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[发明专利]生成物的除去方法、助焊剂的除去方法以及生成物的除去装置-CN202111575326.3在审
发明人：松本祥树;山口直志;神田敏朗;高野泰行 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本发明涉及生成物的除去方法、助焊剂的除去方法以及生成物的除去装置。生成物的除去方法将具有在低氧气氛下的处理室的内部产生的生成物的气氛气体导入具有电晕放电空间的生成物除去部，除去所述气氛气体具有的所述生成物，在该生成物的除去方法中，包括：混合工序，使经由将所述处理室和所述电晕放电空间连接的配管从所述处理室排出的所述气氛气体、和比所述气氛气体的电阻高的高电阻气体在所述配管或所述电晕放电空间内混合，生成混合气体；和除去工序，在经由所述配管导入了所述混合气体或在内部生成了所述混合气体的所述电晕放电空间中，从所述混合气体通过电晕放电方式除去所述生成物
生成物除去方法焊剂以及装置

[发明专利]蚀刻方法以及记录介质-CN201810263465.4有效
发明人：佐古卓司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本蚀刻方法包括：第一变质工序，向热氧化膜的表面供给含有碱性气体和包含卤族元素的气体的混合气体，使氧化硅膜与混合气体发生化学反应，从而使热氧化膜变质而生成包含水分的反应生成物；第二变质工序，向热氧化膜与反应生成物的界面供给包含卤族元素的气体，利用反应生成物中包含的水分来使热氧化膜与包含卤族元素的气体发生化学反应，从而使热氧化膜变质而生成其它反应生成物；以及加热工序，对反应生成物和其它反应生成物进行加热来去除它们。
蚀刻方法以及记录介质

[发明专利]成膜方法和成膜装置-CN201510217188.X有效
发明人：熊谷武司;尾谷宗之;大久保和哉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-04-30 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：该成膜方法包括以下工序：第1原料气体供给工序，向基板上供给含有第1金属元素的第1原料气体；第2原料气体供给工序，向所述基板上供给含有第2金属元素的第2原料气体；以及反应气体供给工序，将含有非金属元素的反应气体等离子体化并供给到所述基板上，生成含有所述第1金属元素以及第2金属元素和所述非金属元素的第3反应生成物，该非金属元素能与所述第1金属元素以及所述第2金属元素进行反应而分别生成第1反应生成物以及第2反应生成物，所述第3反应生成物所含有的所述第1金属元素的混合比率高于所述第2金属元素的混合比率，所述第2反应生成物的结晶温度高于所述第1反应生成物的结晶温度。
方法装置

[发明专利]真空泵-CN202110868761.9有效
发明人：小龟正人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种可减少泵内的生成物堆积的真空泵，可减少在形成从排气功能部至排气管的气体通路的构件的表面的生成物堆积。真空泵包括：加热部，将定子圆筒部加热至抑制生成物堆积的温度；排气口，设置于第二泵壳体，将通过转子及定子排出的气体排出至第二泵壳体的外部；加热器，将排气口加热至抑制生成物堆积的温度；以及气体通路容器，配置于第二泵壳体内，具有从转子圆筒部与定子圆筒部的空隙排出的气体流入的流入口、及使流入的气体向排气口流出的流出孔，且被加热至抑制生成物堆积的温度，其中，排气口的插入部经由间隙插入至气体通路容器的流出孔。
真空泵

[发明专利]生成物去除装置、处理系统及生成物去除方法-CN202211258615.5在审
发明人：冈崎史弥 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种能够充分地去除在真空泵的内部沉积的生成物并且能够抑制构成真空泵的母材的腐蚀的生成物去除装置、处理系统及生成物去除方法。本发明涉及的生成物去除装置具备：传感器，用于测量真空泵的内部的温度、真空泵内的流路上的生成物的膜厚或真空泵的振动频率；气体供给装置，用于向真空泵供给包含卤化氢、氟、氯、三氟化氯或氟自由基的气体；及控制装置，控制装置基于根据传感器测量出的温度而计算出的升温速度、膜厚或振动频率，控制气体供给装置以停止向真空泵供给气体。
生成物去除装置处理系统方法

