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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]PECVD用石墨舟移送装置-CN202120806650.0有效
发明人：沈晓 -专利权人：江苏格林保尔光伏有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨舟运输设备技术领域，尤其是涉及一种PECVD用石墨舟移送装置，包括箱体以及设置在箱体内缓存架和两个移送机构，所述缓存架用于暂存石墨舟，所述缓存架位于两个移送机构之间，所述移送机构上设置有用于承载石墨舟的载料板，所述移送机构用于驱动载料板，将石墨舟移送至缓存架上，通过移送机构和缓存架的设计，实现石墨舟的更换和运输，无需操作人员等待，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
pecvd 石墨移送装置

[实用新型]石墨舟自动清洗用舟架-CN202122499159.0有效
发明人：张福庆;王贵梅;张永 -专利权人：晶澳太阳能有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及一种石墨舟自动清洗用舟架，其包括端板、承载部和连接杆，端板并排且间隔设置有两块，且两块端板相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部，承载部设在两块端板之间且与两块端板均保持间隙，连接杆与承载部以及两块端板均固定连接，连接杆、承载部以及两块端板围合形成用于石墨舟放置的放置空间，承载部用于对石墨舟形成支撑。本申请具有以下效果：机械手可以通过抓取部对舟架进行抓取，将石墨舟放置在舟架内后，即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能
石墨自动清洗用舟架

[实用新型]一种太阳能电池生产用扩散石英舟装置-CN201220173068.6有效
发明人：叶晋;韩凌 -专利权人：浙江龙柏光伏科技有限公司
申请日： 2012-04-23 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池生产用扩散石英舟装置，包括石英舟体和与其相配套的二个舟叉，所述石英舟体包括二个直立的边架和竖直连接于二个边架之间的若干根底杆和侧杆，所述边架的项端具有一个舟叉孔；所述舟叉包括钢制的手柄和插管，所述插管外包裹有一层石英材质的隔热管；所述舟叉孔的二端具有一个斜面。所述边架的高度为其宽度的1/2-2/3。所述舟叉的手柄与插管之间设有一个隔离块，所述隔离块朝向插管22的面上设有一个缓冲垫。由于在舟叉孔的二端设置了斜面结构，使舟叉更易插入到舟叉孔中；降低了石英舟体的高度，使石英舟具有更好的稳定性；而在舟叉的手柄与插管之间设置隔离块，防止操作人员的手被高温的石英舟烫伤。
一种太阳能电池生产扩散石英装置

[实用新型]一种用于液体检测用石英舟-CN202120173427.7有效
发明人：薄耀辉 -专利权人：湖州奥辉石英科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及石英舟领域，且公开了一种用于液体检测用石英舟，包括舟体、舟腿、把手、固定架、连接杆、固定装置以及搅拌装置，所述舟体的底部设有舟腿，所述舟腿固定连接于舟体，所述把手设有两个，把手固定连接于舟体的两端，所述固定架的底部固定连接于舟体的顶部，所述连接杆通过两端固定连接的固定装置活动连接于固定架，所述搅拌装置活动连接于连接杆外表面，该实用新型，使得长时间静置的液体可以方便的进行搅拌，从而使得液体混合的更加均匀
一种用于液体检测石英

[实用新型]一种扩散用的石英舟-CN201520797178.3有效
发明人：方结彬;秦崇德;石强;黄玉平;何达能;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2015-10-14 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散用的石英舟，包括舟架和横梁，舟架与横梁固定连接，横梁上设有用于放置硅片的插槽和隔离硅片的凸片，位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度。与现有技术相比，本实用新型通过设置位于横梁左侧和中部的凸片的宽度小于位于横梁右侧凸片的宽度，使横梁右侧相邻凹槽内的硅片间距增大，可以提高工艺气体在舟尾处(即横梁右侧)的流动性，从而提高舟尾处硅片的方阻均匀性以及整舟硅片的片间方阻均匀性
一种扩散石英

