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- [发明专利]气液抽取分离装置及光刻机-CN202011450195.1在审
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曹红波;夏广宝;周二虎
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2020-12-11
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2021-09-07
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H01L21/67
- 本发明提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本发明提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。
- 抽取分离装置光刻
- [实用新型]气液抽取分离装置及光刻机-CN202022984194.7有效
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曹红波;夏广宝;周二虎
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2020-12-11
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2021-08-24
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本实用新型提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。
- 抽取分离装置光刻
- [实用新型]气液分离装置及蒸发罐-CN202320027245.8有效
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左敏;杨进
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孝感广盐华源制盐有限公司
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2023-01-04
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2023-06-20
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B01D1/30
- 本实用新型涉及真空制盐技术领域，尤其是涉及一种气液分离装置及蒸发罐；气液分离装置包括分离罐和气液分离模块，分离罐的表面设置有蒸汽进口、蒸汽出口和出液口，分离罐的内部设置有连通蒸汽进口和蒸汽出口的蒸汽通道，蒸发罐产生的二次蒸汽从蒸汽进口进入蒸汽通道，最终从蒸汽出口排出，气液分离模块装设于蒸汽通道内，蒸汽在蒸汽通道内流动时，将与气液分离模块接触，蒸发罐通过设置该气液分离装置，使得蒸发罐排出的蒸汽所夹带的液沫将附着于气液分离模块，实现蒸汽与液沫的分离，附着于气液分离模块最终沿气液分离模块流至出液口，并从出液口流回蒸发罐内，实现对液沫的回收利用，同时避免液沫对冷凝水系统造成污染。
- 分离装置蒸发
- [发明专利]用于玻璃生产线尾气的气液分离系统-CN202211325841.0在审
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任永
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重庆五色石环保科技有限公司
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2022-10-27
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2023-01-20
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B01D45/14
- 本发明涉及废气的净化技术领域，具体涉及用于玻璃生产线尾气的气液分离系统，包括气液旋流分离器，用于通过旋流离心作用将气液分离，气液旋流分离器内设转动连接有旋流叶片，气液旋流分离器固定有用于驱动旋流叶片转动的驱动电机；监测模块，监测模块用于获取气液旋流分离器入口处的烟气流速并发出速度信号；功率调整模块，功率调整模块用于调整驱动电机的输出功率；控制模块，控制模块用于获取监测模块的速度信号，控制模块预设有速度区间阈值，速度信号值处于速度区间阈值时控制模块控制功率调整模块将驱动输出功率至相应区间。本发明解决了烟气量大小变化影响气液分离效率的问题，实现最大化的能源节省和有效的气液分离。
- 用于玻璃生产线尾气分离系统
- [实用新型]一种取样装置-CN202221016920.9有效
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邢德立;卜楠楠;张文富
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北京凯隆分析仪器有限公司
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2022-04-28
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2022-08-26
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G01N1/28
- 本公开提供了一种取样装置，该取样装置包括节流减压气化模块、气液分离模块、稳压释放模块和系统控制模块，其中节流减压气化模块可以对取样的高压液相及气液混合相介质进行降压和气化，气液分离模块可以对经过节流减压气化模块的气、液混合相介质进行气液分离，稳压释放模块可以对经过节流减压气化模块和气液分离模块的介质进行恒压，以及系统控制模块可以控制节流减压气化模块、气液分离模块和稳压释放模块的温度、压力和流量，并监测运行状态。采用本公开的取样装置，能够避免出现高压液相介质因温度和压力产生物理化学反应，并生成反应物而造成管路堵塞的不良现象，确保了装置运行稳定，可靠性强。
- 一种取样装置
- [发明专利]一种电芯工况下实时分析装置及系统-CN202211405071.0在审
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陈宇辉;余婷;谈川
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南京工业大学
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2022-11-10
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2023-01-13
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G01N21/65
- 本发明公开了一种电芯工况下实时分析装置及系统，应用于电芯检测技术领域，载气源与电池测试模块密封连接，气液分离模块与电池测试模块密封连接，气体分析装置与气液分离模块连接；气液分离模块设置有分离膜，气液分离模块用于通过分离膜从混合气体中将待测气体与挥发的电解液相互分离，使待测气体透过分离膜进入气体分析装置，同时使电解液回流至电池测试模块；电池测试模块和气体分析装置均与电化学工作站连接，电化学工作站用于对电池在工况状态下实时分析。通过设置分离膜对通入载气后形成的混合气体进行分离，阻挡电解液蒸汽通过，有效截留电解液，可以实现达到长时间电池循环测试，使得各类电池都能进行上千小时的气体分析。
- 一种工况实时分析装置系统
- [实用新型]节能耐腐高效换热装置-CN202021079646.0有效
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陈晓雷;钟志良;魏树林;吴长森;彭文熙;顾建清
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江苏龙净节能科技有限公司
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2020-06-12
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2021-02-05
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F23L15/04
- 本实用新型公开了节能耐腐高效换热装置，包括：两个呈上下布置的相变放热模块与相变吸热模块，以及布置在相变放热模块与相变吸热模块之间的气液分离塔，所述相变吸热模块中的上集气管与第一上升管路的下端相连通，第一上升管路的上端向上伸入气液分离塔且位于气液分离塔的上部空间，气液分离塔的顶部通过第二上升管路与相变放热模块中的上集气管相连通，相变放热模块的进气口设置有引风机，相变放热模块中的下集液管的底部与第一下降管路的上端相连通，第一下降管路的下端伸入气液分离塔且浸没在气液分离塔内下部空间的液态工质中，所述气液分离塔的底部通过第二下降管路与相变吸热模块中的下集液管相连通。
- 节能高效装置
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