[发明专利]一种五氟化磷气体的制备方法-CN202211740261.8在审
发明人：岳敏;张春晖 -专利权人：浙江研一新能源科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C01B25/10 文献下载
摘要：本发明提供一种五氟化磷气体的制备方法。所述制备方法包括以下步骤：(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体本发明制备得到的五氟化磷气体具有低杂质和高纯的效果。制备成本低、纯度高、可连续化生产、能耗低等优点。
一种氟化气体制备方法

[发明专利]一种直流穿墙套管SF₆放电产生固体生成物的系统-CN201710547102.9有效
发明人：邓军;丁卫东;钱凯洋 -专利权人：中国南方电网有限责任公司超高压输电公司检修试验中心;西安交通大学
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种直流穿墙套管SF₆放电产生固体生成物的系统,包括交流电源、调压器、变压器、高压硅堆、充电电阻、脉冲电容器、放电腔体、金属电极、阻容分压器、电流传感器、固体生成物收集装置和示波器，本发明能够模拟直流穿墙套管内部SF₆气体的各种放电形式、气体状态及金属电极下固体生成物的产生，能够准确测量得到放电电压和电流，并且通过固体生成物收集装置可以有效收集放电产生的固体生成物，方便对所产生的固体生成物做进一步的定性定量分析。
一种直流穿墙套管 sf6 放电产生固体生成物系统

[实用新型]一种直流穿墙套管SF6放电产生固体生成物的系统-CN201720812657.7有效
发明人：邓军;丁卫东;钱凯洋 -专利权人：中国南方电网有限责任公司超高压输电公司检修试验中心;西安交通大学
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直流穿墙套管SF6放电产生固体生成物的系统,包括交流电源、调压器、变压器、高压硅堆、充电电阻、脉冲电容器、放电腔体、金属电极、阻容分压器、电流传感器、固体生成物收集装置和示波器，本实用新型能够模拟直流穿墙套管内部SF6气体的各种放电形式、气体状态及金属电极下固体生成物的产生，能够准确测量得到放电电压和电流，并且通过固体生成物收集装置可以有效收集放电产生的固体生成物，方便对所产生的固体生成物做进一步的定性定量分析
一种直流穿墙套管 sf6 放电产生固体生成物系统

[发明专利]三氟化氮的制造方法及其制造装置-CN200680031146.6无效
发明人：大野博基;大井敏夫;酒井雄二 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2006-08-25 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： C01B21/083 文献下载
摘要：本发明的三氟化氮的制造方法，其特征在于，将氟气和氨气供给到管状反应器中，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装在上述管状反应器上的用于除去上述固态生成物的装置，来除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。
氟化制造方法及其装置

[发明专利]表面处理方法、蚀刻处理方法及电子装置的制造方法-CN200810096345.6有效
发明人：青木克明;速水直哉;服部圭;冈幸广;金高秀海;长谷川诚 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2008-03-28 - 公布日： 2008-10-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可以在蚀刻处理后立即从被处理物上除去反应生成物和硬掩模等的表面处理方法、蚀刻处理方法、和电子装置的制造方法。所提供的表面处理方法的特征在于，对具有多层膜的被处理物的各层依次进行蚀刻而堆积含有氟化碳的反应生成物时，通过进行氧气等离子体处理来除去上述反应生成物，在上述反应生成物的除去后，使用氟化氢气体来除去含氧化物的反应生成物
表面处理方法蚀刻电子装置制造

[发明专利]蓄热装置、放热系统及其使用方法-CN201780044620.7有效
发明人：平田一弘 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： F28D20/00 文献下载
摘要：蓄热装置(1)在蓄热时，加热蓄热介质(4)来分离为蓄热生成物和生成气体，在放热时，使所述蓄热生成物与反应气体发生反应来生成所述蓄热介质，该蓄热装置(1)具备：容纳部(2)，容纳所述蓄热介质；大气开放口(5)，在蓄热时，从所述容纳部向大气开放从所述蓄热介质分离的所述生成气体；供气口(6)，在放热时，向所述容纳部供给与所述蓄热生成物发生反应的所述反应气体；及排气口(7)，从所述容纳部排出气体。
蓄热装置放热系统及其使用方法

