专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]真空泵双冷却装置-CN201520376176.7有效
  • 刘斌 - 新疆蓝山屯河能源有限公司
  • 2015-06-03 - 2015-10-28 - F04C29/04
  • 本实用新型涉及真空泵冷却装置技术领域,是一种真空泵双冷却装置,其包括真空泵、进液管、进液三通、出液管、出液三通、循环水进液管、高洁净冷却介质进液管、循环水出液管、高洁净冷却介质出液管;真空泵设有进液端口和出液端口,进液端口与进液管固定连接并相通,进液管另一端与进液三通固定连接并相通,进液三通另两个接口分别与设有循环水进口切断阀的循环水进液管和设有高洁净冷却介质进口切断阀的高洁净冷却介质进液管固定连接并相通。本实用新型结构合理而紧凑,使用方便,其正常工作下使用高洁净冷却介质,一旦发生故障,通过切断阀的开关即可切换循环水暂时冷却,具有节约成本、安全、简便的特点。
  • 真空泵冷却装置
  • [发明专利]一种高洁净金属箔材制备方法以及金属掩模版条制备方法-CN202210129423.8在审
  • 陈鼎国 - 寰采星科技(宁波)有限公司
  • 2022-02-11 - 2022-05-06 - B22F5/00
  • 本发明所公开的一种高洁净金属箔材制备方法以及金属掩模版条制备方法,金属粉末装填至激光熔接加工设备的金属粉末分注器中;利用激光熔接加工设备中的激光平面扫描器将金属粉末层熔接成金属粗箔;初次热处理;精密压延;以常温精密冷压延方式对初次热处理加工后的金属粗箔原材轧制成所需的高洁净薄金属箔材;二次热处理;利用高洁净金属箔材制备方法得到的高洁净金属箔材进行制备形成精密金属掩模版条,清洗后进行金属箔材图案加工,图案化加工完成后精密金属掩模版条裁切成型;其制程工序少,生产成本降低,金属箔材洁净和成材率高。
  • 一种洁净金属制备方法以及模版
  • [实用新型]一种新型高洁净真空释放盒-CN202121235915.2有效
  • 潘夏英 - 福州硕榕光电有限公司
  • 2021-06-03 - 2021-11-19 - B65D43/16
  • 本实用新型涉及光学、晶体、军工不锈钢薄片、芯片和电子元件技术领域,具体涉及一种新型高洁净真空释放盒,包括底盒、上盖和托盘,所述底盒通过铰链与上盖转动连接,所述托盘活动套在底盒内壁,所述托盘顶部开设有固定槽本实用新型克服了现有技术的不足,通过高洁净真空胶膜和高洁净自吸胶膜的设置,使灰尘等异物不易在盒体内积聚,可提高盒体内部的洁净,可以使光学、晶体和芯片等器件在周转、运输过程及长时间储藏中不会污染,使用时又方便夹取,提高敏感元器件的安全性和使用性,整体结构合理,包装安全、高度洁净,避免污染,可以大批量生产,有利降低生产成本。
  • 一种新型洁净真空释放
  • [发明专利]光刻设备检测系统及其检测方法-CN202310652690.8在审
  • 付新;徐文苹;赵美慧;文科权;徐宁;陈文昱 - 浙江大学
  • 2023-06-02 - 2023-09-05 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法,上密封件从浸没控制单元上方完全遮蔽其中心通孔,下密封件从浸没控制单元下方完全遮蔽其中心通孔,共同合围形成中心流室;下密封件中设下采样流道,下采样流道两端分别与中心通孔和洁净检测器相连对组装好的浸没控制单元及其附属流路进行浸液流路的洁净检测,在检测过程中,封闭浸没控制单元中心通孔的上下两端,避免其内部容纳的浸液与环境气体接触,从而准确地检测浸液的洁净,以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净质量
  • 光刻设备检测系统及其方法

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