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- [实用新型]一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置-CN201120574640.5有效
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刘润中;韩小旭
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英利能源(中国)有限公司
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2011-12-31
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2012-09-19
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F17D1/12
- 本实用新型实施例提供了一种硅片扩散制结用的扩散源液供给装置,该装置包括:第一源瓶,所述第一源瓶内盛装有已利用但未用完的扩散源液;第二源瓶,所述第二源瓶内盛装有未被利用的扩散源液,且所述第二源瓶内的扩散源液与第一源瓶内的扩散源液相同;其中,所述第一源瓶的出气管与所述第二源瓶的进气管相连,所述第一源瓶的进气管与扩散源液气体供给装置相连,所述第二源瓶的出气管与扩散炉相连;且所述第一源瓶的进气管、第一源瓶的出气管、第二源瓶的进气管和第二源瓶的出气管均为耐腐蚀性气管。采用本实用新型实施例所提供的硅片扩散制结用的扩散源液供给装置,能够充分利用更换下来的源瓶内的扩散源液,且成本低,危险性小。
- 一种硅片扩散制结用供给装置
- [发明专利]一种棉铃虫病毒复合生物杀虫剂-CN97109170.6无效
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张友清;王晓容;刘润中;兰萍章
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中国科学院武汉病毒研究所
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1997-07-18
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1999-01-27
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A01N63/00
- 本发明公开了一种棉铃虫病毒复合生物杀虫剂,其特征是首先将多角体病毒混悬到蛋白质溶液中,室温下加饱和硫酸铵搅拌,滴加硫酸水溶液至pH4—5,分离沉淀,烘箱干燥,其次是将辛硫磷与高岭土、固化剂混合,固化后与多角体病毒微胶囊粉复合;再次是将病毒辛硫磷复合物与十二烷基硫酸钠、植物油搅拌。本发明工艺简便,成本低,无污染,药效长,是病毒杀虫剂商品化的理想产品。
- 一种棉铃虫病毒复合生物杀虫剂
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