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[发明专利]清洁气体-CN201080054753.0无效
发明人：高田直门;毛利勇 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开的是包含CHF2COF而成的用于去除堆积物的清洁气体。该清洁气体可包含O2、O3、CO、CO2、F2、NF3、Cl2、Br2、I2、XFn(式中，X表示Cl、I或者Br，n表示1≤n≤7的整数。)该清洁气体不仅清洁性能优异，且容易获取，实质上不副产对环境造成负担的CF4。
清洁气体

[发明专利]气体喷头的清洁系统及清洁方法-CN202010991804.8在审
发明人：金暻台;白国斌;高建峰;崔恒玮;王桂磊;丁云凌 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种气体喷头的清洁系统及清洁方法，清洁系统包括：用于供应清洁液的清洁液供应模块，用于供应超纯水的超纯水供应模块，用于供应干燥气体的干燥气体供应模块，以及清洁组件，清洁组件用于在清洁处理期间保持要被清洁的气体喷头，并使注入的清洁液、超纯水及干燥气体穿过气体喷头的气体通孔。本发明能够实现气体喷头非原位的自动清洗。
气体喷头清洁系统方法

[发明专利]清洁气体及清洁方法-CN201480008977.6在审
发明人：大森启之;菊池亚纪应;梅崎智典 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明的特征在于，在用于将堆积于基材的含有碳化硅的堆积物去除的清洁中，使用包含七氟化碘的清洁气体，所述基材包含至少一部分具有石墨结构的碳。通过使用上述清洁气体，可以不用蚀刻石墨地将碳化硅去除。
清洁气体方法

[实用新型]一种雨刮器、清洁系统及车辆-CN202221652024.1有效
发明人：李学伟 -专利权人：长城汽车股份有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B60S1/46 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种雨刮器，包括：雨刮臂和设置在所述雨刮臂上的清洁组件；所述清洁组件包括：层叠设置的液体清洁部件以及气体清洁部件，所述气体清洁部件用于协助所述液体清洁部件进行物体清洁；其中，所述液体清洁部件设置有液体喷头，所述液体清洁部件的一端设置进液口；所述液体喷头用于将自所述进液口流入的液体喷出；所述气体清洁部件设置有气体喷头，所述气体清洁部件的一端设置进气口；所述气体喷头用于将自所述进气口流入的气体喷出。本实用新型通过液体清洁部件喷出液体和气体清洁部件喷出气体两者协同清洁，达到了快速清洁顽固污渍的效果。
一种雨刮器清洁系统车辆

[发明专利]工艺气体的脱硫和冷却-CN201310396930.9无效
发明人： O.斯塔尔曼恩;G.海恩滋 -专利权人：阿尔斯通技术有限公司
申请日： 2013-09-04 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种清洁含二氧化硫的工艺气体的方法，所述方法包括在第一气体清洁装置中通过使工艺气体与海水接触来从工艺气体除去二氧化硫以生成经至少部分地清洁的工艺气体。在布置成与第一气体清洁装置直接流体连接的第二气体清洁装置中，冷却已通过第一气体清洁装置的经至少部分地清洁的工艺气体以从其冷凝水，从而生成具有减少的水蒸气含量的工艺气体。将第二气体清洁装置中生成的至少一部分冷凝水送至第一气体清洁装置。本发明还涉及一种用于清洁含二氧化硫的工艺气体的气体清洁系统。
工艺气体脱硫冷却

[发明专利]切割设备-CN202210037988.3在审
发明人：张瑞斌;邹恒杉 -专利权人：伊利诺斯工具制品有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种切割设备，包括：壳体；门；以及气体清洁装置，所述气体清洁装置被配置为通过所述气体入口接收清洁气体，并使所述清洁气体从所述至少一个主气体出口朝向所述门吹出，以清洁所述门。本申请利用气体清洁装置来清洁门，清洁气体形成的气帘使切门上附着的削冷却液、切屑和沙粒等向下滴落到挡液板上，然后回到操作容腔中。并且通过控制清洁气体的吹出角度和压力，使切削冷却液、切屑和沙粒等能够被保留在操作容腔的范围内，而不会滴落到切割设备的外部。此外，随着门的打开，门与气体清洁装置发生相对移动，使得气体清洁装置清洁门的过程与门打开的过程是基本同步的，经过气体清洁装置的门的部分不会再有液体滴落到工作台或地面上。
切割设备

[发明专利]清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法-CN201910635373.9有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：该发明涉及一种清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法，其中所述清洁装置，内置有气体腔，用于存储清洁气体，且所述清洁装置表面设置有气孔，与所述气体腔连通，用于供所述气体腔内存储的清洁气体喷出，且所述气孔设置有开关，用以在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开。所述清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法具有所述气体腔和所述气孔，以及具有开关，只有在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开，因此保证了所述清洁装置在喷出清洁气体时有一定的清洁力度，从而保证了清洁效果
清洁装置以及处理设备晶圆载台方法

[实用新型]清洁结构和离子注入设备-CN201521027722.2有效
发明人：胡贤夫;陈策;孙健;孙静;蔡灿 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开一种清洁结构和采用该清洁结构的离子注入设备，通过清洁接口与气体通道的气体入口连通，再通过清洁气源构件对清洁接口输出气流，使得气流通过清洁接口和气体入口进入气体通道内，将堵塞气体通道内的污染物带出，实现快速清洁气体通道。
清洁结构离子注入设备