[实用新型]一种石英舟-CN201020611626.3无效
发明人：姚琪;刘鹏;欧阳辉 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2010-11-18 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种石英舟，包括舟体，舟体下方设置有舟架，所述舟体包括横架和纵杆，所述纵杆固定设置于横架壁，且与横架相互垂直；所述横架下方设置有舟座，所述舟座有两个，且之间的距离小于舟架的宽度。本实用新型可适用多种不同扩散炉内的石英舟架，便于生产；方块电阻对比和效率较高。
一种石英

[发明专利]等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟及其制备方法-CN201510975417.4在审
发明人：杨万利;代丽娜;康文杰;张永辉;张旭辉;彭志刚 -专利权人：西安超码科技有限公司
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟，包括碳化硅陶瓷舟体，所述碳化硅陶瓷舟体由形状为“U”形的基座、设置在所述基座左顶端的第一支撑架和设置在所述基座右顶端的第二支撑架一体成型而成，所述第一支撑架的顶部开设有第一卡槽，所述第二支撑架的顶部开设有第二卡槽，所述基座侧壁、第一支撑架和第二支撑架均为镂空结构。本发明还提供了一种制备上述等离子体增强化学气相沉积用碳化硅陶瓷舟的方法。本发明碳化硅陶瓷舟具有孔隙率低、高强度、轻质、高抗氧性、高抗震性等性能，并且其不与硅片反应，可广泛用于等离子体增强化学气相沉积镀膜领域。
等离子体增强化学沉积碳化硅陶瓷及其制备方法

[实用新型]一种蒸发舟沉积物的清洁工装-CN202320873824.4有效
发明人：臧世伟;刘文卿 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B08B9/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了蒸发舟清洁领域中的一种蒸发舟沉积物的清洁工装，包括：机架、平移机构、清洁机构，清洁机构包括安装架、打磨组件，安装架通过平移机构与机架连接，打磨组件包括上打磨组件、下打磨组件，上打磨组件与下打磨组件上下对称设置在安装架上，且上打磨组件用于与蒸发舟的蒸发槽、蒸发舟的蒸发槽槽顶抵接，下打磨组件用于与蒸发舟的下表面、蒸发舟的侧面抵接，平移机构带动上打磨组件与下打磨组件在蒸发舟的两侧水平往复运动。解决了现有的蒸发舟用沉积物清理装置没有对蒸发舟两侧的上下表面及侧面进行清理，容易清理不到位的问题，其对蒸发舟的两侧的上下表面、侧面进行沉积物的清洁，提高工作效率，清洁效果好，避免清洁不到位。
一种蒸发沉积物清洁工装

[实用新型]一种PE-poly石墨舟自动清洗用舟架-CN202320463855.2有效
发明人：魏可庆;李有炎 -专利权人：中清智慧实业（湖北）有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B08B9/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨舟技术领域，且公开了一种PE‑poly石墨舟自动清洗用舟架，包括底架，所述底架顶部设置有输送装置，所述输送装置顶部设置有清洗装置，所述输送装置包括驱动单元和输送单元，所述驱动单元位于底架顶部右侧该PE‑poly石墨舟自动清洗用舟架，无需要配合机械手即可完成清洗，成本较低，并且通过输送线的形式可以不间断地清洗，清洗效率更高。
一种 pe poly 石墨自动清洗用舟架

[实用新型]燃烧式固体样品测量装置用样品架-CN201820281303.9有效
发明人：能登纪幸;池泽由雄 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G01N31/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及燃烧式固体样品测量装置用样品架，在能够测量每个擦拭材料的燃烧式固体样品测量装置中，非常迅速且准确地进行测量作业。在样品架(20)中预先配置有样品舟(6)。在取样时，通过擦拭材料(5)擦拭制造设备表面的一定面积，并将擦拭材料(5)收纳于样品架(20)上的样品舟(6)中。此外，在样品架(20)上设置覆盖载置于样品架(20)上的样品舟(6)的盖(21)，并且盖(21)上具有把手(22)。
样品架擦拭材料测量装置固体样品燃烧式样品舟本实用新型测量作业预先配置制造设备收纳取样擦拭把手测量覆盖

