北大学
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C25F3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光增材制造异形钛合金的电化学抛光液及抛光方法，属于精密表面处理技术领域。该电化学抛光液由氯化镁、氯化锌、乙二醇、添加剂和磁性添加材料混合而成。利用该电化学抛光液的电化学抛光方法包括预处理、配置电化学抛光液、电化学抛光和后期处理。本发明的抛光液为温性电解抛光液，制备过程简单，成本低廉，不含强酸，使用中无强烈刺激性气味及腐蚀性，对人体无安全隐患，不造成环境污染，导电性好，在补充母液的前提下可以多次循环使用，效率高。使用此抛光液对激光增材制造异形钛合金零件进行抛光，钛合金失重较小，可以有效减少钛合金表面粗糙度，提高光泽度，得到高质量的表面。
电化学抛光液钛合金抛光异形电化学抛光激光抛光液氯化镁预处理制造磁性添加材料导电性表面粗糙度刺激性气味电解抛光液钛合金零件安全隐患多次循环后期处理精密表面有效减少制备过程光泽度氯化锌乙二醇失重母液强酸温性添加剂补充配置

[发明专利]镁合金电化学抛光液及其对镁合金处理的方法-CN201310023958.8无效
发明人：杨升攀 -专利权人：汉达精密电子（昆山）有限公司
申请日： 2013-01-23 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C25F3/18 文献下载
摘要：一种镁合金电化学抛光液，按重量百分比计算，其包括多元醇55～80%；有机酸1～10%；磷酸1～5%；纯水15～35%。另外，还提供一种镁合金电化学抛光液对镁合金处理的方法，其包括如下步骤：对镁合金进行脱脂处理；在20～25℃，电压6～20V的条件下，将上述镁合金放入所述镁合金电化学抛光液中进行电化学抛光处理2～30min；将电化学抛光处理后的镁合金进行烘烤。本发明具有以下优点：镁合金进行电化学抛光之前无需预处理；经电化学抛光后的镁合金具有较高的光泽度；且可以控制抛光时间的长短来获得不同光泽度的镁合金产品；该电化学抛光液的废水处理简单，且经过过滤处理后可以重复使用
镁合金电化学抛光及其处理方法

[发明专利]一种失效电化学抛光液的活化方法-CN201710833692.1在审
发明人：夏金成;陆玲;胡宗林;庄维伟;陈慧娟 -专利权人：苏州新材料研究所有限公司
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： C25F7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种失效电化学抛光液的活化方法，包括对所述失效电化学抛光液进行电解；所述电解的温度为30～90℃；所述电解的电流为30～120A。本发明提供的方法，通过所限定温度和电流强度条件的电解过程，实现失效电化学抛光液中水分的有效去除，解决由于抛光液自身的吸水性所导致的抛光液失效问题。本发明在电解除水的基础上，通过酸沉和成分平衡处理，能够有效去除失效电化学抛光液中的金属离子，并且抛光液中成分得以均衡，满足抛光液再使用的要求，解决由于抛光过程逐渐增多的金属离子导致的抛光液的失效问题。
一种失效电化学抛光活化方法

[发明专利]一种电化学抛光液及其制备方法和应用-CN202011171237.8在审
发明人：郭利斌 -专利权人：上海禾吟企业管理咨询中心
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C25F3/24 文献下载
摘要：本发明属于金属表面处理技术领域，具体涉及一种电化学抛光液。本发明提供了一种电化学抛光液，以体积百分含量计，包括乙酸20～50％、高氯酸0.1～2％、无水乙醇20～60％和添加剂5～30％。实施例结果表明，本发明提供电化学抛光液能够有效解决不锈钢和镍钛合金表面粗糙的问题，实现工件的抛光，解决了现有技术中电化学抛光液抛光效果较差的问题。另外以本申请提供的电化学抛光液在处理不锈钢和镍钛材料时不会产生有毒气体，能够保证使用过程的安全性。
一种电化学抛光及其制备方法应用

