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[实用新型]扩散源瓶-CN202123013888.7有效
发明人：郑傲然;徐冠群;李红飞;夏伟;李宁 -专利权人：通威太阳能（安徽）有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C30B31/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散源瓶，涉及太阳能电池制造技术领域，包括插入源瓶主体的进气管和出气管，且源瓶主体内底壁向下凹陷形成集源区，且进气管伸入源瓶主体的一端向下延伸至靠近集源区最低底面，所述进气管管身向上间隔固定连接有不少于一个的挡板且挡板上开设有若干通孔，本实用新型在使用中，通过挡板阻挡捕获氮气，并通过通孔将进气管排出的大气泡氮气分割形成小气泡氮气，增大氮气的比表面积，从而使得氮气能够带出更多的三氯氧磷蒸汽，为后续在硅片表面形成PN结提供足够的磷源，也使得小流量的氮气就足以满足带出所需磷源，降低氮气的流量和氮气机的工作成本。
扩散

[实用新型]一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置-CN201120574640.5有效
发明人：刘润中;韩小旭 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： F17D1/12 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，该装置包括：第一源瓶，所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液；第二源瓶，所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液，且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同；其中，所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连，所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连，所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连；且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管采用本实用新型实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置，能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液，且成本低，危险性小。
一种硅片扩散制结用供给装置

[发明专利]扩散源瓶的补液控制系统及补液控制方法-CN202211310022.9在审
发明人：符黎明;张永红;董建文;任常瑞 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明提供一种扩散源瓶的补液控制系统，包括：源瓶，向源瓶供载源用气体的供气管，向源瓶供液态扩散源且设有补液阀的补液管，对源瓶进行实时称重的称重单元，以及根据称重单元所得实时重量控制补液阀的开闭的补液控制单元本发明还提供一种扩散源瓶的补液控制方法，其采用上述的补液控制系统，且包括：通源前确认源瓶液面，确定补液控制条件，稳态通源并控制补液，以及异常报警。本发明可使源瓶中液态扩散源的液面维持一定的高度，可实现扩散后方阻的基本稳定，可提高扩散工艺稳定性。本发明可采用集中供液系统对源瓶进行集中供源，还可以采用储液罐对源瓶进行独立供源，可降低更换源瓶的频次，提高源的利用率。
扩散补液控制系统控制方法

[实用新型]一种晶体硅太阳能电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置-CN201420207177.4有效
发明人：周莹;殷国安;郑会刚;田娜;王春燕;杨雄磊 -专利权人：巨力新能源股份有限公司
申请日： 2014-04-27 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶体硅太阳电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置，其包括有充足三氯氧磷的新扩散源瓶、剩余有少量不能直接供给三氯氧磷的旧扩散源瓶和两个恒温装置；小流量氮气供给系统的氮气出口通过氮气进管连接旧扩散源瓶的进气管，旧扩散源瓶的出气管通过进气管和双向阀气管接头连接新扩散源瓶的进气管，新扩散源瓶的出气管通过进气管连接扩散炉的三氯氧磷的进气口。本实用新型能使剩余有少量不能直接供给三氯氧磷的扩散源瓶内的三氯氧磷用尽，避免了三氯氧磷的浪费，提高了三氯氧磷的利用率，节省了生产成本；消除了剩余有少量三氯氧磷扩散源瓶在储存过程中存在的危险。
一种晶体太阳能电池扩散工艺中三氯氧磷供给装置

[实用新型]一种用于扩散的源瓶-CN201220033091.5有效
发明人：张春华;周剑;党继东;费正洪;向宏伟;李栋;高文丽;孟祥熙;辛国军;章灵军 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司
申请日： 2012-02-02 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于扩散的源瓶，包括瓶体、进气管和出气管，所述瓶体为双层结构，其内层瓶体的纵剖面的底部呈倒锥形；所述进气管设于所述内层瓶体内，且延伸到内层瓶体底部。本实用新型将源瓶设计成双层结构，内层瓶体底部设计成圆锥体的形状，因而减少了源瓶的扩散源液体剩余量，提高了扩散源的利用率，同时减少了待处理的废弃扩散源，从而降低了生产成本，具有良好的经济效益。
一种用于扩散

[实用新型]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶-CN201520584751.2有效
发明人：陈桂宝;唐磊;何晨旭;朱姚培 -专利权人：江苏荣马新能源有限公司
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，本实用新型解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
太阳电池用三氯氧磷扩散

[发明专利]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统-CN201910119587.0在审
发明人：何一峰;姚春梅;赵庆国;陆波;李小飞;张炎;赵晓龙 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。本发明是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器本发明的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。
供给系统管式扩散磷源主源源瓶三氯氧磷蒸汽液位感应器扩散分离设计贯通连接化工设备开关状态连接管路气流稳定液体液面主阀门副瓶链接液位主瓶检测保证

[实用新型]一种用于太阳能电池扩散的源瓶-CN201922017927.7有效
发明人：庄艳;王守志;黄国平;吴少梅 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于太阳能电池扩散的源瓶，包括圆柱形源瓶本体、进气管、出气管、第一挡板和隔板，所述进气管和出气管分别置于源瓶本体内部两侧，所述第一挡板置于靠近所述进气管侧的源瓶本体内部，并沿与源瓶本体内侧壁连接处B斜向上安装，所述第一挡板上开设通孔，所述进气管利用所述通孔穿过第一挡板，所述第一挡板上开设向源瓶本体内侧壁方向延伸的第一沥液缝，所述隔板安装在所述第一挡板下方的源瓶本体内底面上。本实用新型在现有的瓶体中安装第一挡板和第二挡板，增加了气体与扩散源的接触时间，增加了气体携带扩散源的量，在扩散源量较少时，也可保证气体的扩散源携带量，减少了对扩散效果的影响。
一种用于太阳能电池扩散