[发明专利]一种半导体设备用多轴送片系统-CN202210196627.3在审
发明人：陈李松;李军;黄志海;马国威;张超 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体设备用多轴送片系统，包括：第一驱动组件、第一升降组件、及由外舟组件、内舟组件、热偶组件和舟架组件组成的多轴送片单元，第一驱动组件驱动第一升降组件以带动多轴送片单元进行往复升降；外舟组件包括第二驱动组件和外舟架连杆，内舟组件包括第三驱动组件和内舟架连杆，热偶组件包括热偶和第四驱动组件，热偶、内舟架连杆和外舟架连杆依次嵌套安装；第三驱动组件驱动内舟架连杆升降，并将装载基片的舟架组件移入或移出生长母液中；第二驱动组件驱动外舟架连杆旋转并带动舟架组件旋转
一种半导体备用多轴送片系统

[实用新型]一种石墨舟-CN202320022777.2有效
发明人：张永;梁立维;张建军 -专利权人：晶澳太阳能有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请公开了一种石墨舟，包括：若干依次交错分布的石墨舟片和位于石墨舟片的两端且用于为其提供承载支点的承载装置；承载装置包括上下设置的两组导电安装架，导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部和所述负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘；正极连接部和负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，在相邻的两个石墨舟片端部之间设置所述石墨块，石墨杆穿设于石墨舟片和石墨块将位于同一正极连接部或者负极连接部上的所有石墨舟片和石墨块串联固定；通过用两根石墨杆替换整根陶瓷杆，在不短路的情况下，起到增强导电性同时兼具支撑、带有韧性效果的作用，从而改善石墨舟因舟片与石墨块接触不好导致喷舟的现象，降低现场制程的返工率。
一种石墨

[实用新型]一种扩散用石英舟-CN201220566492.7有效
发明人：胡海平;班群;方结彬;何达能;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散用石英舟，包括石英舟架和设于所述石英舟架之间的三根石英横杆，所述石英横杆互相平行并垂直于所述石英舟架正面，所述石英横杆在所述石英舟架上呈倒等腰直角三角形分布，所述石英横杆上设有卡槽本实用新型所述的石英舟采用三根石英横杆固定所述硅片，比现有的石英舟采用四根石英横杆固定的方案节省一根石英横杆，不但降低了制作成本，节省原料，而且减小了石英横杆对待反应气体的阻挡，使硅片与待反应气体接触更充分
一种扩散石英

[发明专利]一种全地形舟艇投送装备-CN202210360893.5有效
发明人：彭隆贤;阳同光;伍秋生;戴龙;姜涛;丁鹏 -专利权人：益阳市消防救援支队
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B62D55/06 文献下载
摘要：一种全地形舟艇投送装备，包括舟艇存放架、升降机构、行走底盘车和拖板；所述拖板上承载行走底盘车，行走底盘车上安装舟艇存放架，舟艇存放架上安装升降平台；所述行走底盘车具有移动和旋转功能，用于带动其上的舟艇存放架做相应运动；所述升降机构用于控制舟艇存放架中的舟艇进行升降运动。本发明的全地形舟艇投送装备，可以实现对救援舟艇的快速装、卸操作，为救援工作争取时间，提高救援效率。且在舟艇投送装备的门体结构上设置有吸水机构，在舟艇进入存入架的过程中，可以对舟艇底面上的水分及污渍等进行清理。
一种地形投送装备

[实用新型]一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统-CN202020941523.7有效
发明人：王俊朝;寇宗和 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部散热装置侧边设置的吸风通道与设备前门上的进风孔对应，散热装置直接从进风孔吸取外界凉风并吹向石墨舟，实现了石墨舟的高效散热。且散热装置在对二层以下石墨舟散热的同时，被风机冲出的热气还能对第一层石墨舟进行预热，节约了石墨舟的加热能源。
一种扩散 cvd 用储舟位并行散热系统

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