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- [发明专利]一种长效亲水材料-CN201810215732.0有效
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王执锴;王思哲;张登
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理奥硅科技有限责任公司
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2018-03-15
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2021-06-08
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C08G18/76
- 本发明公开了一种长效亲水材料,其特征在于它主要包括以下组成:具有可聚合和/或可交联活性基团的亲水树脂,具有可聚合和/或可交联活性基团的亲水单体,具有与前述亲水树脂相同类型的可聚合和/或可交联活性基团的疏水树脂,具有可聚合和/或可交联活性基团的疏水单体,离子型表面活性剂,固化辅助剂和/或添加剂;各组成混合均匀后,通过热化学反应或光化学反应,将亲水组分和疏水组分用化学键聚合和/或交联,并夹杂离子型表面活性剂复合为一体,成为本发明所述的长效亲水材料。所得长效亲水材料产品具有高度的亲水性能,长期的有效性,高度的防雾性能,优异的耐擦洗性能,对基体有良好的附着力,同时具有高光学透明性,高热稳定性。
- 一种长效材料
- [发明专利]一种减少氢氟酸清洗后之缺陷的方法-CN201410340149.4在审
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宋振伟
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上海华力微电子有限公司
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2014-07-17
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2014-10-01
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H01L21/02
- 一种减少氢氟酸清洗后之缺陷的方法,包括:执行步骤S1:待清洗之硅片经过氢氟酸清洗;执行步骤S2:经过氢氟酸清洗后之硅片在伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中清洗;执行步骤S3:经过伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中清洗后之硅片浸置在具有亲水类表面活性剂的去离子水中清洗;执行步骤S4:经过浸置在具有亲水类表面活性剂的去离子水中清洗后之硅片在伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中进一步清洗。本发明通过在氢氟酸清洗后的去离子水清洗过程中,采用向上导流的方式引入亲水类表面活性剂,降低了硅片的表面张力,增加了清洗效果,减少了缺陷,极大的改善了硅片的性能和产品良率。
- 一种减少氢氟酸清洗缺陷方法
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