[发明专利]一种镁合金血管支架的两步抛光法及其抛光液-CN202010064461.0有效
发明人：顾兴中;赵晟;王益民 -专利权人：东南大学泰州生物医药与医疗器械研究院
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C23F3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种镁合金血管支架的两步抛光法，包括以下步骤：①将镁合金血管支架放入乙醇、丙酮和石油醚混合溶液中超声脱脂除油；②将脱脂后的血管支架放入酸洗液中酸洗处理；③采用电化学抛光液进行多次电化学抛光处理；④采用化学抛光液进行化学抛光处理；⑤清洗后吹干，置于离心管中用真空袋密封保存。本发明还提供所用的电化学抛光液和化学抛光液。本发明具有如下技术效果：1.抛光液不含有毒铬酐，对环境污染小。2.工艺简单，没有复杂的前处理，电化学抛光过程温和，易于控制各项参数。3.抛光后的支架内外表面平整光亮，尺寸均匀。
一种镁合金血管支架抛光及其

[发明专利]一种电化学抛光冷却循环装置及其应用-CN201810114075.0在审
发明人：夏金成;陆玲;邓辉;周国山;陈慧娟;蔡渊 -专利权人：苏州新材料研究所有限公司
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学抛光冷却循环装置，其特征在于，包括循环机、回流管路，所述回流管路一端与循环机相连，另一端可置于抛光液中，所述循环机通过回流管路控制抛光液温度。并进一步公开了该电化学抛光冷却循环装置在制备高温超导带材基带的电化学抛光工艺的应用。该工艺能维持电化学抛光过程中抛光液温度的稳定性，进而维持电压和各项参数的稳定性，提高电化学抛光生产工艺的稳定性。
电化学抛光冷却循环装置回流管路抛光液循环机电化学抛光工艺高温超导带材维持电压基带生产工艺制备应用

[发明专利]一种电极箔及其金相的电化学抛光装置及方法-CN202010660875.X在审
发明人：陈健;李英;黄耀;何桂丽 -专利权人：四川中雅科技有限公司;南通海星电子股份有限公司;南通海一电子有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电极箔及其金相的电化学抛光装置，包括：压力容器、阳电极、阴电极，压力容器的顶部安装有可开合的密封端盖，压力容器内部安装有电极箔固定装置，电极箔固定装置与阳电极相连并进行悬挂固定，还包括：电化学抛光液循环装置、清洗装置、干燥装置，电化学抛光液循环装置与压力容器相连，电化学抛光液循环装置能够将电化学抛光液注入压力容器内并进行回收，清洗装置能够在电化学抛光后对压力容器的内壁、电极箔及其金相进行清洗，所述干燥装置通过加热盘管及排气系统将电极箔或其金相进行干燥，利用该装置对电极箔及其金相进行电化学抛光后的样品可直接用扫描电镜或金相显微镜观测，简化制样流程。
一种电极及其金相电化学抛光装置方法

[发明专利]一种钛及钛合金的电化学抛光液及抛光方法-CN201710789294.4有效
发明人：黄培;陈峰 -专利权人：宝鸡市同业精密科技有限责任公司
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛及钛合金的电化学抛光液及抛光方法。该电化学抛光液中各组分及其含量为：氯化钠10‑40g/L；甘油40‑70％；乙二醇20‑40％；无水乙醇5‑20％；高氯酸0.1‑1％；添加剂1‑5g/L；所述添加剂由加速剂、整平剂和光亮剂组成。该电化学抛光液所含物质环保无毒，且在电化学抛光过程中无有毒气体生成；钛及钛合金工件经本发明电化学抛光后，表面呈现镜面光泽，其平均粗糙度可以低至10nm以下；该电解抛光液的腐蚀能力弱，对电解设备腐蚀小，可长期利用；该电化学抛光液只需要补充母液，可重复利用500次以上，稳定性强。
电化学抛光液钛合金电化学抛光抛光添加剂氯化钠腐蚀电解抛光液平均粗糙度表面呈现电解设备镜面光泽气体生成稳定性强无水乙醇高氯酸光亮剂加速剂可重复乙二醇整平剂甘油母液无毒补充环保