[发明专利]太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶-CN201710906791.8在审
发明人：谷香梅 -专利权人：谷香梅
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01L21/223 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体内设有超声波发生器，本发明解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
太阳电池用三氯氧磷扩散

[发明专利]用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶-CN201710907763.8在审
发明人：谷香梅 -专利权人：谷香梅
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于太阳电池的三氯氧磷扩散源瓶，包括恒温槽、衬套、源瓶本体，所述恒温槽内侧表面设有衬套，源瓶本体设置在恒温槽内，所述源瓶本体上方设有进气口、出气口，进气口通过进气管与源瓶本体连接，所述进气管伸入源瓶本体底部，进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管，所述出气口通过出气管与源瓶本体连接，进气管上设有气流调节阀，源瓶本体侧壁设有若干个气流喷嘴，本发明解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。
用于太阳电池三氯氧磷扩散

[实用新型]一种扩散设备-CN201320645220.0有效
发明人：张术军;李建朋;郑志勇;石亚芬;高奎;张继伟 -专利权人：天津英利新能源有限公司
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，所述源瓶和所述气源通过进气管连通，所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，源瓶内源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。与现有技术相比，上述扩散设备在原有源瓶的基础上，引入了补液部件和液位检测部件，当源瓶内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶补充源液，直至源液实际液位升高至预设液位处，使源瓶内源液量基本保持不变，以保证携带气体内的源液量基本恒定
一种扩散设备

[实用新型]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统-CN201920205612.2有效
发明人：何一峰;姚春梅;赵庆国;陆波;李小飞;张炎;赵晓龙 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。本实用新型是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器本实用新型的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。
供给系统管式扩散磷源主源本实用新型源瓶三氯氧磷蒸汽液位感应器扩散分离设计贯通连接化工设备开关状态连接管路气流稳定液体液面主阀门副瓶链接液位主瓶检测保证

[发明专利]一种基于源瓶控压可调实现低压高方阻的扩散方法-CN202010706327.6在审
发明人：周塘华;易辉;沈永臻;刘照;彭浩 -专利权人：湖南红太阳新能源科技有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/225 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于源瓶控压可调实现低压高方阻的扩散方法，包括：步骤S1、对硅片进行清洗制绒，送入扩散管，升温并抽真空；步骤S2、扩散炉内温度稳定在预设温度后，通入氧气，并通入磷源或硼源沉积，源瓶控压压力设为600～800mbar；步骤S3、继续升温至预设温度，通入氧气，进行磷扩散推进或硼扩散推进；步骤S4、当温度降至预设温度，通源及氧气，源瓶控压压力设为600～800mbar；步骤S5、当温度进一步降至预设温度，通源及氧气，调整炉管压力值，将源瓶控压压力调整为100～500mbar或将源瓶压力设置与炉管压力值相近。本发明有利于扩散轻掺杂区方阻的提升和效率的提高。
一种基于源瓶控压可调实现低压高方阻扩散方法

[实用新型]低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统-CN201820160642.1有效
发明人：和江变;张鸿飞 -专利权人：内蒙古日月太阳能科技有限责任公司
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： H01L21/223 文献下载
摘要：本实用新型涉及光伏电池制造技术，提出一种低压扩散通源装置、PN结制作设备以及电池生产系统，低压扩散通源装置包括：源瓶、进气管、出气管。源瓶用于储存掺杂源液；进气管第一端与惰性气源连接，第二端通过源瓶的进口伸入掺杂源液的液面以下；出气管第一端与低压扩散装置连接，第二端通过源瓶的出口伸入掺杂源液的液面以上；其中，出气管与进气管上分别设置有进气阀和出气阀本实用新型通过将进气阀与出气阀的开关状态保持一致，一方面，避免了源瓶长期处于负压状态，降低了源瓶损坏的事故概率；另一方面，避免了在非通源状态下，源瓶内的掺杂源在负压作用下进入低压扩散装置，导致低压扩散装置内产品报废
源瓶掺杂源扩散装置出气阀出气管进气阀进气管本实用新型电池生产制作设备第一端扩散伸入液面开关状态保持产品报废惰性气源负压状态负压作用光伏电池开关状态事故概率储存进口出口制造

[实用新型]一种扩散源瓶-CN201721164616.8有效
发明人：张春华;徐义胜;陈佳男;侯玉;衡阳;郑旭然;李栋;邢国强 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散源瓶，包括瓶体、进气管及连接端，所述瓶体设置有出气口和进气口；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内并位于液面以下；所述连接端设置有腔室以及多个气孔该扩散源瓶中，气体通过进气管后进入连接端的腔室内，并通过连接端上设置的多个气孔进入液态扩散源中，增加了气体的出口，且出口的尺寸减小，使得氮气能够以更小、更加均匀的气泡通过液态扩散源，从而产生更加均匀的气态扩散源，提高扩散质量。
进气管进气口扩散源瓶连接端腔室液态扩散源瓶体伸入连通体内氮气本实用新型尺寸减小气态扩散气体通过出气口下端液面出口扩散室内

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