[发明专利]气体清洁器-CN201310477936.9无效
发明人：吴晓坤 -专利权人：西安美辰净化科技有限公司
申请日： 2013-10-14 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：一种气体清洁器，包括能够调节长度并能自转的抽气管以及气体清洁罩，所述的气体清洁罩含有依次连接的筛网离合盖、筛网撑架、导引槽、组合型筛网、垫圈支撑体以及旋流马达。所述的旋流马达通过法兰同外部连接。有效地避免了循环流动方式无法跟踪是否清洁彻底，因此气体清洁的作用有限，无法达到治理污染的效果的缺陷。
气体清洁

[实用新型]气体清洁装置-CN202320316591.8有效
发明人：葛玉超 -专利权人：红云红河烟草（集团）有限责任公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B01D50/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体清洁装置，包括车体，车体上设置有水箱和处理箱，水箱一侧侧壁上设置吸气罩，水箱的顶部设有进气管，水箱内设有第一过滤组件，进气管的下端延伸至第一过滤组件的下方，进气管的上端通过软管与吸气罩连接本实用新型能够将气体中的灰尘和异味吸收掉，起到过滤气体的作用，而且方便移动，灵活性高。
气体清洁装置

[发明专利]光学设备及其工作方法-CN202010886744.3有效
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B01D46/62 文献下载
摘要：本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：供气装置，用于提供清洁气体；分流单元，用于将所述清洁气体分为第一清洁气体和第二清洁气体；第一过滤装置，用于对所述第一清洁气体进行第一过滤处理，所述第一过滤装置包括酸碱过滤器，所述酸碱过滤器用于去除所述第一清洁气体中的酸性和/或碱性气体，形成第三清洁气体；与所述第三清洁气体连通的光学腔室，所述光学腔室内用于形成光路；与第二清洁气体连通的气动装置，所述第二清洁气体用于为气动装置提供力的作用。
光学设备及其工作方法

[发明专利]半导体装置的制造设备的清洁方法-CN200410000467.2无效
发明人：尹守植;廉根永;李来应;金基俊;吴昌铉;金知晃 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2004-01-29 - 公布日： 2004-08-11 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种半导体装置的制造设备的清洁方法，包含以下步骤：一供气步骤，将一第一清洁气体与一第二清洁气体供应到一处理室之中，并使该第一与第二清洁气体形成为一混合气体，其中该第一清洁气体系含有氟化碳气体与氧气，且该第二清洁气体则含有氮气；一活化步骤，通过一高频能量活化该第一与第二清洁气体所形成的混合气体；及一排气步骤，排除该活化的混合气体清洁之后所留下的残余物与残余气体。
半导体装置制造设备清洁方法

[实用新型]清洁装置以及晶圆处理设备-CN201921106424.0有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种清洁装置以及晶圆处理设备，其中所述清洁装置，内置有气体腔，用于存储清洁气体，且所述清洁装置表面设置有气孔，与所述气体腔连通，用于供所述气体腔内存储的清洁气体喷出，且所述气孔设置有开关，用以在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开。所述清洁装置以及晶圆处理设备具有所述气体腔和所述气孔，以及具有开关，只有在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开，因此保证了所述清洁装置在喷出清洁气体时有一定的清洁力度，从而保证了清洁效果。
清洁装置以及处理设备

[发明专利]用于车辆的传感器清洁系统和用于清洁传感器的方法-CN202080094957.0在审
发明人：尼古拉斯·贝内 -专利权人：沃尔沃卡车集团
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B60S1/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于待清洁的传感器(200)的清洁系统(100)，其包括：‑蓄能器(102)，该蓄能器包括：至少一个清洁流体隔室(104)，该至少一个清洁流体隔室设置有：至少一个张紧元件(134)；用于接收清洁流体的清洁流体入口(104a)；以及用于以清洁流体射流的形式提供清洁流体的清洁流体出口(104b)；至少一个气体隔室(106)，该至少一个气体隔室设置有：至少一个张紧元件(134)；用于接收气体的气体入口(106a)；以及用于以气体射流的形式提供气体的气体出口(106b)，‑清洁流体电子阀(116)，该清洁流体电子阀用于控制被应用到待清洁的传感器(200)的清洁流体的流量，‑气体电子阀(118)，该气体电子阀用于控制被应用到待清洁的传感器(200)的气体的流量
用于车辆传感器清洁系统方法

[发明专利]清洁基站以及清洁系统-CN202210054603.4在审
发明人：凌姝潼;卢丁瑞;欧阳凡;叶力荣 -专利权人：深圳银星智能集团股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： A47L11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种清洁基站以及清洁系统，清洁基站包括基站本体以及气体发生器；基站本体具有供清洁机器人停靠的清洁工位，基站本体设有位于清洁工位下方的清洁槽，清洁槽用于盛装对清洁机器人的清洁件进行清洁的清洁液；气体发生器用于制造杀菌气体，气体发生器安装于基站本体，气体发生器的出气端与清洁槽连通设置。本发明技术方案旨在对清洁基站内清洗后的污水进行净化处理。
清洁基站以及系统

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