[发明专利]一种铝合金电化学抛光液及一种铝合金电化学抛光方法-CN201110370236.0有效
发明人：李志昌 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2011-11-21 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： C25F3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝合金电化学抛光液，该抛光液为含有氢氧化钠和乙二胺四乙酸二钠的水溶液；以抛光液的总量为基准，所述氢氧化钠含量为8.3-15g/L，所述乙二胺四乙酸二钠含量为9-18g/L，余量为水。本发明还公开了一种铝合金电化学抛光方法，该方法以铝合金工件为阳极，以不锈钢板为阴极，将所述阳极和阴极置于电抛光液中，进行电化学抛光，所述抛光液为本发明提供的抛光液。本发明提供的铝合金电化学抛光液配方无铬环保，成本低，操作环境好。
一种铝合金电化学抛光方法

[发明专利]一种金属及其合金电化学抛光的装置及方法-CN201710717016.8有效
发明人：陈艳文;黄健;陈小真;周正荣;明芳望;曾达;林志雄 -专利权人：大博医疗科技股份有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属及其合金电化学抛光的装置及方法，该装置包括载液槽体、电参数加载系统、流体输送系统和循环冷却系统，所述载液槽体，用于容纳电化学抛光液和待抛光的金属及其合金；所述电参数加载系统，用于为电化学抛光提供阴极、阳极和电源，所述阳极通过导体连接所述待抛光的金属及其合金；所述流体输送系统，用于将电化学抛光液输送到所述载液槽体内；所述循环冷却系统，用于控制所述载液槽体内的电化学抛光液的温度；本发明的抛光方法为通过上述装置对金属及其合金进行电化学抛光处理本发明能有效解决现有的抛光设备抛光效果差、抛光效率低、不同批次产品的一致性及重复性较差、不能实现大型及批量性生产的问题。
抛光电化学抛光液金属合金流体输送系统循环冷却系统电化学抛光合金电化学阳极加载系统电参数液槽体内阴极导体连接抛光设备抛光效果抛光效率批次产品有效解决批量性液槽体槽体载液电源容纳生产

[发明专利]用于哈氏合金基带的电化学抛光液、制备方法及抛光方法-CN201610160272.7有效
发明人：夏金成;庄维伟;张国栋;贺昱旻 -专利权人：苏州新材料研究所有限公司
申请日： 2016-03-21 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： C25F3/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学抛光液、电化学抛光液的制备方法及抛光工艺，电化学抛光液包括组分98％浓硫酸、85％浓磷酸、甘油、硫脲、柠檬酸铵、一水合柠檬酸、氟硼酸、二乙烯三胺五乙酸、硫酸铵及水，采用本发明中电化学抛光液进行抛光后的哈氏合金基带，其表面平整、光亮、表面粗糙度为1nm以下，并且抛光过程中造成的缺陷较少，可保证长期、稳定、大量的工业化生产第二代高温超导线材，满足生产上的可行性与可靠性。
用于合金基带电化学抛光制备方法

[发明专利]一种钴铬合金血管支架的电化学抛光液、其制备方法及抛光方法-CN201510689865.8有效
发明人：赵迎红;高洪亮;郭承年 -专利权人：易生科技(北京)有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C25F3/22 文献下载
摘要：本发明涉及电化学抛光领域，本发明的钴铬合金血管支架的电化学抛光液，包括以下体积百分比的组分：13～40％的浓硫酸；9～15％的磷酸；42～68％的乙二醇；5～15％的丙三醇；3～10％的水；0.1～1.3g其制备方法为：将辅助导电介质溶于水中，缓慢加入磷酸、乙二醇和丙三醇；缓慢加入浓硫酸，搅拌均匀后，加入添加剂，得到电化学抛光液。上述电化学抛光液成分简单，稳定性好，抛光效果好。由于所述抛光液中不含有铬元素，避免给环境带来二次污染。而且采用所述抛光液进行电化学抛光时，电流密度范围大，工艺控制简单；抛光过程中也不需要辅助阴极，操作方便。
一种合金血管支架电化学抛光制备方法

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