[发明专利]两级烟火式安全气囊充气器-CN200510052865.3有效
发明人： D·特雷维尔彦;E·O·何塞 -专利权人：关键安全体系股份有限公司
申请日： 2005-02-24 - 公布日： 2005-08-31 - 主分类号： B60R21/26 文献下载
摘要：一种两级充气器(10)，它有一个主燃烧室(22)和一个辅燃烧室(33)，一个分隔板(40)把这两个燃烧室里的气体生成物(20)分隔开。气体生成物(20)的燃烧将产生给车辆的安全气囊充气的充气气体。两个燃烧室里的气体生成物(20)分别由各自的点火链点燃。在充气器(10)工作过程中分隔板(40)可被推移。在充气器(10)被激发之前，分隔板(40)是靠在下壳体(54)的内表面上。分隔板(40)可阻止主燃烧室(22)里生成的充气气体点燃辅燃烧室(33)里的气体生成物(20)。在辅燃烧室(33)内的压力超过主燃烧室(22)内的压力时，分隔板(40)被向上推移，从而允许辅燃烧室(33)里生成的充气气体绕过分隔板(40)流出充气器(10)。
两级烟火安全气囊充气

[发明专利]离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法-CN201610155289.3有效
发明人：佐佐木德康;东明男 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：除去堆积于引出电极的反应副生成物，以便能够立即恢复为离子束照射。设定对引出电极（34）施加正电压的正电压期间，在离子源（33）的内部生成电子，从离子源（33）引出电子，使其照射到引出电极（34）来对引出电极（34）进行加热。在真空环境中，反应副生成物层（27）进行蒸发，除去反应副生成物层（27）。向离子源（33）导入清洗气体来生成清洗气体的正离子，设定对引出电极（34）施加负电压的负电压期间，将清洗气体的正离子向引出电极（34）照射，通过溅射或蚀刻反应来除去反应副生成物层（27）也可。
离子束装置离子注入放出方法

[发明专利]有机化合物的分解装置-CN02155547.8无效
发明人：木村一志;内藤友之;寺嶋高宏;中藤誉子;新田恒造;野口真二 -专利权人：兴研株式会社
申请日： 2002-12-05 - 公布日： 2003-10-15 - 主分类号： A62D3/00 文献下载
摘要：液态有机化合物或气态有机化合物的分解装置，由紫外线分解单元2和中间生成物处理装置3构成。紫外线分解单元2对含有有机化合物的污染液或污染气体照射波长300nm以下的紫外线，使该有机化合物分解。酸性电解水供给管6和碱性电解水供给管7分别通过阀门与中间生成物处理装置3连接，向含有机化合物分解生成的中间生成物的污染液或污染气体中选择性地添加强碱性电解水和强酸性电解水，将中间生成物中和、分解。
有机化合物分解装置

[发明专利]一种喷气燃料的制备方法-CN201510341869.7在审
发明人：王鲁强;郭庆洲;渠红亮;高晓冬;高杰;黄卫国;毕云飞;夏国富 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油化工科学研究院
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： C11C3/12 文献下载
摘要：一种喷气燃料的制备方法，在加氢处理反应区，植物油和/或动物油脂与氢气和调控气体混合后，与加氢处理催化剂接触进行反应得到加氢处理反应生成物，在加氢异构降凝反应区，所得加氢处理反应生成物与加氢异构降凝催化剂接触进行反应得到加氢异构降凝反应生成物，在加氢精制反应区，加氢异构降凝反应生成物与加氢精制催化剂接触进行反应得到加氢精制反应生成物，加氢精制反应生成物再经分离、分馏后得到喷气燃料。
一种喷气燃料制备方法

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