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- [实用新型]一种扩散设备-CN201320645220.0有效
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张术军;李建朋;郑志勇;石亚芬;高奎;张继伟
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天津英利新能源有限公司
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2013-10-18
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2014-04-02
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C30B31/16
- 本实用新型公开了一种扩散设备,包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉,所述源瓶和所述气源通过进气管连通,所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通,还包括补液部件和液位检测部件,所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位,源瓶内源液的实际液位低于预设液位,所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。与现有技术相比,上述扩散设备在原有源瓶的基础上,引入了补液部件和液位检测部件,当源瓶内实际液位低于预设液位时,由补液部件向源瓶补充源液,直至源液实际液位升高至预设液位处,使源瓶内源液量基本保持不变,以保证携带气体内的源液量基本恒定
- 一种扩散设备
- [实用新型]一种集中供源装置-CN202020824099.8有效
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刘群;平飞林;庞爱锁;林佳继
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-05-18
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2021-05-18
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B01J4/00
- 本实用新型公开了一种集中供源装置,包括源瓶、为源瓶提供源液的源桶以及为源瓶保温的控温腔体,所述源桶上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道和为源瓶输送源液的补液件,所述源瓶上设置有输入载气的进气管和管路输送机构,所述管路输送机构包括输出气体的气体输送机构和泄压管道机构,本实用新型采用集中供源的方式对多个源瓶进行供液,集中供源一次补液,使用时间长久,无需拆卸搬运换源瓶,只是对接进酸口,外部进酸,减少风险,同时降低源瓶中液体量的波动,使气体所携带的源量一致,源瓶中液体压力一致,同时降低了气体对源液温度的影响,本实用新型的源液连续使用,使用无浪费,提高了源液的利用率。
- 一种集中装置
- [实用新型]一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置-CN201120574640.5有效
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刘润中;韩小旭
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英利能源(中国)有限公司
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2011-12-31
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2012-09-19
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F17D1/12
- 本实用新型实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置,该装置包括:第一源瓶,所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液;第二源瓶,所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液,且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同;其中,所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连,所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连,所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连;且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管采用本实用新型实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置,能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液,且成本低,危险性小。
- 一种硅片扩散制结用供给装置
- [实用新型]三维打印机-CN202222035695.X有效
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冯玉林;林小雄
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深圳锐沣科技有限公司
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2022-08-03
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2022-12-13
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B29C64/112
- 本申请提供一种三维打印机,通过在料槽开设流出口和回流口,并利用液体驱动装置来分别连通流出口和回流口,通过液体驱动装置可将料槽内的源液抽出后再流回料槽,以实现源液的循环流动,从而对源液起到搅拌作用,使料槽内的源液浓度更加均匀由于料槽底部的源液浓度更高,因此流出口与料槽的底部连通,回流口与料槽深度方向上的中部连通,可使浓度更高的源液流至整体源液的中部高度位置,如此,可使高浓度的源液自料槽的中部高度位置朝各个位置分散,以避免液面处的源液浓度过高,从而提高料槽内各个位置的源液浓度均匀性。
- 三维打印机
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